第一篇：砂輪劃片機(jī)劃切技術(shù)研究-主軸-45所

砂輪劃片機(jī)劃切技術(shù)研究（1）-主軸

砂輪劃片機(jī)采用超薄金剛石刀作為劃切加工刃具，主軸帶動(dòng)刀片高速旋轉(zhuǎn)通過強(qiáng)力磨削對(duì)集成電路基片以及各種硬脆材料進(jìn)行高精度開槽和分割。除了設(shè)備本身的精度和功能外，劃切技術(shù)的研究與應(yīng)用是一個(gè)必不可少的環(huán)節(jié)，直接影響著劃切質(zhì)量和效率。通過優(yōu)化主軸、刀片、冷卻、被劃材料、吸盤及基片固定、劃切速度和入刀速度、切的深度等技術(shù)及參數(shù)來保證。下面分別對(duì)這些參數(shù)的選取和利弊進(jìn)行分析研究。1.主軸

砂輪劃片機(jī)主軸采用空氣靜壓支承的電主軸，有交流和直流：交流軸轉(zhuǎn)速為3000~40000r/min，直流軸轉(zhuǎn)速為3000~60000r/min。一般分2″和4″主軸，2″軸裝φ50~φ76.2mm刀片，4″軸裝φ100~φ127.0mm刀片。主軸的精度、轉(zhuǎn)速、功率、剛性等指標(biāo)十分重要，轉(zhuǎn)速的選擇由用戶根據(jù)劃切的材料和所使用的刀片來確定，選擇的好壞直接影響主軸的負(fù)載、劃切質(zhì)量和刀片的壽命。

對(duì)φ50mm的鎳基刀劃切硅片的主軸速度建議28000~32000r/min； 對(duì)φ50~76.2mm的樹脂刀主軸轉(zhuǎn)速最大為30000r/min； 對(duì)φ100mm的鎳基刀主軸轉(zhuǎn)速最大為30000r/min；

對(duì)φ100mm的樹脂刀主軸最大轉(zhuǎn)速的選擇與刀的厚度有關(guān)： ≤0.375mm厚

主軸最大轉(zhuǎn)速16000r/min 0.375~0.525mm厚 主軸最大轉(zhuǎn)速 14000r/min 0.525~0.785mm厚 主軸最大轉(zhuǎn)速 12000r/min 0.785mm厚

主軸最大轉(zhuǎn)速 10000r/min 注意用樹脂刀時(shí)，主軸轉(zhuǎn)速千萬別超過指定的最大轉(zhuǎn)速，否則刀片會(huì)自動(dòng)解體。另外，在確定主軸轉(zhuǎn)速時(shí)，也要考慮劃切材料的硬度，劃切軟材料主軸轉(zhuǎn)速比劃切硬材料低，同一種材料，劃切厚的主軸轉(zhuǎn)速比劃薄的高，同時(shí)劃切厚硬材料時(shí)要考慮選用大功率的主軸。