第一篇：微電子大學(xué)畢業(yè)生參觀實(shí)習(xí)感悟
實(shí)習(xí)感悟
俗話說紙上得來終覺淺，絕知此事要躬行。作為微電子專業(yè)的學(xué)生，大學(xué)三年多，我一直在學(xué)校里學(xué)習(xí)有關(guān)的理論知識。從最基本的原理到半導(dǎo)體的工藝、器件和設(shè)計(jì)方向，它們一直都只是存在厚薄不一的書本上。直到上周四、五，我跟隨同專業(yè)的同學(xué)們一道前往樂山菲尼克斯半導(dǎo)體封裝廠和峨嵋山半導(dǎo)體材料研究所進(jìn)行了為期兩日的參觀實(shí)習(xí)后，我才深刻感受到了真正的生產(chǎn)實(shí)踐。
第一日，我們參觀了樂山的菲尼克斯半導(dǎo)體封裝廠。樂山菲尼克斯雖然坐落于一個(gè)偏僻的位置，但是整個(gè)廠房內(nèi)的自動化生產(chǎn)設(shè)施設(shè)施和身著靜電服在一絲不茍操作著的工作人員，無時(shí)無刻不透露著它作為安森美旗下的集合了高科技和高素質(zhì)人才的西南地區(qū)第一大廠。我也有幸目睹了一個(gè)簡單的三端器件如何從一個(gè)簡單的銅片上經(jīng)過一道道工序成為一個(gè)個(gè)合格的產(chǎn)品。封裝過程作為半導(dǎo)體制造技術(shù)中對成本影響最大的一塊內(nèi)容，程序控制自動化這一技術(shù)無疑讓其成本下降不少。感慨于這一切的同時(shí)，我們也聆聽了負(fù)責(zé)生產(chǎn)線王經(jīng)理對于樂山菲尼克斯的介紹，以及他分享的切身體會和一些人生道理。
其中讓我感觸最深的莫過于那一句：成功的關(guān)鍵不在于一些客觀條件，而在你夠不夠努力。雖然他覺得這句話對于大四的學(xué)生來說不一定有用，但是我作為一個(gè)正在積極備考的學(xué)生來說，還是非常受用的，因?yàn)槲艺咴谶@條通往目標(biāo)的崎嶇山路上，而一切的結(jié)果也將在兩周之后見分曉。不管是繼續(xù)學(xué)習(xí)還是就業(yè)，人就應(yīng)該多拼一點(diǎn)，每次比別人努力多一點(diǎn)，點(diǎn)點(diǎn)滴滴的量變終將成為質(zhì)變。
第二日的行程是前往峨眉山半導(dǎo)體材料研究所。研究所給我的第一印象就是出于深山偏遠(yuǎn)之地，老舊的建筑其貌不揚(yáng)。畢竟，作為一個(gè)半軍工企業(yè)，我也能理解其外在的平凡。然而當(dāng)我們進(jìn)入到研究所里面，才意識到一切并非原本所想。每一位技術(shù)人員都多多少少經(jīng)歷了十多年的磨練，早已經(jīng)將自己的技術(shù)爛熟于胸，并且不斷地深化和鉆研。那些看起來普通的設(shè)備，雖然也已經(jīng)工作了數(shù)十年，卻仍然保證其合格的產(chǎn)品質(zhì)量。十幾年甚至數(shù)十年從事于一項(xiàng)技藝，對于我們這些年輕人來說是不敢想象的，因?yàn)槲覀兡贻p，心浮氣躁，在短時(shí)間內(nèi)終究是無法潛下心來好好去鉆研。
在參觀單晶硅的制備設(shè)備的過程中，負(fù)責(zé)帶隊(duì)的師傅說道，這個(gè)設(shè)備價(jià)值三千萬，是從丹麥進(jìn)過來的。我一邊佩服這這臺設(shè)備的先進(jìn)，一邊卻有點(diǎn)難過。我國的半導(dǎo)體技術(shù)相比于西方國家仍然有很大的差距，一些設(shè)備只能依靠國外進(jìn)口而不能實(shí)現(xiàn)國內(nèi)的自己研發(fā)，當(dāng)一項(xiàng)項(xiàng)技術(shù)專利被申請，我們難免會產(chǎn)生依附。這一切的差距我想不只需要我們這一代人的努力，盡可能還要這樣好幾代人的努力吧。不過至少欣慰的是，國家一直都在重視半導(dǎo)體這一行業(yè)，同時(shí)也有大量的人才正投入于其中，為之奮斗。
短短兩日的參觀實(shí)習(xí)，我不敢說自己真正學(xué)會了什么，或者學(xué)到了什么。畢竟技術(shù)不是一朝一夕可以練就的。但至少在精神上，我覺得自己收獲頗豐。無論是樂山菲尼克斯，還是峨嵋山半導(dǎo)體研究所，他們都在向我傳達(dá)著這樣一種信念，成大事者切忌眼高手低，只有潛下心來，通過努力加堅(jiān)持，我們能有所成就。
以上便是我在這兩日參觀實(shí)習(xí)過程中的感想。
12月13日
第二篇：2014大學(xué)畢業(yè)生實(shí)習(xí)心得感悟
找工作真的是一種緣份，我這樣認(rèn)為。想當(dāng)初，剛踏進(jìn)施樂的第一步時(shí)，我根本不會想到自己會讀外貿(mào)這一專業(yè)，更不會想到自己如今從事的職業(yè)與我就讀的專業(yè)完全不相關(guān)?；厥走^往時(shí)光，不免有心得感悟，寫出來或許對大家有所幫助。
時(shí)間過的真快，在2014年的2月21日我們走出了校園，踏上了工作崗位，開始了實(shí)習(xí)生活，一眨眼的工夫，我們已經(jīng)工作快三個(gè)月了，在這三個(gè)月中我們學(xué)會了很多以往在學(xué)校里學(xué)不到的知識。三個(gè)月中我?guī)缀鯂L遍了人生中的酸、甜、苦各種味道。
實(shí)習(xí)的第一天，我懷著忐忑不安的心情來到了我實(shí)習(xí)公司的樓下，因?yàn)闆]有見過將要工作在一起的同事，對他們或多或少都有些好奇，會想他們?nèi)莶蝗菀紫嗵?會不會教給我新的知識，會不會像有些人口中說的那樣讓我在一旁歇著，一點(diǎn)也不教我?站在大廈的樓下，遲遲的不敢走進(jìn)電梯，眼看著時(shí)間一分一秒的過去了距離老師和實(shí)習(xí)單位聯(lián)系人的時(shí)間越來越近了，最終我還是鼓起勇氣，進(jìn)了電梯按了公司所在的樓層。說來也是巧，我去報(bào)到的那一天剛剛我要工作的單證部在加班，后來辦公室主任幫我介紹了我們部門的經(jīng)理和其他的同事后，我也加入了工作的行列。第一天遇到的事和人都是陌生的，我?guī)缀跏菑牧汩_始。但有一點(diǎn)很慶幸我所想的一切都是浪費(fèi)的，他們不但很容易相處，而且會教我很多東西，真后悔當(dāng)初應(yīng)該早點(diǎn)進(jìn)電梯，在樓下站了半天。
在實(shí)習(xí)的時(shí)候，我的其中一個(gè)工作是催核銷單。有一次我打通了一個(gè)電話，對方是一個(gè)脾氣非?；鸨男〗?，我自報(bào)家門后然后說我想問一下幾票核銷單有沒有退下來，對方卻十分兇的大發(fā)脾氣，被她罵了一頓后就把電話給掛了。當(dāng)時(shí)我感覺委屈，又不是我的錯(cuò)，干嘛罵我呀!那時(shí)我只感覺到我的眼眶里有些水在流動，似乎要流下來了，我不好意思讓同事們看到我這個(gè)樣子，偷偷的跑到了洗手間對著鏡子說這是很平常的事情，沒關(guān)系。后來公司的同事也說那個(gè)小姐本來就是一個(gè)脾氣十分爆躁的人，而且她的工作量也非常的大，每天工作都很忙的，這樣我心里也舒坦多了
還有一次，一大早醒來就感覺頭暈暈的，喉嚨痛痛的，很明顯的跡象我感冒了。但是想想我是個(gè)實(shí)習(xí)生，我總不能隨便打個(gè)電話去然后說我生病了我不去了，那會給人留下什么樣的印象哦，最后我還是去上班了。在工作的時(shí)候我人真的好難過，真的好想和部門經(jīng)理請假回家休息，但是話到了嘴邊就是說不出來，一直忍著直到六點(diǎn)多下班，晚上回到家倒頭就睡。那時(shí)候想想如果在上學(xué)那該多好啊，可以請假休息一下，工作真的是好辛苦哦！!
實(shí)習(xí)中最開心的事情當(dāng)然是拿工資啦，那時(shí)候讓我知道了賺錢是多么的不容易，看著發(fā)著的工資，真的有點(diǎn)舍不得用。因?yàn)檫@錢跟以往父母給的不一樣，以前用錢的時(shí)候不會去想這錢得來有多么的辛苦，但是用自己發(fā)來的工資的時(shí)候感覺就不同了，用的時(shí)候會覺得這是我自己賺來的錢，有種飄飄然的感覺，但又有一種感覺就是這可是我很辛苦才賺來的呀，這么給花了會不會太浪費(fèi)呀!
最讓我開心的事情是我有好多肯教我的老師們，他們用自己的工作經(jīng)驗(yàn)慢慢的教給我知識，讓我把書上的理論知識運(yùn)用到了實(shí)踐上，教給我為人處事的道理，也能包涵我剛剛出校門對工作陌生而犯下的錯(cuò)誤。讓我在工作上學(xué)到了很多東西，也在處事上學(xué)到了很多，學(xué)會在怎么樣的情況下對人的態(tài)度應(yīng)該怎么樣，該兇的時(shí)候就必須要兇，否則就辦不好事情。真的是非常感謝他們。
實(shí)習(xí)不再是以前的校園生活，有學(xué)校呵護(hù)著你，在社會上我們有時(shí)候就必須要自己去面對處理一些事情，培養(yǎng)了我們的獨(dú)立性。其實(shí)外面社會這個(gè)學(xué)校，有許許多多可以讓我們學(xué)習(xí)的知識。
第三篇：XX大學(xué)畢業(yè)生實(shí)習(xí)心得感悟
XX大學(xué)畢業(yè)生實(shí)習(xí)心得感悟
隨著會計(jì)制度的日趨完善，社會對會計(jì)人員的高度重視和嚴(yán)格要求，作為一名在校的會計(jì)專業(yè)學(xué)生，為了順應(yīng)社會的要求，加強(qiáng)社會競爭力，也應(yīng)該注重培養(yǎng)自身的素質(zhì)，培養(yǎng)較強(qiáng)的會計(jì)工作的操作能力。實(shí)訓(xùn)內(nèi)容的銜接可以有助于促進(jìn)我們對會計(jì)知識形成整體的感性認(rèn)識,有助于我們認(rèn)識所學(xué)的本會計(jì)課程在整個(gè)會計(jì)專業(yè)課程體系中的地位、作用,增強(qiáng)學(xué)習(xí)的積極性。通過系統(tǒng)的模擬操作，深刻理解掌握會計(jì)核算基本知識，增強(qiáng)動手操作能力，為今后的學(xué)習(xí)工作打下基礎(chǔ)。于是學(xué)校給我們創(chuàng)造一次實(shí)訓(xùn)的機(jī)會，以檢驗(yàn)自己的會計(jì)知識掌握程度和鍛煉自己的操作能力，接觸社會，接觸現(xiàn)實(shí)會計(jì)職業(yè)，為踏入社會工作崗位做好準(zhǔn)備。
而作為學(xué)習(xí)了差不多一年會計(jì)的我們，只可以說對會計(jì)有關(guān)的專業(yè)基礎(chǔ)知識、基本理論、基本方法和結(jié)構(gòu)體系，我們都基本掌握。但這些似乎只是紙上談兵。倘若將這些理論性極強(qiáng)的東西搬上實(shí)際上應(yīng)用，那我們也會是無從下手，一竅不通。所以，我們一定要在這次實(shí)習(xí)中，努力將自己在學(xué)校所學(xué)的理論知識向?qū)嵺`方面轉(zhuǎn)化，盡量做到理論與實(shí)踐相結(jié)合，在實(shí)習(xí)期間能夠遵守工作紀(jì)律，不遲到、早退，認(rèn)真完成領(lǐng)導(dǎo)交辦的工作，得到學(xué)習(xí)領(lǐng)導(dǎo)及全體工作人員的一致好評，同時(shí)也發(fā)現(xiàn)了自己的許多不足之處。
在這次實(shí)習(xí)中，我深刻體會到。實(shí)習(xí)是每一個(gè)學(xué)生必須擁有的一段經(jīng)歷，它使我們在實(shí)踐中了解社會，讓我們學(xué)到了很多在課堂上根本就學(xué)不到的知識,也打開了視野，增長了見識，為我們以后進(jìn)一步走向社會打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。如果用班級作為會計(jì)財(cái)務(wù)室,那我們每個(gè)人就相當(dāng)于一個(gè)財(cái)務(wù)科,包括有制單,出納,記帳,成本核算,綜合和主管等六個(gè)崗位,使我們實(shí)習(xí)時(shí)有一個(gè)模擬的操作環(huán)境。在取得實(shí)效的同時(shí)，我也在實(shí)習(xí)過程中發(fā)現(xiàn)了自身的一些不足?？偨Y(jié)了以下幾點(diǎn)：專業(yè)方面，首先，作為一個(gè)會計(jì)人員應(yīng)該具備扎實(shí)的專業(yè)知識和良好的專業(yè)思維能力，具備誠實(shí)守信等端正的職業(yè)操守和敬業(yè)態(tài)度，這是會計(jì)工作崗位對會計(jì)人員最基本的要求。
其次，作為一個(gè)會計(jì)人員要有嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ぷ鲬B(tài)度。會計(jì)工作是一門很精準(zhǔn)的工作，要求會計(jì)人員要準(zhǔn)確的核算每一項(xiàng)指標(biāo)，牢記每一條稅法，正確使用每一個(gè)公式。再次，要有吃苦耐勞的精神和平和的心態(tài)。這一次的實(shí)習(xí)雖然時(shí)間短暫，雖然接觸到的工作很淺，但是依然讓我學(xué)到了許多知識和經(jīng)驗(yàn)，這些都是書本上無法得來的。通過實(shí)習(xí)，我們能夠更好的了解自己的不足，了解會計(jì)工作的本質(zhì)，了解這個(gè)社會的方方面面，能夠讓我更早的為自己做好職業(yè)規(guī)劃，從知識上講，會計(jì)工作是一門專業(yè)性很強(qiáng)的工作，從業(yè)人員只有不斷地學(xué)習(xí)才能跟上企業(yè)發(fā)展的步伐，要不斷地充實(shí)自己，掌握最新的會計(jì)準(zhǔn)則，稅法細(xì)則，法律知識及攻關(guān)經(jīng)濟(jì)動態(tài)。這樣才能精通自己的工作內(nèi)容，對企業(yè)的發(fā)展方向作出正確的判斷，給企業(yè)的生產(chǎn)與流通制定出良好的財(cái)務(wù)計(jì)劃，為企業(yè)和社會創(chuàng)造更多的財(cái)富。
從道德素質(zhì)講，會計(jì)工作的特殊性使其可接觸到大量的共有財(cái)產(chǎn)，所以作為會計(jì)人員一定要把握好自己辦事的尺度，首先自己要做到安分守己，其次對于他人的威脅，誘惑，和指使要做到堅(jiān)決不從。朱镕基同志曾經(jīng)講過“不做假賬”。這四個(gè)字代表了他對整個(gè)會計(jì)界提出的要求和寄予的希望。如何挽救道德的缺失，將個(gè)人素質(zhì)提高到一個(gè)新的層面上來，是我們每一個(gè)會計(jì)人員都要努力思考的問題。只有會計(jì)人員自身的道德素質(zhì)提高，才能夠走好職業(yè)生涯的每一步，只有會計(jì)人員全體道德素質(zhì)提高，會計(jì)行業(yè)才能夠得到更深的發(fā)展，市場經(jīng)濟(jì)的優(yōu)勢才能夠發(fā)揮得更好。
而作為一個(gè)會計(jì)人員要有嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ぷ鲬B(tài)度。會計(jì)工作是一門很精準(zhǔn)的工作，要求會計(jì)人員要準(zhǔn)確的核算每一項(xiàng)指標(biāo)，牢記每一條稅法，正確使用每一個(gè)公式。會計(jì)不是一件具有創(chuàng)新意識的工作，它是靠一個(gè)又一個(gè)精準(zhǔn)的數(shù)字來反映問題的。所以我們一定要加強(qiáng)自己對數(shù)字的敏感度，及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題解決問題彌補(bǔ)漏洞。作為一名會計(jì)人員要具備良好的人際交往能力。
會計(jì)部門是每個(gè)企業(yè)的核心部門，對下要收集會計(jì)信息，對上要匯報(bào)會計(jì)信息，對內(nèi)要相互配合整理會計(jì)信息，對外要與社會公眾和政府部門搞好關(guān)系。在于各個(gè)部門各種人員打交道時(shí)一定要注意溝通方法，協(xié)調(diào)好相互間的工作關(guān)系。工作重要具備正確的心態(tài)和良好的心理素質(zhì)。記住一句話叫做事高三級，做人低三分。作為一個(gè)即將工作或剛邁入社會的新人，也要注下面是我通過這次會計(jì)實(shí)習(xí)中領(lǐng)悟到的很多書本上所不能學(xué)到的會計(jì)的特點(diǎn)和積累，以及題外的很多道理。
以前，我總以為自己的會計(jì)理論知識扎實(shí)較強(qiáng)，正如所有工作一樣，掌握了規(guī)律，照蘆葫畫瓢準(zhǔn)沒錯(cuò)，那么，當(dāng)一名出色的會計(jì)人員，應(yīng)該沒問題了?，F(xiàn)在才發(fā)現(xiàn)，會計(jì)其實(shí)更講究的是它的實(shí)際操作性和實(shí)踐性。離開操作和實(shí)踐，其它一切都為零!會計(jì)就是做賬。
其次，就是會計(jì)的連通性、邏輯性和規(guī)范性。每一筆業(yè)務(wù)的發(fā)生，都要根據(jù)其原始憑證，一一登記入記賬憑證、明細(xì)賬、日記賬、三欄式賬、多欄式賬、總賬等等可能連通起來的賬戶。這為其一。會
第四篇：微電子實(shí)習(xí)報(bào)告
課程名稱 | 認(rèn)識實(shí)習(xí) | 課程編號 | A200001A |
實(shí)習(xí)地點(diǎn) | 光電學(xué)院1101微電子工藝實(shí)驗(yàn)室 | 實(shí)習(xí)時(shí)間 | 2020年11月14日 |
校外指導(dǎo)教師 | 校內(nèi)指導(dǎo)教師 | 王智鵬、周圍 | |
評閱人簽字 | 王智鵬 | 成績 | |
實(shí)習(xí)內(nèi)容 | 微電子工藝認(rèn)識實(shí)習(xí) | ||
一、實(shí)習(xí)目的和意義 學(xué)習(xí)光刻機(jī)原理，硅片的制作和加工，簡單MOS器件的制備 二、實(shí)習(xí)單位和崗位 重慶郵電大學(xué) 三、實(shí)習(xí)內(nèi)容和過程 實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：在2020年11月14日的下午我們班聚集在實(shí)驗(yàn)室門口等待，在老師的帶領(lǐng)下我們進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室并且按規(guī)矩穿好實(shí)驗(yàn)服。在將近半小時(shí)的參觀下我們了解到半導(dǎo)體的制作原理。半導(dǎo)體制作原理： 圖1.1半導(dǎo)體構(gòu)造組成制造流程 半導(dǎo)體工業(yè)所使用之材料包含單一組成的半導(dǎo)體元素，如硅(Si)、鍺(Ge)(屬化學(xué)周期表上第四族元素)及多成分組成的半導(dǎo)體含二至三種元素，如鎵砷(GaAs)半導(dǎo)體是由第三族的鎵與第五族的砷所組成。在1950年代早期，鍺為主要半導(dǎo)體材料，但鍺制品在不甚高溫情況下，有高漏失電流現(xiàn)象。因此，1960年代起硅晶制品取代鍺成為半導(dǎo)體制造主要材料。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)可區(qū)分為材料加工制造、晶圓之集成電路制造(wafer fabrication)(中游)及晶圓切割、構(gòu)裝(wafer package)等三大類完整制造流程，如圖1.2所示。其中材料加工制造，是指從硅晶石原料提煉硅多晶體(polycrystalline silicon)直到晶圓(wafer)產(chǎn)出，此為半導(dǎo)體之上游工業(yè)。此類硅芯片再經(jīng)過研磨加工及多次磊晶爐(Epitaxial reactor)則可制成研磨晶圓成長成為磊晶晶圓，其用途更為特殊，且附加價(jià)值極高。其次晶圓之體積電路制造，則由上述各種規(guī)格晶圓，經(jīng)由電路設(shè)計(jì)、光罩設(shè)計(jì)、蝕刻、擴(kuò)散等制程，生產(chǎn)各種用途之晶圓，此為中游工業(yè)。而晶圓切割、構(gòu)裝業(yè)系將制造完成的晶圓，切割成片狀的晶粒(dice)，再經(jīng)焊接、電鍍、包裝及測試后即為半導(dǎo)體成品。 圖1.2 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)上、中、下游完整制造流程 制程單元 集成電路的制造過程主要以晶圓為基本材料，經(jīng)過表面氧化膜的形成和感光劑的涂布后，結(jié)合光罩進(jìn)行曝光、顯像，使晶圓上形成各類型的電路，再經(jīng)蝕刻、光阻液的去除及不純物的添加后，進(jìn)行金屬蒸發(fā)，使各元件的線路及電極得以形成，最后進(jìn)行晶圓探針檢測;然后切割成芯片，再經(jīng)粘著、連線及包裝等組配工程而成電子產(chǎn)品。各主要制程單元概述如下： 氧化與模附著 原料晶圓在投入制程前，本身表面涂有2μm厚的AI2O3，與甘油混合溶液保護(hù)之，晶圓的表面及角落的污損區(qū)域則藉化學(xué)蝕刻去除。 為制成不同的元件及集成電路，在芯片長上不同的薄層，這些薄層可分為四類:熱氧化物，介質(zhì)層，硅晶聚合物及金屬層。熱氧化物中重要的薄層有閘極氧化層(gate oxide;與場氧化層(field oxide)，此二層均由熱氧化程序制造。以下二化學(xué)反應(yīng)式描述硅在氧或水蒸氣中的熱氧化： Si(固體)+ O2(氣體)→SiO2(固體) Si(固體)+ 2H2O(氣體)→SiO2(固體)+ 2H2(氣體) 現(xiàn)代集成電路程序中，以氯介入氧化劑來改善氧化層的質(zhì)量及Si-SiO2，接合面的性質(zhì)。氯包含在氯氣、氯化氫HCl或二氯乙烷中，其將Si-SiO2，接合面的雜質(zhì)反應(yīng)成揮發(fā)性氯化物，多余的氯會增加介質(zhì)的崩潰強(qiáng)度，減低接合面缺陷密度。介電質(zhì)附著層主要用來隔離及保護(hù)不同種類元件及集成電路。三種常用的附著方法是:大氣壓下化學(xué)蒸氣附著(CVD)，低壓化學(xué)蒸氣附著(LPCVD)及電漿化學(xué)蒸氣附著(PCVD，或電漿附著)?；瘜W(xué)蒸氣附著生成約二氧化硅并不取代熱生長的氧化層，因?yàn)楹笳呔哂休^佳的電子性質(zhì)。二氧化硅層可使用不同的附著方法，其中低溫附著(300~500℃)之氧化層由硅烷、雜質(zhì)及氧氣形成。植入磷之二氧化硅的化學(xué)反應(yīng)為 SiH4+O2→SiO2+2H2 4PH3+5O2→2P2O5+6H2 于中等溫度(500~800℃)的附著，二氧化硅由四乙經(jīng)基硅，Si(OC2H5)4，在LPCVD反應(yīng)器中分解形成。其分解反應(yīng)為： Si(OC2H5)4→SiO2+副產(chǎn)物 高溫附著(900℃)，二氧化硅由二氯硅烷(SiCl2H2)與笑氣(N2O)在低壓下形成： SiCl2H2+2N2O→SiO+2N2+2HCI 氮化硅層可用作保護(hù)元件，方可作為硅氧化作用時(shí)的遮蔽層，覆蓋不欲氧化的硅晶部分，氮化硅的附著是在中等溫度(750℃)LPCVD程序或低溫(300℃)電漿CVD程序中形成。LPCVD程序中，二氯硅烷與氨在減壓下，700~800℃間，反應(yīng)生成氮化硅附著，反應(yīng)式為： SiCl2H2+4NH3 →Si3N4+6HCl+6H2 電漿PCVD程序中，氮化硅由硅烷與氨在氫電槳中反應(yīng)或是硅烷在放電氮?dú)庵猩?，反?yīng)式如下： SiH4+NH3→SiNH+3H2 2SiH4+H2→2SiNH十3H2 硅晶聚合物，或稱聚合硅，在Metal Oxide Semiconductor(MOS)元件中用作閘極接線材料;多層金屬處理中當(dāng)作導(dǎo)電材料;低能階接面元件中為接觸材料。方可作為擴(kuò)散來源，生成低能階接面及硅晶體的歐姆接觸。其他用途包括電容及高電阻的制作。低壓反應(yīng)器在600~650℃間操作，將硅烷熱解生成硅聚合體，反應(yīng)式如下： SiH4→Si+2H2 金屬層如鋁及硅化物用來形成低電阻連接N+、P+及硅聚合物層的金屬接觸，及整流作用的金屬一半導(dǎo)體能障。金屬處理包含內(nèi)部聯(lián)線、歐姆接觸及整流金屬二半導(dǎo)體接觸等金屬層的形成。金屬層可用不同方法鍍上，最重要的方法為物理蒸氣附著及化學(xué)蒸氣附著，鋁與其合金以及硅化金屬為兩種最重要的金屬。在金屬處理中，化學(xué)蒸氣附著(CVD)提供相當(dāng)優(yōu)良的同型階梯涵蓋層，且一次可制成大量晶圓。最新的集成電路cVD金屬附著是應(yīng)用于難熔金屬的附著。以鎢為例其熱解及還原的化學(xué)反應(yīng)式： WF6→W+3F2 WF6+3H2→W+6HF 其他金屬如鉬(MO)，鉭(Ta)，及鈦(Ti)都可應(yīng)用于集成電路。這些金屬的附著皆是在LPCVD反應(yīng)器中進(jìn)行下列氫還原反應(yīng): 2MCl5+5H2→2M+10HCl M代表金屬M(fèi)o,Ta,Ti。鋁附著亦可使用有機(jī)金屬，如三異丁烷鋁: 2{(CH3)2CHCH2}3Al→2Al+3H2+副產(chǎn)物 集成電路金屬處理量最大的是鋁及其合金，因?yàn)閮烧呔邆涞碗娮柘禂?shù)(Al為2.7μΩ-cm，合金為3.5μΩ-cm)，符合低電阻的要求。硅化物如TiSi2及TaSi2，其低電阻系數(shù)(≦50μΩ-cm)，且在整個(gè)集成電路程序中不失原有性質(zhì)，表列出不同硅化物的電阻系數(shù)。 擴(kuò)散與離子植入 擴(kuò)散及離子植入是用來控制半導(dǎo)體中雜質(zhì)量的關(guān)鍵程序。擴(kuò)散方法是使用植入雜質(zhì)或雜質(zhì)的氧化物作氣相附著，將雜質(zhì)原子植入半導(dǎo)體晶圓的表面附近區(qū)域。雜質(zhì)濃度由表面成單調(diào)遞減，雜質(zhì)的分布固形取決于溫度及擴(kuò)散時(shí)間。離子植入程序中，雜質(zhì)是以高能呈離子束植入半導(dǎo)體中。植入雜質(zhì)的濃度在半導(dǎo)體內(nèi)存在一高峰，雜質(zhì)的分布圖形取決于離子的質(zhì)量與植入能量。離子植入程序的優(yōu)點(diǎn)在于雜質(zhì)量的精確控制，雜質(zhì)分布的再重整，以及低溫下操作。擴(kuò)散與離子植入之比較如圖1.3所示。 雜質(zhì)的擴(kuò)散基本上是將半導(dǎo)體晶圓置于熔爐中，然后以帶雜質(zhì)原子的惰性氣體通過。于硅擴(kuò)散作用中，最常使用的雜質(zhì)為硼、砷及磷，這三種元素在硅中的溶解度相當(dāng)高。雜質(zhì)的來源包含數(shù)種，有固體來源(BN，AS2O3及P2O3)，液體來源(BBr3、AsCl3及POCl3)，氣體來源(B2H6、AsH3、及PH3)。通常，以上物質(zhì)由惰性氣體(如N，)輸送至半導(dǎo)體表面而發(fā)生還原反應(yīng)。固體來源的化學(xué)反應(yīng)式如下反應(yīng)時(shí)會往硅表面形成氧化層。 2As2O3+3Si→4As+3SiO2 離子植入是將高能量之帶電粒子射入硅基晶中。半導(dǎo)體中離子植入的實(shí)際應(yīng)用改變了基晶層的電子性質(zhì)。植入雜質(zhì)濃度在1011~1016離子/cm2。雜質(zhì)濃度的表示法是半導(dǎo)體單位表面積1cm2所植入的離子數(shù)目。 采用真空蒸發(fā)鍍膜、濺射或化學(xué)汽相淀積(CVD)等方法淀積薄膜。在真空蒸發(fā)淀積時(shí)，固體蒸發(fā)源材料被放在10-5Torr的真空中有電阻絲加熱至蒸發(fā)臺，蒸發(fā)分子撞擊到較冷的硅片，在硅片表面冷凝形成約lum厚的固態(tài)薄膜。更為先進(jìn)的電子束蒸發(fā)利用高壓加速并聚焦的電子束加熱蒸發(fā)源使之淀積在硅片表面。蒸發(fā)源一般為含硅量為1.2~ 2wt%的鋁硅合金。在濺射工藝中，被濺射材料稱為耙材，作為陰極，硅片作為陽極接地。腔室抽真空后充以惰性氣體，電子在電場加速下與惰性氣體碰撞產(chǎn)生惰性氣體離子和更多電子，惰性氣體離子打到耙材上時(shí)，濺射出耙原子則淀積在陽極襯底上形成薄膜。通常有直流(DC)、射頻(RF)或磁控管濺射系統(tǒng)。濺射一般在25-75*10-3Torr的氣壓下進(jìn)行?；瘜W(xué)汽相淀積(CVD)是利用在硅片附近發(fā)生氣相的化學(xué)反應(yīng)或高溫分解而在硅片上淀積一層薄膜的過程。一般CVD工藝多用于介質(zhì)膜如多晶硅、氧化硅膜或氮化硅膜等的制備，金屬膜也可采用CVD法制備。對于硅平面晶體管，經(jīng)過基區(qū)和發(fā)射區(qū)擴(kuò)散后，就構(gòu)成了晶體管的管芯。但是，要成為完整可實(shí)際操作的晶體管，還必須在管芯的基區(qū)和發(fā)射區(qū)上制備歐姆接觸電極。器件生產(chǎn)中常用真空鍍膜方法來制備管芯的歐姆接觸電極。 四、實(shí)習(xí)總結(jié)與體會 總結(jié)：通過將近一個(gè)小時(shí)的學(xué)習(xí)讓我們了解到了光刻機(jī)的工作原理，或許我們以前只知道光刻機(jī)是什么，但經(jīng)過這一個(gè)小時(shí)的學(xué)習(xí)我們才知道光刻機(jī)究竟是何物。光刻機(jī)研發(fā)技術(shù)雖然繁瑣，昂貴但它的意義在21世紀(jì)確實(shí)無比巨大的，也讓我了解到集成電路技術(shù)在21世紀(jì)的重要性。 五、致謝 感謝學(xué)校和老師讓我們有了這次的參觀機(jī)會，讓我們了解到我國目前的光刻機(jī)，半導(dǎo)體技術(shù)的難題，也讓我們思想得到了升華，雖然實(shí)習(xí)時(shí)間很短，但是不僅對我未來的學(xué)習(xí)有很大幫助，更重要的我感覺自己的思想高度發(fā)生了一些變化，明白了和諧的人際氛圍的重要性，知道了自學(xué)的難度以及必要性，在出現(xiàn)問題關(guān)于如何面對困難，如何解決困難我都有了一定的個(gè)人看法，學(xué)習(xí)并非單純的學(xué)習(xí)，學(xué)以致用更加的重要。在實(shí)習(xí)期間的學(xué)習(xí)和總結(jié)下來的經(jīng)驗(yàn)，我相信一定會為我的未來有大幫助，再次感謝學(xué)校給的這次機(jī)會以及老師的細(xì)心講解。 參考文獻(xiàn)： 百度百科 |
第五篇：微電子實(shí)習(xí)報(bào)告
實(shí)習(xí)報(bào)告
專業(yè)：微電子學(xué)
年級：2010級
姓名：xx
學(xué)號：xxxxxxxxxxxxx
微電子學(xué)是研究在固體材料上構(gòu)成的微小型化電路、電路及系統(tǒng)的電子學(xué)分支。微電子專業(yè)主要研究電子或粒子在固體材料中的運(yùn)動規(guī)律及其應(yīng)用，并利用它來實(shí)現(xiàn)一定的信號處理功能。微電子是一門綜合性很強(qiáng)的邊緣學(xué)科，包括半導(dǎo)體器件物理、集成電路工藝、集成電路及系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、測試等多方面的內(nèi)容；涉及電磁學(xué)、量子力學(xué)、熱力學(xué)與統(tǒng)計(jì)物理學(xué)、固體物理學(xué)、材料科學(xué)、電子線路、信號處理、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)、測試和加工、化學(xué)等諸多領(lǐng)域。
自摩爾定律提出以來，微電子領(lǐng)域一直如神話般按其所預(yù)言的規(guī)律不斷發(fā)展。微電子行業(yè)的進(jìn)步使計(jì)算機(jī)的計(jì)算能力成倍增加，硬件成本大幅度降低，極大地推動了信息產(chǎn)業(yè)和工業(yè)的發(fā)展，是現(xiàn)代信息業(yè)和工業(yè)的基礎(chǔ)。微電子專業(yè)主要培養(yǎng)掌握集成電路、微電子系統(tǒng)設(shè)計(jì)、制造工藝及設(shè)計(jì)軟件系統(tǒng)，能在微電子及相關(guān)領(lǐng)域從事科研、教學(xué)、工程技術(shù)及技術(shù)管理等工作的高級專門人才。
德才兼?zhèn)涞拇髮W(xué)生不僅需要廣泛的通識教育、扎實(shí)的專業(yè)理論功底，更需要理論與實(shí)踐相結(jié)合的正規(guī)化訓(xùn)練。學(xué)校和學(xué)生個(gè)人都有義務(wù)和責(zé)任將大學(xué)生培養(yǎng)成為既有理論知識、又有實(shí)際動手能力的綜合型人才。實(shí)習(xí)是絕大多數(shù)大學(xué)生必須參與的一項(xiàng)實(shí)踐教學(xué)環(huán)節(jié)，通過或長或短的實(shí)習(xí)，學(xué)生可以更深入地了解本行業(yè)各崗位的工作性質(zhì)，及該領(lǐng)域的發(fā)展?fàn)顩r和發(fā)展方向，以便能結(jié)合自己的能力特點(diǎn)和興趣愛好，盡早尋找到適合各人的工作定位，為自己制定更長遠(yuǎn)、更細(xì)致的職業(yè)規(guī)劃。另外，學(xué)生在實(shí)踐過程中也更易于懂得如何將理論知識與具體實(shí)際相結(jié)合，做到學(xué)以致用，不斷提升自己的創(chuàng)造能力。
在大學(xué)生活接近尾聲的時(shí)候，我們也迎來了本專業(yè)的畢業(yè)實(shí)習(xí)，實(shí)習(xí)地點(diǎn)為北京，共歷時(shí)三日。在學(xué)院教師與輔導(dǎo)員的帶領(lǐng)下，我們班同學(xué)于5月25日下午抵達(dá)北京。短暫的休息后，次日正式開始實(shí)習(xí)。
5月26日上午，參觀北京京東方半導(dǎo)體有限公司。據(jù)悉，該公司為京東方科技集團(tuán)股份有限公司的集團(tuán)企業(yè)之一。京東方科技集團(tuán)股份有限公司前身為北京電子管廠，經(jīng)多年的努力，京東方現(xiàn)已發(fā)展成為中國知名的顯示技術(shù)、產(chǎn)品與解決方案的題供商，中國大陸顯示領(lǐng)域最具綜合實(shí)力的高科技企業(yè)，營銷和服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等全球主要地區(qū)。京東方的主要業(yè)務(wù)包括顯示器業(yè)務(wù)、顯示系統(tǒng)業(yè)務(wù)、能源與環(huán)保業(yè)務(wù)、電子材料業(yè)務(wù)、科技商務(wù)園區(qū)業(yè)務(wù)。而北京京東方半導(dǎo)體有限公司的主要經(jīng)營范圍為大、小功率高頻晶體管，半導(dǎo)體零件，金屬零件，功放模塊等，覆蓋民用、商用、軍用多個(gè)等級。工作人員分批次帶領(lǐng)同學(xué)們參觀晶體管測試區(qū)，為同學(xué)們講解晶體管測試的工序及不同等級要求的差異。首次參觀半導(dǎo)體公司，同學(xué)們興趣盎然，大家都踴躍提問。
5月26日下午，參觀北京燕東微電子有限公司。燕東微電子公司是一家專業(yè)化的半導(dǎo)體器件芯片設(shè)計(jì)、制造、銷售的高科技企業(yè)。該公司是生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片的前道工序生產(chǎn)廠家。此次參觀，我們從介紹人員處學(xué)習(xí)到二極管的生產(chǎn)工藝，二極管生產(chǎn)工藝包括焊接、酸洗、模壓、印字、外揀、刷檢、包裝等，每一道工序又包含多道操作流程。焊接工藝目的是利用焊片通過一定溫度，使芯片與金屬引線連接，形成歐姆接觸角；酸洗工藝是利用各種酸和水，對芯片P-N結(jié)周圍邊緣表面進(jìn)行化學(xué)腐蝕，以改善機(jī)械損傷，祛除表面吸附的雜質(zhì)，降低表面電場，使P-N結(jié)的擊穿首先從體內(nèi)發(fā)生，以獲得與理論值接近的反向擊穿電壓和極小的表面漏電流；模壓工藝使管芯片與外界環(huán)境隔離，避免有害氣體侵蝕，并使表面光潔和具有特定的幾何形狀，起到保護(hù)管芯、穩(wěn)定表面、固定管芯內(nèi)引線，提高二極管機(jī)械強(qiáng)度；印字工藝先辨別極性，再將電性分類，標(biāo)示信號和商標(biāo)；外揀將外觀不良品撿出，防止電性合格而外觀不合格的產(chǎn)品流入客戶處；刷檢則是對二極管電性做再次確認(rèn)，提高器件的可靠性；包裝工藝按標(biāo)準(zhǔn)或要求對經(jīng)過分類包裝的產(chǎn)品進(jìn)行產(chǎn)品包裝，起到便于儲存和運(yùn)輸?shù)淖饔?。在工作室的?shí)際操作中，一些工序由機(jī)器自動完成，工序之間需要人工操作，而某些工序也由機(jī)器自動完成工序間的銜接，如刷檢與包裝工藝。
5月27日上午，參觀中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所。半導(dǎo)體所在半導(dǎo)體科學(xué)的基礎(chǔ)研究和高新技術(shù)研究與產(chǎn)業(yè)化方面，取得了大量的重要成果，培養(yǎng)了一批又一批優(yōu)秀科技人才，為我國科技事業(yè)的發(fā)展、國民經(jīng)濟(jì)和國防建設(shè)做出了重要貢獻(xiàn)。研制出中國第一只鍺晶體管、硅平面晶體管、半導(dǎo)體固體組件；研發(fā)出第一根鍺單晶、硅單晶、砷化鎵單晶；制造出第一臺硅單晶爐、區(qū)熔爐；取得一系列重大原創(chuàng)性成果。改革開放后，半導(dǎo)體所逐漸發(fā)展成為集半導(dǎo)體物理、材料、器件及其應(yīng)用于一體的半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的綜合性研究機(jī)構(gòu)。在這里我們了解到半導(dǎo)體的研究前沿和科學(xué)巨匠，也實(shí)際觀看了砷化鎵晶體的拉晶過程，以及一些先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備。
5月27日下午，參觀中國科學(xué)院微電子研究所。中科院微電子所的前身是成立于1958年的中國科學(xué)院109廠，1986年中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微電子學(xué)部加入，合并為中國科學(xué)院微電子中心，2003年正式更名為中國科學(xué)院微電子研究所。主要研究方向有硅器件及集成技術(shù)、微細(xì)加工與新型納米器件集成、微波電路與化合物半導(dǎo)體器件、集成電路設(shè)計(jì)與系統(tǒng)應(yīng)用等。在五十多年的發(fā)展歷程中，中科院微電子所先后為我國第一臺鍺晶體管計(jì)算機(jī)、我國第一臺硅晶體管計(jì)算機(jī)、我國第一顆人造衛(wèi)星“東方紅”提供了半導(dǎo)體晶體管。取得豐碩的成果，為中國微電子技術(shù)的進(jìn)步與產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn)。此參觀期間給我留下深刻印象和具有深遠(yuǎn)影響的是陳寶欽研究院的一場持續(xù)兩小時(shí)的報(bào)告。陳教授在微光刻與電子束光刻技術(shù)方向整整工作了四十年，他告訴我們：“做好每一件簡單的事，就是不簡單；做好每一件平凡的事，就是不平凡”。陳教授幾乎終身專注于微光刻與電子束光刻技術(shù)，但他也對很多事物都充滿興趣。從陳教授的報(bào)告中很容易感受到他對工作和生活都充滿激情，他以身踐行“做好每一件簡單事則不簡單”的人生哲學(xué)。
5月28日上午，參觀北京晨晶電子有限公司。北京晨晶電子是七星華創(chuàng)股份有限公司的子公司，主要生產(chǎn)和研發(fā)各類型的石英晶體諧振器、振蕩器和濾波器，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于載波通訊、導(dǎo)航控制、衛(wèi)星通訊、數(shù)字儀表和計(jì)算機(jī)等各種航天及國防電子設(shè)備和儀器中。晶振從功能上可分為無源晶振和有源晶振，無源晶振只是個(gè)石英晶體片，使用時(shí)需要匹配相應(yīng)的電容、電感、電阻等外圍電路才能工作，精度比有源晶振低，但它不需要電源供電，一般為二管腳封裝；有源晶振內(nèi)部含有石英晶體和匹配電容等外圍電路，精度高、輸出信號穩(wěn)定、不需要設(shè)計(jì)外圍電路，一般為四管腳封裝。石英晶振是利用石英片的壓電效應(yīng)，石英片的機(jī)械形變振幅較小，晶體振動頻率比較穩(wěn)定，當(dāng)外加交變電壓的頻率和晶體的固有頻率相等時(shí)，機(jī)械振動的振幅急劇增加。石英晶體以機(jī)械強(qiáng)度高、物理化學(xué)性能穩(wěn)定、內(nèi)損耗低等優(yōu)點(diǎn)被廣泛用于頻率控制和頻率選擇電路中。石英晶體諧振器由石英片、電極、基座、上蓋、導(dǎo)電膠組成。石英晶片的制作一般需經(jīng)過如下工藝流程：定角、切斷、粗磨、角度分頻、大方片切割、細(xì)磨、線切割、尺寸研磨、浸蝕、頻率分頻、最終檢驗(yàn)。
5月28日上午，參觀完晨晶電子，隨后又參觀了七星華創(chuàng)電子股份有限公司旗下的微電子分公司。七星電子是一家以集成電路制造工藝技術(shù)為核心、以大規(guī)模集成電路制造設(shè)備、混合集成電路和電子元件為主管業(yè)務(wù)，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)于一體的大型綜合性高科技公司。七星電子是中國電子專用設(shè)備協(xié)會理事會長及中國電子元件協(xié)會副理事長單位，具備一流的生產(chǎn)環(huán)境、加工手段和檢測儀器，是中國最大的電子設(shè)備生產(chǎn)基地和高端電子元器件制造基地。七星電子擁有世界上較為先進(jìn)的千級凈化廠房和百級裝配室，具有國際水平的美國MKS、DHI等系列標(biāo)準(zhǔn)，現(xiàn)在，公司產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽能、TFT、分析儀器、光電、制氣、石化、醫(yī)療、航空、電力等行業(yè)。
二十一世紀(jì)是信息時(shí)代，微電子學(xué)無可厚非是信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，微電子的迅猛發(fā)展帶給人類巨大的便利，也帶來了巨大的經(jīng)濟(jì)利益。雖然基于經(jīng)典計(jì)算的計(jì)算機(jī)芯片很快就要達(dá)到物理極限、傳統(tǒng)的摩爾定律就快要失效，但微電子對人類生產(chǎn)力、推動科學(xué)技術(shù)發(fā)展所起的重要作用將被后人永遠(yuǎn)銘記。
在此次短暫的實(shí)習(xí)中，我學(xué)習(xí)了解到晶體管、二極管的生產(chǎn)工藝、直拉法生產(chǎn)單晶硅的工序、石英晶片的制造及檢測工藝等。也見到一些先進(jìn)的工藝設(shè)備，如直拉單晶爐、電子束光刻機(jī)等。我了解到半導(dǎo)體行業(yè)的工作環(huán)境和工作職責(zé)，通過與工作人員的交流，我也意識到掌握扎實(shí)的理論知識在科技創(chuàng)新中的重要性，踏實(shí)工作、注重掌握先進(jìn)技術(shù)對一位優(yōu)秀的工作人員至關(guān)重要。
最后要感謝學(xué)校和相關(guān)單位能為我們提供這次寶貴的實(shí)習(xí)機(jī)會，感謝帶隊(duì)的老師、輔導(dǎo)員以及各公司細(xì)心講解的員工。
點(diǎn)擊咨詢 