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      集成電路典型工藝流程

      時間:2019-05-12 21:46:30下載本文作者:會員上傳
      簡介:寫寫幫文庫小編為你整理了多篇相關(guān)的《集成電路典型工藝流程》,但愿對你工作學(xué)習(xí)有幫助,當(dāng)然你在寫寫幫文庫還可以找到更多《集成電路典型工藝流程》。

      第一篇:集成電路典型工藝流程

      集成電路典型工藝流程

      (1)晶圓

      晶圓(Wafer)的生產(chǎn)由二氧化硅開始,經(jīng)電弧爐提煉還原成冶煉級的硅,再經(jīng)鹽酸氯化,產(chǎn)生三氯化硅,經(jīng)蒸餾純化后,通過慢速分解過程,制成棒狀或粒狀的“多晶硅”。一般晶圓制造廠,將多晶硅熔化后,再利用“籽晶”慢慢拉出單晶硅棒。經(jīng)研磨、拋光、切片后,即成為集成電路芯片生產(chǎn)的原料—晶圓片。

      (2)光刻

      光刻是在光刻膠上經(jīng)過曝光和顯影的工序,把掩模版上的圖形轉(zhuǎn)換到光刻膠下面的薄膜層或硅晶上。光刻主要包含了勻膠、烘烤、光罩對準(zhǔn)、曝光和顯影等工序。由于光學(xué)上的需要,這段工序的照明采用偏黃色的可見光,因此俗稱此區(qū)域為黃光區(qū)。

      (3)干法刻蝕

      在半導(dǎo)體工藝中,刻蝕被用來將某種材質(zhì)自晶圓表面上除去。干法刻蝕是目前最常用的刻蝕方式,以氣體作為主要的刻蝕媒介,并憑借等離子體能量來驅(qū)動反應(yīng)。

      (4)化學(xué)氣相淀積(Chemical Vapor Deposition,CVD)

      化學(xué)氣相淀積是制造微電子器件時用來淀積出某種薄膜(film)的技術(shù),所淀積出的薄膜可能是介電材料(絕緣體,dielectrics)、導(dǎo)體或半導(dǎo)體。

      (5)物理氣相淀積(Physical Vapor Deposition,PVD)

      物理氣相淀積主要包括蒸發(fā)和濺射。如其名稱所示,物理氣相淀積主要是一種物理變化的工藝而非化學(xué)工藝。這種技術(shù)一般使用氬氣等惰性氣體,憑借在高真空中將氬離子加速以撞擊靶材后,可將靶材原子一個個濺射出來,并使被濺射出來的材質(zhì)(通常為鋁、鈦或其合金)淀積在晶圓表面。反應(yīng)室內(nèi)部的高溫與高真空環(huán)境,可使這些金屬原子結(jié)成晶粒,再通過光刻與刻蝕,來得到所要的導(dǎo)電電路。

      (6)氧化

      利用熱氧化法生長一層二氧化硅薄膜,目的是為了降低后續(xù)淀積氮化硅薄膜時產(chǎn)生的應(yīng)力(stress),氮化硅具有很強(qiáng)的應(yīng)力,會影響晶圓表面的結(jié)構(gòu),因此在這一層氮化硅及硅晶圓之間,生長一層二氧化硅薄膜來減緩氮化硅與規(guī)晶圓間的應(yīng)力。

      (7)離子注入

      離子注入工藝可將摻雜物質(zhì)以離子形式注入半導(dǎo)體元件的特定區(qū)域上,以獲得精確的電特性。這些離子必須先被加速至具有足夠能量與速度,以穿透薄膜,到達(dá)預(yù)定的注入深度。離子注入工藝可對注入?yún)^(qū)內(nèi)的摻雜濃度加以精密控制?;旧?,此摻雜濃度由離子束電流與掃描率來控制,而離子注入的深度則由離子束能量之大小來決定。

      (8)化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical PolishingCMP)

      化學(xué)機(jī)械拋光兼其有拋光性物質(zhì)的機(jī)械式研磨與酸堿溶液的化學(xué)式研磨兩種作用,可以使晶圓表面達(dá)到全面性的平坦化,以利后續(xù)薄膜淀積工序的進(jìn)行。

      第二篇:污水處理典型工藝流程

      來源:中國污水處理工程網(wǎng)

      氧化溝工藝:

      中水回用處理典型工藝流程:

      來源:中國污水處理工程網(wǎng)

      垃圾滲濾液典型工藝流程:

      城市污水回用處理工藝:

      來源:中國污水處理工程網(wǎng)

      鋼鐵乳化液處理典型工藝流程:

      第三篇:卷煙廠典型工藝流程和配置

      卷煙廠典型工藝流程和配置

      制絲線

      制絲線一般包括:葉片線、白肋煙處理線、梗線、切絲 線、烘絲線、切梗絲線、梗絲膨脹線、摻配加香線、儲絲 柜等幾個工藝段。

      制絲線設(shè)備主要種類包括:筒類、皮帶輸送機(jī)、震動輸送

      機(jī)、儲柜、定量喂料系統(tǒng)等。

      其一般運(yùn)行原理是:使用儲倉來緩沖、儲備物料;通過提升機(jī)提取物料,其速度受定量管內(nèi)物料高度的控制;而定量管能夠使物料流成為較規(guī)則的形狀,以提高皮帶秤的測量精度;最后,電子皮帶秤通過物料流量或皮帶速度來控制物料的計量。

      葉片線:葉片線由開包機(jī)、切片機(jī)、松散筒、異物剔除 機(jī)、潤葉筒等部件組成,經(jīng)葉片線處理后的物料變得柔 軟、濕潤,可大大提高物料的可加工性。

      白肋煙處理線:主要設(shè)備由白肋煙儲柜、加料機(jī)、烘培 機(jī)、電子皮帶秤、加料筒組成。經(jīng)白肋煙處理線處理后的白肋煙會被送入儲柜進(jìn)行混合、浸潤、儲存,然后與烤煙 葉片摻配、儲存后進(jìn)行切絲處理。

      梗處理線:梗處理線由翻箱喂料機(jī)、提升喂料機(jī)、異物剔

      除機(jī)、加濕筒(潤梗筒)、儲梗柜等組成。

      切絲/切梗絲線:切絲/切梗絲線由切絲機(jī)、倉儲喂料機(jī)、定量管、電子皮帶秤、壓梗機(jī)、切梗絲機(jī)等組成。

      烘絲線/梗絲膨化塔:通過HT(HEATED TUNNEL)—加熱通道、烘絲機(jī)/梗絲膨化塔等部件,使煙絲膨脹而變得柔 韌而有彈性。

      配比加香線:通過冷卻風(fēng)機(jī)、儲柜、翻箱喂料機(jī)、提升喂

      料機(jī)、配比皮帶秤、加香機(jī)和儲絲柜等部件,將葉絲、膨脹 后的梗絲、薄片絲、膨脹后的葉絲及卷包車間回收的煙絲 按設(shè)定的比例摻配、加香。

      二氧化碳膨脹煙絲線

      煙草膨脹技術(shù)的研究始于60年代末,70年代開始應(yīng)用于生產(chǎn),在國際卷煙工業(yè)獲得廣泛應(yīng)用。二氧化碳(CO2)煙絲膨脹技術(shù)是美國菲利浦·莫里斯(PM)煙草公司與阿爾考(AIRC0)公司于70年代聯(lián)合研制的,目前應(yīng)用最為普遍的CO2膨脹煙絲技術(shù)有BOC和BAT兩種模式。

      我國自1988年開始引進(jìn)此項技術(shù),1991年首先在上海、寧

      波兩家煙廠投入使用,隨后廣

      一、張家口、武漢、深圳、蚌 埠五家煙廠引進(jìn),現(xiàn)在全國有30多條生產(chǎn)線,BOC和BAT 模式的均有。秦皇島煙機(jī)廠引進(jìn)并消化了兩種技術(shù),其中 BOC占2/3,BAT占1/3。

      誥硌膛浞街脅粲門蛘脫趟浚壞梢約跎傺趟坑昧浚?時由于煙絲細(xì)胞組織“蓬松”而使燃燒性能得到改善,并 能減少卷煙煙氣中焦油等有害成分。

      CO2煙絲膨脹工藝流程:葉片煙經(jīng)過開箱與計量、切片、松 散回潮、配葉貯葉、切絲、增溫增濕和貯絲后被定

      量送入 浸漬器中,利用液態(tài)CO2浸漬煙絲 ;將含有干冰的煙絲從 罐中卸出松散,并流量均勻地送入以過熱蒸汽為干燥介質(zhì) 的高溫氣流輸送膨脹系統(tǒng),煙絲內(nèi)的CO2快速汽化和升華, 煙絲內(nèi)的水分也被汽化和升華,煙絲細(xì)胞得到膨脹。膨脹后的煙絲經(jīng)切向分離器與工藝氣體分離,冷卻至常溫后, 通過回潮使其含水率達(dá)到工藝要求。

      CO2膨脹煙絲線包括四大部分:煙絲制備段,冷端設(shè)備, 熱端設(shè)備和回潮段。其中浸漬裝置、升華裝置和回潮機(jī)是 CO2膨脹煙絲的主機(jī)部分。

      煙絲制備段:主要設(shè)備包括倉式喂料機(jī)、皮帶秤、雙速輸 送皮帶(布料帶)、往復(fù)輸送機(jī)。

      ·倉式喂料機(jī)與皮帶秤組成恒流量控制系統(tǒng),以提高布料 的均勻性

      ·雙速輸送皮帶:由變頻器控制,以低速度布料、高速度 供料

      ·往復(fù)輸送機(jī):通過接收供料信號往復(fù)輸送物料

      冷端設(shè)備:冷端設(shè)備主要包括浸漬器(液壓站系統(tǒng))、工藝 罐、工藝泵、高壓回收罐、低壓回收罐、高壓壓縮機(jī)、低 壓壓縮機(jī)、回收制冷機(jī)組、補(bǔ)償泵、貯罐(傳輸泵)、停機(jī) 制冷機(jī)組。冷端設(shè)備所處理的介質(zhì)主要為低溫、高壓的二氧化碳液體和氣體。

      ·浸漬器單元:主要包括浸漬器和安全裝置,浸漬器是整條線的核心設(shè)備之一,它的主要作用是完成CO2對煙絲的浸漬

      工藝罐:用于儲存和向浸漬器提供工藝用CO2液體和氣體

      高壓回收罐:用于在浸漬過程中,對浸漬器吹除和一次 增壓,回收浸漬器內(nèi)高壓的CO2氣體和由低壓回收罐經(jīng) 低壓壓縮機(jī)壓縮后的CO2氣體

      低壓回收罐:回收浸漬器內(nèi)高壓回收后剩余的低壓CO2,再經(jīng)低壓壓縮機(jī)升壓送入高壓回收罐

      低壓壓縮機(jī):用于對低壓回收罐內(nèi)CO2氣體進(jìn)行壓縮并 送入高壓回收罐

      高壓壓縮機(jī):用于對高壓回收罐內(nèi)CO2氣體進(jìn)行壓縮并 送入工藝罐,循環(huán)使用

      制冷機(jī)組:用于對進(jìn)入冷凝器的經(jīng)高壓壓縮機(jī)壓縮的CO2 氣體進(jìn)行冷卻,使之成為CO2液體,被冷凝CO2液體 根據(jù)工藝控制需要,定時排入工藝罐

      工藝泵:將工藝罐內(nèi)的CO2液體迅速泵入浸漬器

      儲罐單元:用于貯存和供給工藝所必需的液態(tài)CO2,貯 罐的CO2液體由槽車提供

      熱端設(shè)備:熱端設(shè)備包括傳輸槽、開松器、振動柜、計量 帶、進(jìn)料空氣鎖、升華器(工藝風(fēng)機(jī)、廢氣風(fēng)機(jī))、切向分 離器、出料空氣鎖、燃燒爐(加熱器、預(yù)熱器)、冷卻振動 輸送機(jī)、冷卻皮帶輸送機(jī)。熱端設(shè)備工作溫度較高,一般 均在300℃以上。

      傳輸槽:用于接送從浸漬器卸下的-78℃的干冰煙絲,煙 絲經(jīng)浸漬后通過傳輸槽進(jìn)入開松器

      松器:用于將傳輸槽落下的干冰煙絲打散,再落入振動柜

      振動柜:接收來

      自開松器的干冰煙絲,貯存并通過振動 體將煙絲通過限量管均勻送入計量帶

      計量帶:由機(jī)架、輸送槽體、傳動裝置和出料斗等組成,在輸送皮帶的上方設(shè)有光電管來檢測物料的情況

      進(jìn)料空氣鎖:主要由箱體、轉(zhuǎn)子、傳動裝置三部分組成, 其作用是當(dāng)干冰煙絲通過時,能阻止空氣通過,以免過 量空氣進(jìn)入升華器

      升華器:由工藝風(fēng)機(jī)、廢氣風(fēng)機(jī)、升華管路、主工藝氣 體管路、冷風(fēng)旁路、廢氣管路、蒸汽系統(tǒng)等部分組成, 是CO2膨脹煙絲生產(chǎn)線熱端的關(guān)鍵設(shè)備,主要完成對干 冰煙絲的升華,促使煙絲膨脹,并使工藝氣體不斷進(jìn)入 燃燒爐再行加熱循環(huán)使用

      ·切向分離器:用于將膨脹的煙絲與工藝氣體分離

      ·出料空氣鎖:用于切向分離器分離出來的膨脹煙絲輸出,并阻止空氣不進(jìn)入升華裝置

      ·冷卻振動輸送機(jī):接收出料空氣鎖落下的膨脹煙絲,散 熱降溫并均勻輸送

      ·燃燒爐:為升華器中的高溫工藝氣體提供熱量,并焚燒 生產(chǎn)線中的廢氣

      ·回潮段:用于對膨脹后的煙絲進(jìn)行回潮降溫處理,主要包 括:皮帶秤、水分儀、回潮筒等設(shè)備。

      ·皮帶秤:用于煙絲流量的測量,作為回潮筒加水、加香 的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)

      ·水分儀:用于煙絲水分的測量,其測得的數(shù)據(jù)作為反饋 信號,用來控制回潮筒加水量

      ·回潮筒:內(nèi)裝有噴淋裝置,有些二氧化碳膨脹線在該筒 還裝有加香加料裝置,水分5%~10%左右的膨脹煙絲經(jīng)

      過充分回潮,含水率達(dá)13%±0.5%,即為成品膨脹煙絲

      卷煙生產(chǎn)的物流系統(tǒng)

      卷煙生產(chǎn)的物流主要包括:原料物流、輔料物流、成品物 流三部分。

      原料物流系統(tǒng)

      完成將卷煙生產(chǎn)使用的原料(把煙、片煙、煙梗)從進(jìn)入工 廠到運(yùn)送至制絲線生產(chǎn)現(xiàn)場的全過程的系統(tǒng)。包括原料供 應(yīng)、原料儲存、配方庫、原料供給、剩料回收等幾個過程。

      ·原料供應(yīng):將不同類型、不同品種的原料從運(yùn)送的卡車卸下,并運(yùn)送到原料儲存?zhèn)}庫

      ·原料儲存:包括登記原料信息并生成識別標(biāo)簽、原料運(yùn)輸與碼放、儲存、出庫等工序

      ·配方庫:配方庫計算機(jī)管理系統(tǒng)接到排產(chǎn)單,根據(jù)排產(chǎn)

      順序,分別調(diào)用相應(yīng)品牌產(chǎn)品的原料配方

      ·原料供給:當(dāng)制絲線準(zhǔn)備好后,發(fā)出供料申請信號,激光導(dǎo)引車則將原料從配方庫送到相應(yīng)地點(diǎn)等待加工

      ·剩料回收:有些原料在一個批次中無法使用整包,將剩余原料送回配方庫暫存

      輔料物流

      輔料物流是將購進(jìn)的卷煙輔料進(jìn)行拆分后按比例重新打 包、儲存、配送到各個機(jī)臺的系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括輔料供應(yīng)、輔

      料拆分與重新打包、輔料儲存、輔料配送等幾部分。

      ·輔料供應(yīng):將外購的輔料送至輔料拆分現(xiàn)場

      ·輔料拆分與重新打包:根據(jù)不同輔料的消耗量和包裝規(guī) 格,拆分大包與重新包裝

      ·輔料儲存:將按生產(chǎn)需要,重新按比例組合好的輔料放入 高架倉庫內(nèi)儲存

      ·輔料配送:根據(jù) “輔料供給”請求信號配送輔料

      成品物流

      成品物流系統(tǒng)是將卷接包車間生產(chǎn)的箱裝的成品煙進(jìn)行分 撿、碼垛、儲存、配送的系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括成品分撿、煙 箱碼垛、托盤運(yùn)輸、成品儲存、配送等幾部分。

      ·成品分撿:通過對煙箱條形碼掃描,將不同品牌規(guī)格的 成品煙分揀到不同的出口

      ·煙箱碼垛:在煙箱輸送軌道出口配有自動碼垛機(jī)將煙箱 按設(shè)定數(shù)量碼放在標(biāo)準(zhǔn)托盤上

      ·托盤運(yùn)輸:碼放好成品煙箱的托盤,由激光導(dǎo)引小車運(yùn) 送到成品煙倉庫

      ·成品儲存:對裝有成品煙的托盤進(jìn)行登記,生成識別標(biāo)簽并指定其存放位置

      ·成品配送:根據(jù)訂單上需要的品牌,提取并修改托盤的識別標(biāo)簽,同時將煙箱通過軌道輸送到裝車地點(diǎn)

      卷接包生產(chǎn)設(shè)備

      卷煙廠的卷接包車間的設(shè)備分為:卷接機(jī)組、煙支輸送與緩存設(shè)備、包裝機(jī)組、煙絲回收設(shè)備、嘴棒輸送設(shè)備等。

      卷接機(jī)組:將成品煙絲送入卷煙機(jī),并用盤紙將煙絲卷成煙條,再用水松紙將分切成要求長度的煙條和嘴棒接裝成成品煙支的設(shè)備。卷接機(jī)組包括送絲、卷煙、接裝等幾部分。

      煙支輸送與緩存設(shè)備:是將卷接機(jī)組生產(chǎn)的煙支輸送至包裝機(jī)組、或暫時儲存、或裝盤儲存的設(shè)備。整個系統(tǒng)包括 通道、裝盤機(jī)、卸盤機(jī)、緩存設(shè)備等。

      現(xiàn)代的卷接機(jī)組生產(chǎn)能力越來越大,1600支/分鐘的設(shè)備已在一些煙廠使用,煙支緩存裝置通過大容量的在線緩存 技術(shù),保證了生產(chǎn)的連續(xù)性,是連接卷接機(jī)組和包裝機(jī)組的橋梁。

      包裝機(jī)組:將煙支裝入小盒,將小盒裝入條盒,并在小盒、條盒外分別包上透明包裝紙的設(shè)備。包裝機(jī)組包括下 煙器、小盒包裝機(jī)、小盒儲存輸送設(shè)備、條盒包裝機(jī)等幾部分。

      ·下煙器:將煙支梳理整齊,按順序送入小盒包裝機(jī)

      ·小盒包裝機(jī):該設(shè)備是包裝機(jī)組最為復(fù)雜、工序最多、精度要求最高的部分。主要完成取定量煙支、缺支斷支檢測、空頭監(jiān)測、鋁箔紙包裝、硬盒/軟盒包裝、粘貼口花(軟盒)、小透明紙包裝工序的設(shè)備

      ·小盒儲存

      輸送設(shè)備:是小盒包裝機(jī)與條盒包裝機(jī)之間的 連接部分,也是包裝機(jī)組的緩沖裝置

      ·條盒包裝機(jī):完成對每10小包進(jìn)行一條包的包裝,條盒外透明紙的包裝過 程

      煙絲回收設(shè)備:回收不合格煙支內(nèi)煙絲的設(shè)備?;竟ば虬熤崂?將煙支沿傳輸帶縱向排放),沿支剖切(沿?zé)?支軸向剖開盤紙),篩分(將煙絲與其它雜物分離),裝箱(將回收的煙絲與其它雜物分別裝箱)?;厥盏臒熃z可送至 制絲線摻配段摻兌到低檔煙絲內(nèi)重新利用。

      嘴棒輸送設(shè)備:

      ·嘴棒輸送設(shè)備:將嘴棒送入管道,并用風(fēng)力把嘴棒快速送至卷煙機(jī)的設(shè)備

      ·嘴棒發(fā)射裝置-將嘴棒依次送入嘴棒輸送管道的設(shè)備,可向一臺或多臺卷煙機(jī)供應(yīng)相同的嘴棒

      ·嘴棒接收裝置-嘴棒接收裝置與卷煙機(jī)相連,用于接收從嘴棒發(fā)射裝置發(fā) 送來的嘴棒.

      第四篇:藥品生產(chǎn)典型工藝流程框圖

      常見藥品生產(chǎn)典型工藝流程框圖

      藥品生產(chǎn)對環(huán)境的潔凈等級要求與藥品的品種、劑型和生產(chǎn)特點(diǎn)有關(guān)。常見藥品生產(chǎn)的典型工藝流程及環(huán)境區(qū)域劃分如圖1-1至圖1-9。

      粗品或濃縮液活性炭溶劑過 濾結(jié) 晶分 離干 燥過 篩混 合包 裝入 庫貯 存30萬級區(qū)包裝桶清 潔內(nèi)包裝材料清 理

      圖1-1 非無菌原料藥精制、干燥、包裝工藝流程框圖及環(huán)境區(qū)域劃分

      抗生素濃縮液粗品活性炭溶劑玻璃瓶或鋁瓶瓶塞純水注射用水過 濾無菌過濾結(jié) 晶分 離噴霧干燥干 燥過 篩混 合裝 瓶貼 簽裝 箱入 庫粗 洗清 洗精 洗干燥滅菌冷 卻過 濾過 濾10萬級區(qū)1萬級區(qū)紙箱標(biāo)簽100級區(qū)

      圖1-2 無菌原料藥精制、干燥、包裝工藝流程框圖及環(huán)境區(qū)域劃分

      原輔料粉 碎粗 篩精 篩配 料30萬級區(qū)崩解劑潤濕劑其他包裝容器潤滑劑崩解劑濕 法干 燥包衣液粗 洗精 洗干 燥配 制包 衣整 ???混壓 片沖模制 粒干 法直接法玻璃瓶消 毒冷 卻分 裝冷 卻干 燥消 毒包 裝入 庫包裝材料內(nèi)包裝材料

      圖1-3 片劑生產(chǎn)工藝流程框圖及環(huán)境區(qū)域劃分

      原輔料粉 碎粗 篩精 篩配 料30萬級區(qū)填充物制備如粉末,顆粒,小丸等空心膠囊消 毒裝 囊內(nèi)包裝材料消 毒包 裝外包裝材料外包裝入 庫

      圖1-4 硬膠囊劑生產(chǎn)工藝流程框圖及環(huán)境區(qū)域劃分

      原輔料填充泵楔形注入器注入膠 帶旋轉(zhuǎn)模潤滑油膠漿涂 膠模 壓膠 帶旋轉(zhuǎn)模膠皮回收廢油液切 離膠囊清洗定 型干 燥10萬級區(qū)質(zhì) 檢包 裝入 庫圖1-5 壓制法軟膠囊劑生產(chǎn)工藝流程框圖及環(huán)境區(qū)域劃分

      飲用水安瓿原輔料離子交換切 割過 濾粗 洗配 制粗 濾純化水蒸 餾過 濾精 洗干燥滅菌冷 卻精 濾注射用水灌 裝封 口滅菌、檢漏印 字紙箱10萬級區(qū)包裝1萬級區(qū)入 庫

      圖1-6 可滅菌小容量注射劑生產(chǎn)工藝流程框圖及環(huán)境區(qū)域劃分

      紙盒

      飲用水膠塞隔離膜輸液瓶原輔料離子交換酸堿處理粗 洗乙醇浸泡瓶外清洗清潔劑清洗稱 量濃 配過 濾稀 配粗 濾精 濾純水化煮 沸過 濾蒸 餾清 洗清 洗清 洗粗 洗清 洗注射用水精 洗過 濾精 洗精 洗灌 裝放 膜上 塞翻 塞30萬級區(qū)1萬級區(qū)10萬級區(qū)鋁蓋100級區(qū)扎 口紙箱標(biāo)簽滅菌燈 檢加 蓋入 庫包 裝貼 簽

      圖1-7 可滅菌大容量注射劑生產(chǎn)工藝流程框圖及環(huán)境區(qū)域劃分 凍干用原料分裝用原料玻璃瓶膠塞擦洗消毒配 料擦洗消毒洗 瓶酸堿處理飲用水洗純化水洗干燥滅菌無菌過濾灌 裝凍 干加 塞軋 蓋檢 查冷 卻分 裝軋 蓋注射用水洗硅 化干燥滅菌滅 菌鋁蓋10萬級區(qū)1萬級區(qū)100級區(qū)紙箱目 檢封 蠟白蠟紙蓋入 庫裝 箱裝 盒貼 簽標(biāo)簽

      圖1-8 注射用無菌分裝產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程框圖及環(huán)境區(qū)域劃分 膠塞非無菌原料藥西林瓶酸堿處理飲用水洗純化水洗注射用水洗溶解配制滅菌過濾洗 瓶干燥滅菌冷 卻A法 B法定量灌裝硅 化膠塞塞半干燥滅菌冷凍干燥冷 卻膠塞全壓塞鋁蓋軋 蓋托盤注入冷凍干燥粉碎過篩分裝到容器密 封10萬級區(qū)生物潔凈室A:管制抗生素玻璃瓶凍結(jié)法B:托盤凍結(jié)法檢 查包 裝入 庫包裝材料

      圖1-9 注射用冷凍干燥制品生產(chǎn)工藝流程框圖及環(huán)境區(qū)域劃分

      第五篇:MBR處理糞便污水的典型工藝流程

      MBR處理糞便污水的典型工藝流程有5種。他們分別為高效生物反硝化-超濾,高負(fù)荷反硝化-超濾,高負(fù)荷活性污泥-超濾,活性污泥-超濾以及高效沼氣發(fā)酵-超濾。

      高效生物反硝化-超濾

      高效生物反硝化-超濾MBR工藝流程根據(jù)小反應(yīng)池位置不同有兩種工藝(參見圖1)。糞便的前處理用粗網(wǎng)和細(xì)網(wǎng)去除纖維和粗大固體顆粒,生物反硝化單元包括兩個反應(yīng)池,主反應(yīng)池中用來去除大部分BOD5和N,并加入甲醇加強(qiáng)除氮功能,小反應(yīng)池利用反硝化菌的內(nèi)源呼吸進(jìn)一步去除N。好氧和厭氧段由計算機(jī)根據(jù)氧化-還原電位(oxidation reduction potential,ORP)、溶解氧(DO)情況調(diào)節(jié)供氧量,處理水的深度處理包括凝聚超濾、活性炭吸附和消毒。

      高負(fù)荷反硝化-超濾

      高負(fù)荷反硝化-超濾MBR工藝流程(參見圖2)。入水經(jīng)粉碎、絮凝-篩網(wǎng)后進(jìn)入生物反應(yīng)池,與工藝1、2不同,生物反應(yīng)池只有一個,采用間歇曝氣方式除去總氮,生物處理出水經(jīng)深度處理后排放。

      高負(fù)荷活性污泥-超濾

      日本靜岡的糞便處理廠采用高負(fù)荷活性污泥-超濾的MBR 處理糞便和化糞池的污泥,處理量是160m3/d ,污水中含BOD和T-N總量分別是1199kg/d 和356kg/d。其處理工藝較復(fù)雜,處理流程參見圖3。生物反應(yīng)分為兩個階段:第一階段生物反應(yīng)包括厭氧/好氧兩個反應(yīng)池,污水經(jīng)格柵前處理,進(jìn)入第一階段生物反應(yīng)器,處理出水經(jīng)膜過濾,膜過濾液進(jìn)入第二階段生物反應(yīng)器,濃縮液回到第一階段的厭氧反應(yīng)器;第二階段反應(yīng)池處理第一階段反應(yīng)的膜過濾液和廠中的低濃度污水,第二階段處理出水經(jīng)包括凝聚超濾、活性炭吸附和消毒的深度處理,系統(tǒng)中產(chǎn)生污泥脫水后焚燒。

      活性污泥-超濾

      上述3種工藝流程均是日本糞便污水處理廠的工程實(shí)例,活性污泥-超濾MBR 是國內(nèi)河海大學(xué)實(shí)驗規(guī)模的工藝流程(如圖4 所示),與上述流程相比,較為簡單。糞便污水經(jīng)稀釋后儲存在調(diào)節(jié)池中,然后氣提至曝氣池,再進(jìn)入浸沒式MBR ,糞便污水中有機(jī)污染物被微生物降解,處理水由負(fù)壓抽吸經(jīng)膜過濾后出水。

      高效沼氣發(fā)酵-超濾

      此流程是日本中試規(guī)模的試驗流程(參見圖5),處理量為0.5m3/d ,糞便經(jīng)篩網(wǎng)過濾處理,一部分進(jìn)入沼氣發(fā)酵反應(yīng)器,另一部分經(jīng)過膜分離,分離濃縮液進(jìn)入沼氣發(fā)酵反應(yīng)器,透過液與沼氣發(fā)酵反應(yīng)器的超濾出水進(jìn)入UASB 沼氣發(fā)酵反應(yīng)器,反應(yīng)后的混合液進(jìn)入沉淀池進(jìn)行泥水分離,澄清水排出系統(tǒng),該工藝的前半部分可看作是MBR法。

      操作參數(shù)

      處理效果

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