第一篇：MEMS微機電系統(tǒng)考試總結

1、微機電制造工藝有哪些，及其主要技術特征是哪些？

目前，常用的制作微機電系統(tǒng)器件的技術主要有三種。

第一種是以日本為代表的利用傳統(tǒng)機械加工手段，即利用大機器制造小機器，再利用小機器制造微機器的方法。

第二種是以美國為代表的利用化學腐蝕或集成電路工藝技術對硅材料進行加工，形成硅基微機電系統(tǒng)器件。

第三種是以德國為代表的LIGA(即光刻、電鑄和塑鑄)技術，它是利用X射線光刻技術，通過電鑄成型和塑鑄形成深層微結構的方法。

上述第二種方法與傳統(tǒng)IC工藝兼容，可以實現(xiàn)微機械和微電子的系統(tǒng)集成，而且適合于批量生產，已經成為目前微機電系統(tǒng)的主流技術。LIGA技術可用來加工各種金屬、塑料和陶瓷等材料，并可用來制做深寬比大的精細結構(加工深度可以達到幾百微米)，因此也是一種比較重要的微機電系統(tǒng)加工技術。LIGA技術自八十年代中期由德國開發(fā)出來以后得到了迅速發(fā)展，人們已利用該技術開發(fā)和制造出了微齒輪、微馬達、微加速度計、微射流計等。第一種加工方法可以用于加工一些在特殊場合應用的微機械裝置，如微型機器人、微型手術臺等。

2、在微機電系統(tǒng)制造過程中，常用的材料有哪幾種，每一種材料的優(yōu)缺點。陶瓷、金屬、硅材料。常用的是硅。硅的優(yōu)點？回答出主要特征。答：壓電材料、記憶合金、巨磁材料、半導體材料：硅及其化合物等

電致伸縮材料：壓電陶瓷、氧化鋅、石英等 磁致伸縮材料：鎳鈦合金

壓電材料的優(yōu)點

1、充當容性負載, 在靜態(tài)操作時需要非常小的功率,簡化電源需求。

2、充當容性負載,需要非常小的功率在靜態(tài)操作,簡化電源需求。

3、可達到大約1/1000的張力

記憶合金的優(yōu)點

1、產生很大的力

2、比著其他材料有很大的變形

3、沒有污染和噪聲 缺點 1 延遲效應

2、根據(jù)專門的應用必須分類

硅是用來制造集成電路的主要原材料。由于在電子工業(yè)中已經有許多實用硅制造極小的結構的經驗，硅也是微機電系統(tǒng)非常常用的原材料。硅的物質特性也有一定的優(yōu)點。單晶體的硅遵守胡克定律，幾乎沒有彈性滯后的現(xiàn)象，因此幾乎不耗能，其運動特性非常可靠。此外硅不易折斷，因此非?？煽?，其使用周期可以達到上兆次。一般微機電系統(tǒng)的生產方式是在基質上堆積物質層，然后使用平板印刷和蝕刻的方法來讓它形成各種需要的結構。硬度非常強，相對較輕

3、在制造微機電系統(tǒng)時，其中最主要的環(huán)節(jié)是框架，主要由哪幾種工藝，每一種工藝的條件制作薄膜有幾種工藝，每一種工藝的優(yōu)缺點。

硅表面微機械加工技術包括制膜工藝和薄膜腐蝕工藝。制膜工藝包括濕法制膜和干式制膜。濕法制膜包括電鍍（LIGA工藝）、澆鑄法和旋轉涂層法、陽極氧化工藝。其中LIGA工藝是利用光制造工藝制作高寬比結構的方法，它利用同步輻射源發(fā)出的X射線照射到一種特殊的PMMA感光膠上獲得高寬比的鑄型，然后通過電鍍或化學鍍的方法得到所要的金屬結構。干式制膜主要包括CVD（Chemical Vapor Deposition）和PVD（Physical Vapor Deposition）。薄膜腐蝕工藝主要是采用濕法腐蝕，所以要選擇合適的腐蝕液。

3、在制造微機電系統(tǒng)時，其中最主要的環(huán)節(jié)是frame，主要由哪幾種工藝，每一種工藝的條件 制作薄膜有幾種工藝，每一種工藝的優(yōu)缺點。答：標準工藝有體硅工藝和表面工藝。體硅工藝：

1、定義鍵合區(qū)；光刻，刻蝕鍵槽。

2、擴散參雜；離子注入形成接觸區(qū)，用于輕摻雜沉底。

3、形成金屬電極；光刻，腐蝕玻璃形成淺槽，濺射Ti/Pt/Au，剝離形成金屬電極。

4、硅/玻璃陽極鍵合；雙面對準，誤差5um。

5、硅片減??；減?。?0-100um）KOH腐蝕，機械減薄，玻璃面劃片。

6、ICP刻蝕；濺射AI，光刻，刻蝕AI，IPC刻蝕Si，釋放結構。表面工藝：

1、上層電極；淀積氧化硅，淀積氮化硅，淀積多晶硅，光刻，掩模，刻蝕多晶硅。

2、下層電極：淀積氧化硅，淀積氮化硅，淀積多晶硅，光刻，掩模，刻蝕多晶硅。

3、犧牲層：淀積PSG，光刻，刻蝕PSG。

4、刻蝕支撐點：光刻，刻蝕PSG。

5、淀積多晶硅：點擊多晶硅，應力調整。

6、刻蝕多晶硅：光刻，刻蝕多晶硅。

7、釋放結構：犧牲層腐蝕，防粘附處理。制作薄膜方法:

1、2、化學沉積：源材料通過化學反應生成所材料沉積到沉底表面。（氣相和液相）物理沉積：源材料直接轉移到沉底表面形成薄膜。（通常為氣相淀積）

制作薄膜工藝：PVD工藝，CVD工藝； PVD工藝：物理氣相沉積（PVD）；

基本原理：在真空狀態(tài)下，加熱源材料，是原子或分子從源材料表面逸出從而在襯底上生長薄膜的方法。優(yōu)點：

設備簡單、操作容易、薄膜純度高、成膜速率快。缺點：

薄膜與襯底附著力小、臺階覆蓋差。CVD工藝：

特點：反應物和副產物為氣體，成膜速度快，薄膜的成分精確可控，淀積膜結構完整、致密，與襯底粘附性好，極佳的臺階覆蓋能力，可以獲得平滑的沉積表面，CVD某些成膜溫度遠低于體材料的熔點，可得到高純度、結晶完全的膜層。

第四題：簡單的回答題

10分 如何來制作一個懸臂梁？工藝有哪些？主要考犧牲層工藝。答：

第1 步,在清洗后的硅約束基底上長215 μm厚的PSG膜。

第2 步,利用光刻得到制作覆蓋在PSG表面的用于刻蝕PSG膜的掩模1 ,采用等離子干法刻蝕方 法(RIE ,Reactive Ion Etch)刻蝕PSG膜。

第3 步,利用光刻得到制作覆蓋在PSG表面的用于沉積氮化硅(SiNx)和鋁(Al)膜的掩模2。第4 步,利用掩模2 ,在硅約束基底和PSG膜上長0.5μm 厚的氮化硅(SiNx)膜。第5 步,在氮化硅(SiNx)膜上濺射0.3 μm 厚鋁膜,形成雙材料梁。第6 步,最后把余留的光刻膠和其上的Au 一起去除,最后,犧牲層的釋放。

工藝：備片，淀積，退火。光刻，刻蝕，去膠，光刻，淀積，退火，濺射，去膠，釋放。

MEMS 可變電容的制作工藝中的犧牲層釋放

犧牲層技術：是制造表面微機械結構的關鍵與核心技術,所謂犧牲層技術就是利用不同材料在1 種腐蝕液(或腐蝕氣體)中腐蝕速率的巨大差異,選擇性的腐蝕去掉結構層薄膜下面的1 層材料(即犧牲層材料),從結構層下面將犧牲層選擇性的腐蝕掉,留下的結構層與襯底表面分開(這一步腐蝕犧牲層工藝一般稱之為釋放),形成了表面距離等于犧牲層厚度的懸空梁結構。犧牲層技術的關鍵在于犧牲層材料及腐蝕液,要使該腐蝕液對犧牲層腐蝕得很快而對犧牲層上、下方的結構膜材料腐蝕得很慢,二者的腐蝕速率之比越大,機構膜層受影響就越小,實現(xiàn) 的機構就越精確與理想。

4、所謂“表面犧牲層”技術，即在形成微機械結構的空腔或可活動的微結構過程中，先在下層薄膜上用結構材料淀積所需的各種特殊結構件，再用化學刻蝕劑將此層薄膜腐蝕掉，但不損傷微結構件，然后得到上層薄膜結構（空腔或微結構件）。由于被去掉的下層薄膜只起分離層作用，故稱其為犧牲層

尺寸效應：所謂的尺寸效應是指在經典宏觀規(guī)律適用的條件下，結構和器件的性能隨特征尺度減小發(fā)生的變化。尺寸效應對MEMS的影響：在當前MEMS所能達到的尺度下，宏觀世界基本的物理規(guī)律仍然起作用，但由于尺寸縮小帶來的影響，許多物理現(xiàn)象與宏觀世界有很 大區(qū)別，相應物理量的作用可能發(fā)生急劇變化，而且與尺寸不一定成線性關系。原先在宏觀結構中占主導作用的物理量在微結構和器件中的作用可能下降，而另一些 次要作用力卻上升到主導地。

凝膠：柔軟而具有一定強度，在溶劑中不溶解，加熱不熔化的輕度化學交聯(lián)的聚合物。壓電材料：壓電材料是受到壓力作用時會在兩端面間出現(xiàn)電壓的晶體材料。

硅片鍵合技術：硅片鍵合技術是指通過化學和物理作用將硅片與硅片、硅片與玻璃或其它材料緊密地結合起來的方法。

第二篇：MEMS微機電系統(tǒng)總結

一，簡答題

1，微機電制造工藝及每種工藝的用途、技術特征或者步驟

微電子集成工藝是基礎。此外，它們主要是體微加工技術、微表面加工技術、高深度比微加工技術、組裝與鍵合技術、超微精密加工技術。

（1），體微加工技術是為制造三維結構而發(fā)展起來的，即按照設計圖形在硅片上有選擇的去除一部分硅材料，形成微機械結構。體微加工技術的關鍵技術是刻蝕，它包括干法和濕法刻蝕。

（2），表面微加工技術是以硅為基片，通過淀積與光刻形成多層薄膜圖形，再把下層的犧牲層經刻蝕去除，保留上面的結構圖形的加工方法。表面微加工不同于體加工，它不對基片本身進行加工。在基片上有淀積的薄膜，它們被有選擇的保留或者去除以形成所需的圖形。表面微加工的主要工藝是濕法刻蝕、干法刻蝕和薄膜淀積。犧牲層的刻蝕是表面微加工的基礎。表面微加工技術的步驟：首先在基片上淀積絕緣層和犧牲層，然后淀積結構層，經光刻得到微結構圖形。對此進行濕法刻蝕，把犧牲層sio2去除，便可得到無支撐的微結構。（3），高深度比微加工技術

LIGA技術被認為是最佳高深度比的微加工技術，加工寬度為幾微米，深度高達1000um.且可實現(xiàn)微器件的批量生產。該技術的優(yōu)點是能制造三維微結構器件，獲得的微結構具有較大的深度比和精細的結構，側壁陡峭，表面平整，它是X光深層光刻、微電鑄和微塑鑄三種工藝的有機結合。LIGA技術的主要工藝：X光掩膜制造、X光深度光刻技術和微鑄電技術。(4).鍵合技術

上述工藝制造的微構件都是通過鍵合技術來制成微機械的器件，鍵合技術組要分為硅熔融鍵合和靜電鍵合兩種

2．微機電制造過程中常用的材料及其優(yōu)缺點。陶瓷、金屬、硅材料。常用的是硅。硅的優(yōu)點？回答出主要特征。

根據(jù)應用場所，微機電系統(tǒng)的制作材料分為 微結構材料、微制動材料 和 微傳感器材料。根據(jù)材料性能，微機電系統(tǒng)的制作材料分為 結構材料 功能材料

智能材料

MEMS 常用材料

? 半導體材料：硅及其化合物等。

硅：特殊的晶體結構使其具有各項異性，通過摻雜獲得的p型硅和n型硅具有不同的導電性能和機械性能。

儲量豐富，成本低；材質的內含雜質極少，易于提純，純型硅的雜質含量可降至十億分之一，因而本身的內耗少，力學性能穩(wěn)定。硅材料質量輕，密度是不銹鋼的 1／3.5。彎曲強度高，為不銹鋼的3.5倍。硅的熔點高（1400），約為鋁的兩倍，高熔點使其具有良好的高溫穩(wěn)定性。硅的熱膨脹系數(shù)比鋼小8倍，比鋁小10倍。?

?

? ? 具有很好的導熱性，是不銹鋼的5倍。

機械品質因數(shù)可高達 1000000，硅沒有機械遲滯性能，是理想的傳感器和致動器材料。

與微電子集成電路工藝兼容，易與微機械和微電子線路集成；便于實現(xiàn)批量化生產。硅氧化物：摻雜破壞的純硅材料電子的平衡，促使電子流動加劇，導電性能得到提高。摻雜濃度越高，電阻率越低，越容易導電，多晶硅的特點

1、具有較寬的工作溫度范圍（－60度～＋300度）；

2、可調的電阻率特性；

3、可調的的溫度系數(shù)；

4、較高的應變靈敏系數(shù)及容易調整。

5、與單晶硅壓阻膜相比，多晶硅壓阻膜可以在不同的材料襯底上制作,而且可以更有效地抑制溫度漂移，有利于長期穩(wěn)定性的實現(xiàn)。電致伸縮材料：壓電陶瓷、氧化鋅、石英等。

壓電陶瓷：用于致動器和傳感器元件的壓電陶瓷，具有價廉、質輕小巧、易于與基體結合、響應速度快等優(yōu)點。此外，它對結構的動力學特性的影響很小，并且通過分布排列可實現(xiàn)大規(guī)模的結構驅動，因而具有較強的驅動能力和控制作用。

由于壓電陶瓷具有微小位移且精度高這一突出優(yōu)勢，適應微機械、微機器人微小位移控制的要求，用作壓電驅動器是比較理想的。壓電陶瓷的極限應變小，目前還不能作為結構材料。具有較高的飽和磁致伸縮系數(shù)，即當磁化飽和時，材料沿磁化方向的伸縮比 較大，其值約為

微應變。磁致伸縮材料：鎳鐵合金等。

磁致伸縮材料在磁場中的伸縮量很小，可以用在微機電系統(tǒng)中作為驅動器（磁－機轉換）和接收器（機－磁轉換）等。形狀記憶材料：鎳鈦合金等。其它：特殊功能聚合物、復合材料及人工構造薄膜材料、電流變液或磁流變液材料、納米相材料等。

硅的優(yōu)點：微機械加工技術源于微電子集成制造,所以在微機電系統(tǒng)中，硅是最常用的材料。硅屬硬脆材料，同時也有一定的彈性。硅材料常分為單晶硅、多晶硅和非晶硅。單晶硅具有良好的機械、物理性質，其機械品質因數(shù)可高達106數(shù)量級，滯后和蠕變極小。多晶硅薄膜與單晶硅有相近的敏感特性、機械特性，它在微機械加工中多用作中間加工層材料。硅具有良好的機電合一特性。它既有足夠的機械強度，又有優(yōu)良的電性能，便于實現(xiàn)機電器件的集成化。硅的加工精度比較高，容易生成絕緣薄膜。硅具有多種優(yōu)異的傳感特性，如壓阻效應、霍爾效應等。硅材料質量輕，密度為不銹鋼的1/3，而彎曲強度卻為不銹鋼的3.5倍，它具有高的強度密度比和高的剛度密度比。大部分微機械傳感器都使用硅制作的另一個重要理由是應用硅微機械加工技術可以制作出尺寸從亞微米到毫微米級的微元件和微機構，并且可達到極高的加工精度。

3．在制造微機電系統(tǒng)時，其中最主要的環(huán)節(jié)是框架，主要由哪幾種工藝構成的，每一種工藝的條件，制作薄膜有幾種工藝，每一種工藝的優(yōu)缺點。答：標準工藝有體硅工藝和表面工藝。體硅工藝：

1、定義鍵合區(qū)；光刻，刻蝕鍵槽。

2、擴散參雜；離子注入形成接觸區(qū)，用于輕摻雜沉底。

3、形成金屬電極；光刻，腐蝕玻璃形成淺槽，濺射Ti/Pt/Au，剝離形成金屬電極。

4、硅/玻璃陽極鍵合；雙面對準，誤差5um。

5、硅片減??；減?。?0-100um）KOH腐蝕，機械減薄，玻璃面劃片。

6、ICP刻蝕；濺射AI，光刻，刻蝕AI，IPC刻蝕Si，釋放結構。表面工藝：

1、上層電極；淀積氧化硅，淀積氮化硅，淀積多晶硅，光刻，掩模，刻蝕多晶硅。

2、下層電極：淀積氧化硅，淀積氮化硅，淀積多晶硅，光刻，掩模，刻蝕多晶硅。

3、犧牲層：淀積PSG，光刻，刻蝕PSG。

4、刻蝕支撐點：光刻，刻蝕PSG。

5、淀積多晶硅：點擊多晶硅，應力調整。

6、刻蝕多晶硅：光刻，刻蝕多晶硅。

7、釋放結構：犧牲層腐蝕，防粘附處理。制作薄膜方法:

1、2、化學沉積：源材料通過化學反應生成所材料沉積到沉底表面。（氣相和液相）

物理沉積：源材料直接轉移到沉底表面形成薄膜。（通常為氣相淀積）

制作薄膜工藝：PVD工藝，CVD工藝； PVD工藝：物理氣相沉積（PVD）；

基本原理：在真空狀態(tài)下，加熱源材料，是原子或分子從源材料表面 逸出從而在襯底上生長薄膜的方法。優(yōu)點：

設備簡單、操作容易、薄膜純度高、成膜速率快。缺點：

薄膜與襯底附著力小、臺階覆蓋差。CVD工藝： 特點：反應物和副產物為氣體，成膜速度快，薄膜的成分精確可控，淀積膜結構完整、致密，與襯底粘附性好，極佳的臺階覆蓋能力，可以獲得平滑的沉積表面，CVD某些成膜溫度遠低于體材料的熔點，可得到高純度、結晶完全的膜層。

4.如何來制作一個懸臂梁？工藝有哪些？主要考犧牲層工藝。答：

第1 步,在清洗后的硅約束基底上長215 μm厚的PSG膜。

第2 步,利用光刻得到制作覆蓋在PSG表面的用于刻蝕PSG膜的掩模1 ,采用等離子干法刻蝕方 法(RIE ,Reactive Ion Etch)刻蝕PSG膜。

第3 步,利用光刻得到制作覆蓋在PSG表面的用于沉積氮化硅(SiNx)和鋁(Al)膜的掩模2。第4 步,利用掩模2 ,在硅約束基底和PSG膜上長0.5μm 厚的氮化硅(SiNx)膜。第5 步,在氮化硅(SiNx)膜上濺射0.3 μm 厚鋁膜,形成雙材料梁。

第6 步,最后把余留的光刻膠和其上的Au 一起去除,最后,犧牲層的釋放。

工藝：備片，淀積，退火。光刻，刻蝕，去膠，光刻，淀積，退火，濺射，去膠，釋放。

MEMS 可變電容的制作工藝中的犧牲層釋放

犧牲層技術：是制造表面微機械結構的關鍵與核心技術,所謂犧牲層技術就是利用不同材料在1 種腐蝕液(或腐蝕氣體)中腐蝕速率的巨大差異,選擇性的腐蝕去掉結構層薄膜下面的1 層材料(即犧牲層材料),從結構層下面將犧牲層選擇性的腐蝕掉,留下的結構層與襯底表面分開(這一步腐蝕犧牲層工藝一般稱之為釋放),形成了表面距離等于犧牲層厚度的懸空梁結構。犧牲層技術的關鍵在于犧牲層材料及腐蝕液,要使該腐蝕液對犧牲層腐蝕得很快而對犧牲層上、下方的結構膜材料腐蝕得很慢,二者的腐蝕速率之比越大,機構膜層受影響就越小,實現(xiàn) 的機構就越精確與理想。二 概念題

1．尺寸效應：所謂的尺寸效應是指在經典宏觀規(guī)律適用的條件下，結構和器件的性能隨特征尺度減小發(fā)生的變化。

2.微機電系統(tǒng)： 微機電系統(tǒng)是由關鍵尺寸在亞微米至亞毫米范圍內的電子和機械元件組成的器件或系統(tǒng)，它將傳感、處理與執(zhí)行融為一體，以提供一種或多種特定功能。

3.凝膠：柔軟而具有一定強度，在溶劑中不溶解，加熱不熔化的輕度化學交聯(lián)的聚合物。4.壓電材料：壓電材料是受到壓力作用時會在兩端面間出現(xiàn)電壓的晶體材料。

5.硅片鍵合技術：硅片鍵合技術是指通過化學和物理作用將硅片與硅片、硅片與玻璃或其它材料緊密地結合起來的方法。陽極鍵合

陽極鍵合又稱靜電鍵合或場助鍵合。陽極鍵合技術可將硅與玻璃、金屬及合金在靜電場作用下鍵合在一起，中間勿需任何粘接劑。鍵合界面具有良好的氣密性和長期穩(wěn)定性。陽極鍵合技術已被廣泛使用。硅與玻璃的鍵合可公大氣或真空環(huán)境下完成。鍵合溫度為180一500℃，接近于玻璃的退火點，但在玻璃的熔點(500一900℃)以下。

三 計算題

懸臂梁陳述制作工藝。懸臂梁制作加速度計，測量原理。定量說明梁的彎曲與加速度的關系。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度計就是使用MEMS技術制造的加速度計。由于采用了微機電系統(tǒng)技術，使得其尺寸大大縮小，一個MEMS加速度計只有指甲蓋的幾分之一大小。MEMS加速度計具有體積小、重量輕、能耗低等優(yōu)點。

梳狀驅動電極。靜電力梳狀驅動電極理論上推導出力和能量之間的關系。

梳狀驅動器操作通過使用邊緣領域拉一套驅動到其他驅動里。在微機電系統(tǒng)梳狀驅動器是其中較為常見的致動器。

第三篇：微機電系統(tǒng)心得體會

微機電系統(tǒng)心得體會

萬瓊聲

電子工程學院，2011211205班，2011211047

這個學期我們學習了微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical System），這門課主要介紹了MEMS的理論基礎，MEMS材料、加工工藝和檢測技術，傳感器和執(zhí)行器，MEMS器件及其系統(tǒng)。對這個之前很陌生的領域有了一定程度上的了解。

微機電系統(tǒng)是微米大小的機械系統(tǒng)，其中也包括不同形狀的三維平板印刷產生的系統(tǒng)。這些系統(tǒng)的大小一般在微米到毫米之間。在這個大小范圍中日常的物理經驗往往不適用。比如由于微機電系統(tǒng)的面積對體積比比一般日常生活中的機械系統(tǒng)要大得多，其表面現(xiàn)象如靜電、潤濕等比體積現(xiàn)象如慣性或熱容量等要重要。它們一般是由類似于生產半導體的技術如表面微加工、體型微加工等技術制造的。其中包括更改的硅加工方法如壓延、電鍍、濕蝕刻、干蝕刻、電火花加工等等。

微機電系統(tǒng)是一種先進的制造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發(fā)展起來的。MEMS技術采用了半導體技術中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現(xiàn)有技術和材料，因此從制造技術本身來講，MEMS中基本的制造技術是成熟的。但MEMS更側重于超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面也擴大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理學的各分支。

微機電系統(tǒng)具有體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉、性能穩(wěn)定等優(yōu)點。微機電系統(tǒng)是微電路和微機械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米級，自八十年代中后期崛起以來發(fā)展極其迅速，被認為是繼微電子之后又一個對國民經濟和軍事具有重大影響的技術領域，將成為21世紀新的國民經濟增長點和提高軍事能力的重要技術途徑。

微機電系統(tǒng)的出現(xiàn)和發(fā)展是科學創(chuàng)新思維的結果，使微觀尺度制造技術的演進與革命。微機電系統(tǒng)是當前交叉學科的重要研究領域，涉及電子工程、材料工程、機械工程、信息工程等多項科學技術工程，將是未來國民經濟和軍事科研領域的新增長點。

MEMS發(fā)展的目標在于，通過微型化、集成化來探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng)，開辟一個新技術領域和產業(yè)。MEMS可以完成大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務，也可嵌入大尺寸系統(tǒng)中，把自動化、智能化和可靠性水平提高到一個新的水平。21世紀MEMS將逐步從實驗室走向實用化，對工農業(yè)、信息、環(huán)境、生物工程、醫(yī)療、空間技術、國防和科學發(fā)展產生重大影響。人們不僅要開發(fā)各種制造MEMS的技術，更重要的是如何將MEMS技術與航空航天、信息通信、生物化學、醫(yī)療、自動控制、消費電子以及兵器等應用領域相結合，制作出符合各領域要求的微傳感器、微執(zhí)行器、微結構等MEMS器件與系統(tǒng)。根據(jù)維基百科的描述，MEMS研究人員使用一系列的工程軟件工具來對他們的設計進行仿真和原型測試。MEMS設計中經常用到有限元分析。對動態(tài)力，熱度等等的仿真可以通過ANSYS，COMSOL、IntelliSuite和CoventorWare-ANALYZER等軟件來實現(xiàn)。其他軟件，比如ConvertorWare-ARCHITECT和MEMS-PRO，被用來開發(fā)更適合加工制造的產品布局，甚至用來仿真嵌入型的MEMS系統(tǒng)。當原型機開發(fā)完成后，研究人員能夠用各種儀器比如激光多普勒掃描振動計，顯微鏡，頻閃觀測儀等來對它們進行測試。

隨著時間的推移和技術的逐步發(fā)展，MEMS所包含的內容正在不斷增加，并變得更加豐富。世界著名信息技術期刊《IEEE論文集》在1998年的MEMS專輯中將MEMS的內容歸納為：集成傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)。人們還把微機械、微結構、靈巧傳感器和智能傳感器歸入MEMS范疇。制作MEMS的技術包括微電子技術和微加工技術兩大部分。微電子技術的主要內容有:氧化層生長、光刻掩膜制作、光刻選擇摻雜(屏蔽擴散、離子注入)、薄膜(層)生長、連線制作等。微加工技術的主要內容有:硅表面微加工和硅體微加工(各向異性腐蝕、犧牲層)技術、晶片鍵合技術、制作高深寬比結構的LIGA技術等。利用微電子技術可制造集成電路和許多傳感器。微加工技術很適合于制作某些壓力傳感器、加速度傳感器、微泵、微閥、微溝槽、微反應室、微執(zhí)行器、微機械等，這就能充分發(fā)揮微電子技術的優(yōu)勢，利用MEMS技術大批量、低成本地制造高可靠性的微小衛(wèi)星。

MEMS技術是一個新興技術領域，主要屬于微米技術范疇。MEMS技術的發(fā)展已經歷了10多年時間，大都基于現(xiàn)有技術，用由大到小的技術途徑制作出來的，發(fā)展了一批新的集成器件，大大提高了器件的功能和效率，已顯示出了巨大的生命力。MEMS技術的發(fā)展有可能會像微電子一樣，對科學技術和人類生活產生革命性的影響，尤其對微小衛(wèi)星的發(fā)展影響更加深遠，必將為大批量生產低成本高可靠性的微小衛(wèi)星打開大門。

作為一名學習電子工程的學生，我覺得MEMS技術將會成為造福人類的新技術，具有劃時代的意義，堅信在不久的將來，MEMS技術將會運用在我們生活的各個角落，也將極大地便利我們的生活，提高我們的生活水平，簡化我們的生活方式。因此，我們需要給予這門技術足夠的關注和信心，投身于這項發(fā)展人類文明的事業(yè)中去，世界的未來掌握在我們手中，我們要肩負起我們應有的責任，不僅僅滿足個人溫飽，還要將視野放寬全球，不能局限在這個狹小的知識網絡里面，更不能安于現(xiàn)狀，要勇于開拓創(chuàng)新，要將自己的最后一份力也用在造福全人類上。

最后，感謝老師這個學期的悉心教導！

第四篇：機電一體化系統(tǒng)

機電一體化系統(tǒng)

多選題

CNC控制體統(tǒng)綜合應用了（）技術。正確答案：ABCD CNC控制系統(tǒng)的基本組成包括（）。正確答案：ABCDE FR-A500變頻器常用的外置選件可能有（）。正確答案：ABCDE PLC常用的編程元件有（）。正確答案：ABCDE PLC可以分為（）結構形式。正確答案：ABCDE PLC指令分為（）。正確答案：ABCD 步進電機可以為（）。正確答案：ABCDE 采用PWM技術的逆變器具具有（）特點。正確答案：ABCD 齒輪傳動的優(yōu)點有（）。正確答案：ABCDE 當PLC用于開關量邏輯程序控制時，其執(zhí)行過程可分為（）。正確答案：ABCDE 電力電子器件有（）特點。正確答案：ABCDE 電氣控制系統(tǒng)設計的步驟包括（）。正確答案：ABCDE 多選題

工業(yè)上所使用的機電一體化控制系統(tǒng)一般由（）組成。正確答案：ABCD 光電編碼器的信號輸出形式有（）。正確答案：ABCDE 光電編碼器的信號輸出形式有（）。正確答案：ABCDE 光柵內部由（）組成，正確答案：ABCDE 滾珠絲杠副的有點有（）。正確答案：ABCDE 恒量PLC性能的主要技術指標有（）。正確答案：ABCD 機電一體化包括（）。正確答案：ABCDE 機電一體化的優(yōu)點有（）。正確答案：ABCD 基本單元加擴展型PLC是機電一體化產品常用的PLC，它由（）組成。正確答案：ABCDE 交流電機具有（）優(yōu)點。正確答案：ABCDE 交流伺服驅動器常用的DO信號有（）。正確答案：ABCDE 交流伺服驅動系統(tǒng)硬件組成包括（）。正確答案：ABCDE 開環(huán)CNC屬于經濟性產品，一般無內置PLC，I/O信號直接連接到CNC的接口上，通常需要（）基本輸入信號。正確答案：ABCDE

氣動控制系統(tǒng)有一些基本的回路組成，包括（）。正確答案：ABCDE

數(shù)控機床種類繁多，包括（）。正確答案：ABCDE

無論就愛那個一個系統(tǒng)分解為多少子系統(tǒng)，都必須具備（）基本要素，才能稱之為“機電一體化系統(tǒng)”，否則只能是一正確答案：ABCD

下列哪些屬于FX系列PLC計數(shù)器（）。正確答案：ABCDE 現(xiàn)代工業(yè)自動化技術的4大支柱是（）。正確答案：ABCD 直線滑動導軌的截面形狀常用的有（）。正確答案：ABCD

單選題：

∑Ⅱ操作單元分為（）個區(qū)域。正確答案：B

∑Ⅱ操作單元分為（）種顯示模式。正確答案：D ∑Ⅱ系列驅動器報警顯示為A.02，其對應報警名稱為（）。正確答案：A

∑Ⅱ系列驅動器報警顯示為A.03，其對應報警名稱為（）正確答案：B

∑Ⅱ系列驅動器報警顯示為A.04，其對應報警名稱為（）正確答案：C

∑Ⅱ系列驅動器報警顯示為A.05，其對應報警名稱為（）。正確答案：D

∑Ⅱ系列驅動器報警顯示為A.30，其對應報警名稱為（）。正確答案：A

∑Ⅱ系列驅動器報警顯示為A.32，其對應報警名稱為（）正確答案：B

∑Ⅱ系列驅動器報警顯示為A.33，其對應報警名稱為（）正確答案：C

∑Ⅱ系列驅動器報警顯示為A.40，其對應報警名稱為（）。正確答案：D

∑Ⅱ系列驅動器報警顯示為A.b1，其對應報警名稱為（）。正確答案：A

∑Ⅱ系列驅動器報警顯示為A.b2，其對應報警名稱為（）正確答案：B

∑Ⅱ系列驅動器報警顯示為A.bF，其對應報警名稱為（）正確答案：C

∑Ⅱ系列驅動器報警顯示為A.C1，其對應報警名稱為（）。正確答案：D

∑Ⅱ系列驅動器的DI輸入信號ON電流可能為（）mA。正確答案：A

∑Ⅱ系列驅動器工作狀態(tài)參考號為Un000，代表（）。正確答案：A ∑Ⅱ系列驅動器工作狀態(tài)參考號為Un001，代表（）。正確答案：B ∑Ⅱ系列驅動器工作狀態(tài)參考號為Un002，代表（）。正確答案：C ∑Ⅱ系列驅動器工作狀態(tài)參考號為Un00A，代表（）。正確答案：A ∑Ⅱ系列驅動器工作狀態(tài)參考號為Un00B，代表（）。正確答案：B ∑Ⅱ系列驅動器工作狀態(tài)參考號為Un00C，代表（）。正確答案：C ∑Ⅱ系列驅動器工作狀態(tài)參考號為Un00D，代表（）。正確答案：D ∑Ⅱ系列驅動器工作狀態(tài)參考號為Un012，代表（）。正確答案：A ∑Ⅱ系列驅動器工作狀態(tài)參考號為Un013，代表（）。正確答案：B ∑Ⅱ系列驅動器工作狀態(tài)參考號為Un014，代表（）。正確答案：C ∑Ⅱ系列驅動器工作狀態(tài)參考號為Un015，代表（）。正確答案：D ∑Ⅱ系列驅動器集電極開路輸出響應時間可能為（）ms。正確答案：A ∑Ⅱ系列驅動器連接端端子號為CN1-25/26，其作用是（）。正確答案：A ∑Ⅱ系列驅動器連接端端子號為CN1-27/28，其作用是（）。正確答案：B ∑Ⅱ系列驅動器連接端端子號為CN1-29/30，其作用是（）。正確答案：C ∑Ⅱ系列驅動器連接端端子號為CN1-31/32，其作用是（）。正確答案：D ∑Ⅱ系列驅動器連接端端子號為CN1-40，其作用是（）。正確答案：A ∑Ⅱ系列驅動器連接端端子號為CN1-41，其作用是（）。正確答案：B ∑Ⅱ系列驅動器連接端端子號為CN1-42，其作用是（）。正確答案：C ∑Ⅱ系列驅動器連接端端子號為CN1-43，其作用是（）。正確答案：D ∑Ⅱ系列伺服電機型號為SGMPH01AAA2S，由型號可知，該電機額定電壓為（）。正確答案：B ∑Ⅱ系列伺服驅動器控制凡事設定參數(shù)參數(shù)號為Pn301，其對應參數(shù)名稱為（）。正確答案：A ∑Ⅱ系列伺服驅動器型號為SGDM-01ADAR，由型號可知，該驅動器輸入電壓等級為（）V。正確答案：B CNC鍵盤簡稱為（）。正確答案：A CNC一次在不同的場合使用具有（）種不同的含義。正確答案：C CNC主軸控制包括（）方面內容。正確答案：B

FR-700系列S形加減速分為（）種方式。正確答案：D FR-A700系列變頻的的參數(shù)Pr570=0時，負載類型為（）。正

確答案：A

FR-A700系列變頻器的連接端端子號為FU，其意義代表（）。

正確答案：A

FR-A700系列變頻器的連接端端子號為IPF，其意義代表（）。

正確答案：D

FR-A700系列變頻器的連接端端子號為OL，其意義代表（）。

正確答案：C

FR-A700系列變頻器的連接端端子號為RES，其意義代表（）。

正確答案：D

FR-A700系列變頻器的連接端端子號為STF，其意義代表（）。

正確答案：A

FR-A700系列變頻器的連接端端子號為STOP，其意義代表（）。

正確答案：C

FR-A700系列變頻器的連接端端子號為STR，其意義代表（）。

正確答案：B

FR-A700系列變頻器的連接端端子號為SU，其意義代表（）。

正確答案：B

FR-A700系列變頻器若想反轉禁止PU操作，則需要將Pr78參數(shù)

設定為（）。D

FS-0iC/0iD的特點有（）。正確答案：D

FX1S基本單元有（）種規(guī)格。正確答案：D FX3U基本單元有（）種規(guī)格。正確答案：C

FX系列PLC的輸入OFF電流可能為（）mA。正確答案：A

FX系列PLC繼電器輸出電阻負載功率可能為（）W/點。正確答案：A FX系列PLC是日本三菱公司在F系列PLC基礎上發(fā)展起來的小型PLC產品，主要由（）種基本型號，D PLC常用的編程語言有（）。正確答案：D PLC的功能有（）。正確答案：D PLC的輸入電源通常有（）種。正確答案：B PLC的梯形圖程序可用等效繼電器控制線路進行描述。等效工作電路圖分為（）部分組成。正確答案：C PWM控制逆變具有（）優(yōu)點。正確答案：D STEPDRIVE C/C+步進驅動器由（）組成。正確答案：D 安川驅動器的參數(shù)功能與現(xiàn)實形式分為（）類。正確答案：B 按照功能區(qū)分，機械手可分為（）種。正確答案：D 按照控制信號的傳遞方式不同，液壓伺服系統(tǒng)可分為（）種。正確答案：C 閉環(huán)CNC連接包括（）。正確答案：D 變頻控制線性加速可分為（）種方式。正確答案：B 變頻器操作模式一般分為（）種。正確答案：C 不僅驅動系統(tǒng)包括（）部分組成。正確答案：B 步進驅動器的輸入來自位置控制裝置的指令脈沖，輸出連接到電機繞組，這樣的驅動器應具有（）功能。正確答案：D 磁柵由（）組成。正確答案：D 磁柵由（）組成。正確答案：D 從用途上說，機電一體化傳感器可歸納為（）。正確答案：D 從用途上說，機電一體化傳感器可歸納為（）。正確答案：D 當觸發(fā)角a=0時，整流輸出電壓為最大值（）U。正確答案：C 德國HEIDENHAIN公司中的LS100光柵產品中的S指的是（）。正確答案：B 德國HEIDENHAIN公司中的LS100光柵產品中的S指的是（）。正確答案：B 等效工作電路圖中的輸入部分由（）部分組成。正確

答案：B

根據(jù)受力情況，滾珠導軌分為（）種。正確答案：B 根據(jù)輸入信號的方式不同，伺服閥分為（）種。正確答案：B 功率MOSFET的優(yōu)點有（）。正確答案：D

鉤刀機械手換刀一次所需的基本動作分為（）步。正確答案：C

光柵常用的輸出信號有（）。正確答案：D 光柵常用的輸出信號有（）。正確答案：D

滾珠絲杠的精度等級分為（）各等級。正確答案：C 機電一體化產品是電子控制與機械裝置的結合物，在產品設計時突出體現(xiàn)了（）個方面的思想。正確答案：B

機電一體化機械系統(tǒng)通常包括（）部分組成。正確答案：C

機電一體化控制裝置包括（）。正確答案：D

機電一體化設備使用的驅動器可分為（）種。正確答

案：B

機械手一般由（）部分組成。正確答案：D

機械裝置的運動要素包括（）。正確答案：D

機械裝置的運動要素包括（）。正確答案：D

交流伺服驅動系統(tǒng)的優(yōu)點有（）。正確答案：D

較常用的雙螺母消除間隙的方法有（）種。正確答案：C 接近開關的輸出線一般有（）種。正確答案：C 接近開關的輸出線一般有（）種。正確答案：C 接近開關的特點有（）。正確答案：D 接近開關的特點有（）。正確答案：D

禁區(qū)保護包括（）。正確答案：D

控制系統(tǒng)的安全性包括（）方面。正確答案：B 利用液壓缸傳位實現(xiàn)定位的轉塔刀架動作次序分為()部。正確答案：D 內置擴展選件與附件包括（）。正確答案：D 逆變電路可以采用（）基本形式。正確答案：D 氣動馬達分類包括（）。正確答案：D 驅動控制分為（）類。正確答案：B 若變頻器操作錯誤代號為CP代表（）。正確答案：C 若變頻器操作錯誤代號為Er.1代表（）。正確答案：A 若變頻器操作錯誤代號為PS代表（）。正確答案：A 若變頻器今報顯示代號為E.CPU代表（）。正確答案：A 若變頻器今報顯示代號為E.EP代表（）。正確答案：A 若變頻器今報顯示代號為E.LF代表（）。正確答案：A 若變頻器今報顯示代號為E.THT代表（）。正確答案：A 弱變頻器今報顯示代號為E.OC1代表（）。正確答案：A 數(shù)控裝置包括（）。正確答案：D 伺服驅動器的給定輸入包括（）類。正確答案：B 系統(tǒng)設定包括（）個階段。正確答案：B 下列哪個∑Ⅱ系列驅動器報警顯示對應報警名稱不是“絕對編碼器初始化、通信錯誤”（）。正確答案：D 顯像管顯示器簡稱為（）。正確答案：B 液晶顯示器簡稱為（）。正確答案：C 已知一三菱FR-700系列變頻器型號為FR-A520-S-40K-CH，此產品的輔助標記為（A）。

已知一三菱FR-700系列變頻器型號為FR-A520-S-40K-CH，此產品的輸入電壓等級為（A）。

已知一三菱FR-700系列變頻器型號為FR-A520-S-40K-CH，此產品的系列號為（A）。

已知一三菱FR-700系列變頻器型號為FR-A520-S-40K-CH，此產品控制電機功率為（B）。

已知一三菱FR-700系列變頻器型號為FR-A520-S-40K-CH，此產品性能為（A）。

運動保護功能包括（）。正確答案：D

運動控制包括（）方面內容。正確答案：B

在KND100T的CNC集成操作面板與KND機床操作面板

上，（）按鈕用于帶鎖旋鈕。正確答案：D在KND100T的CNC集成操作面板與KND機床操作面板上，（）按鈕用于換刀。正確答案：A

在KND100T的CNC集成操作面板與KND機床操作面板上，（）按鈕用于機床或CNC關閉按鈕。正確答案：B 在KND100T的CNC集成操作面板與KND機床操作面板上，（）按鈕用于機床或CNC啟動按鈕。正確答案：A 在KND100T的CNC集成操作面板與KND機床操作面板上，（）按鈕用于進給保持。正確答案：D

在KND100T的CNC集成操作面板與KND機床操作面板上，（）按鈕用于冷卻。正確答案：B

在KND100T的CNC集成操作面板與KND機床操作面板上，（）按鈕用于潤滑。正確答案：C

在KND100T的CNC集成操作面板與KND機床操作面板上，（）按鈕用于循環(huán)啟動。正確答案：C

在KND100T的CNC集成操作面板與KND機床操作面板上，（）按鈕用于主軸點動。正確答案：D

在KND100T的CNC集成操作面板與KND機床操作面板上，（）按鈕用于主軸反轉。正確答案：B在KND100T的CNC集成操作面板與KND機床操作面板上，（）按鈕用于主軸停止。正確答案：C

在KND100T的CNC集成操作面板與KND機床操作面板上，（）按鈕用于主軸正轉。正確答案：A

在部分CNC上，為了能夠在驅動器發(fā)生故障時，停止CNC運行，可能需要使用（）互鎖輸入信號。正確答案：D

在進行光柵信號處理時需要注意（）。正確答案：D 在進行光柵信號處理時需要注意（）。正確答案：D

直線滾動導軌副分（）個等級。正確答案：D

指令代碼中AND代表（）。正確答案：B 指令代碼中ANI代表（）。正確答案：C 指令代碼中LD代表（）。正確答案：A 指令代碼中OR代表（）。正確答案：D 指令一般由（）部分組成。正確答案：B 軸安全保護功能包括（）方面。正確答案：B 主軸位置控制包括（）。正確答案：D 自動換刀裝置是數(shù)控機床加工中心的重要執(zhí)行機構，它的形式多種多樣，包括（）。D

判斷

∑Ⅱ系列驅動器的內部參數(shù)不可以通操作單元顯示、模擬量輸出等方式進行監(jiān)控。正確答案：B 50MHz以上的頻段的電磁干擾一般可用“零相電抗器”消除。正確答案：B CNC的輪廓控制能力被稱為CNC的軸控制功能。正確答案：B CNC可通過反向奸細補償、螺距誤差補償?shù)裙δ軐C械傳動裝置的間隙、絲杠的螺紋誤差進行自動補償。正確答案：A CNC一詞在廣義上代表一種控制系統(tǒng)的實體。正確答案：B CNC一詞在狹義上代表一種控制技術。正確答案：B CNC坐標軸控制能力被稱為CNC的插補功能。正確答案：B FS-0iC/0iD不具有Cs軸控制功能。正確答案：B FS-0iC/0iD不具有定向準停功能。

FS-0iC/0iD不具有加工禁區(qū)功能。正確答案：B FS-0iC/0iD不具有內置PMC功能。正確答案：B FS-0iC/0iD不具有前瞻控制功能。正確答案：B FS-0iC/0iD不具有傾斜軸控制功能。正確答案：B FS-0iC/0iD不具有任意位置定位功能。正確答案：B FS-0iC/0iD不具有軟件限位功能。正確答案：B FS-0iC/0iD不具有雙電機驅動功能。正確答案：B FS-0iC/0iD不具有同步控制功能。正確答案：B FX1N和FX2N系列PLC均可以進行AC100V輸入/上相晶閘管輸出。正確答案：B FX1S和FX3U系列PLC均具有高速計數(shù)、定位模塊。正確答案：B FX系列PLC晶體管輸出最小負載為2mA/DC5V。正確答案：B I/O擴展單元用來增加PLC的I/O點。正確答案：B I/O擴展模塊是PLC的核心。正確答案：B KND100CNC具剛性攻絲功能。正確答案：B KND100CNC具有Cs軸控制功能。正確答案：B KND100CNC具有定向準停功能。正確答案：B KND100CNC具有加工禁區(qū)功能。正確答案：B KND100CNC具有內置PMC功能。正確答案：B KND100CNC具有前瞻控制功能。正確答案：B

KND100CNC具有傾斜軸控制功能。正確答案：B KND100CNC具有任意位置定位功能。正確答案：B KND100CNC具有雙電驅動功能。正確答案：B KND100CNC具有同步進控制功能。正確答案：B

KND100M&KND100T的連接器XS54用于面板輸入連接。正確答案：B

KND100M&KND100T的連接器XS56用于機床輸入連接。正確答案：B

KOYO接近開關主要分為電感式和電容式。正確答案：A KOYO接近開關主要分為電感式和電容式。正確答案：A

PLC控制系統(tǒng)有時需要用一個按鈕交替控制執(zhí)行元件通斷，這種控制方法稱為二分頻控制。正確答案：A

PWM調壓驅動電源既可以實現(xiàn)高低壓驅動功能還可以根據(jù)步進電機的運行頻率自動改變供電電壓。正確答案：A

北京KND公司生產的CNC可以直接與步進驅動器或通用型交流伺服驅動器連A

操作碼可多可少，甚至沒有。正確答案：B 操作數(shù)是唯

一、且必不可少的。正確答案：B

磁編碼器與磁柵的區(qū)別主要在體積上。正確答案：B 磁編碼器與磁柵的區(qū)別主要在體積上。正確答案：B

磁柵多用于位置顯示，在數(shù)控機床或其他精密加工設備上作為閉環(huán)位置反饋裝置的情況相對較少。正確答案：A

磁柵多用于位置顯示，在數(shù)控機床或其他精密加工設備上作為閉環(huán)位置反饋裝置的情況相對較少。正確答案：A

從原理上說，常用的接近開關有高頻振蕩型與靜電電容型兩類。

正確答案：A

從原理上說，常用的接近開關有高頻振蕩型與靜電電容型兩類。

正確答案：A

當?shù)稁熘械牡谰吲帕休^密時，常用叉刀手。正確答案：A 當負載轉矩超過電機輸出轉矩時將直接導致“失步”。正確答

案：A 得多SIKO公司生產的IH28M和IH58M磁柵編碼器的最高轉速均為6000r/min。正確答案：B 得多SIKO公司生產的IH28M和IH58M磁柵編碼器的最高轉速均為6000r/min。正確答案：B 德國HEIDENHAIN公司生產的ECN425/ERN430均屬于絕對編碼器。正確答案：B 德國HEIDENHAIN公司生產的ECN425/ERN430均屬于絕對編碼器。正確答案：B 德國HEIDENHAIN公司生產的ERM2484和ERM2485磁編碼器都只有一種測量輸出。B 德國HEIDENHAIN公司生產的ERM2484和ERM2485磁編碼器都只有一種測量輸出。答案：B 德國HEIDENHAIN公司生產的ROD430/ROD1080結構均屬于φ10實心軸。正確答案：B 德國HEIDENHAIN公司生產的ROD430/ROD1080結構均屬于φ10實心軸。正確答案：B 德國SIKO公司生產的MN100與MB110磁柵磁性標尺類別均為絕對刻度。正確答案：B 德國SIKO公司生產的MN100與MB110磁柵磁性標尺類別均為絕對刻度。正確答案：B 電流控制型逆變在換流瞬間將產生瞬間沖擊電壓。正確答案：A 電壓控制型逆變的電機電流波形為近似的正弦波。正確答案：A 電壓控制型逆變器不能用于回饋制動。正確答案：A 電壓控制型逆變只能進行回饋制動。正確答案：B FS-0iC/0iD不具有剛性攻絲功能。正確答案：B

功率二極管的工作原理與普通二極管相同。正確答案：A

固定I/O型PLC在機電一體化產品中用量最大。正確答案：B

光編碼器是一種360°回轉的位置測量元件。正確答案：A 光編碼器是一種360°回轉的位置測量元件。正確答案：A 光柵屬于位置檢測類。正確答案：A 光柵屬于位置檢測類。正確答案：A

滾珠絲杠螺母副的滾珠在返回時與螺桿脫離接觸的循環(huán)稱為內循環(huán)。正確答案：A

滾珠絲杠螺母副需要安裝制動裝置以滿足其傳動要求。正確答

案：A

混合式步進電機的結構與反應式步進電不同。正確答案：A 混合式步進電機在同樣的定子電流下產生的轉矩有大于反應式步進電機。正確答案：A

霍爾開關是基于霍爾效應的監(jiān)測開關。正確答案：A 霍爾開關是基于霍爾效應的監(jiān)測開關。正確答案：A

激光加工類數(shù)控機床稱為加工中心。正確答案：B 繼電器只能用用于驅動直流負載。正確答案：B

簡單CNC系統(tǒng)內置的PLC和CNC分用兩個cpu。B通信處理、輸出刷新為PLC的公共處理部分，它與用戶程序執(zhí)行無直接關聯(lián)。B

交流逆變需要使用專門的，用弱電控制強電的半導體器件，稱為電力電子器件。正確答案：A

交流伺服電機不適合金屬切削機床的主軸控制等“恒功

率負載”。正確答案：A

接近開關的動作具有之后特性。正確答案：A 接近開關的動作具有之后特性。正確答案：A

禁區(qū)保護用于緊急情況的停運與運行禁止。正確答案：B

晶體管輸出即可以用于驅動交流負載，又可以用于驅動直流負載。B 絕大多數(shù)變頻器都采用了“交-直-交”逆變。正確答案：A 控制系統(tǒng)包括了傳統(tǒng)意義上的伺服驅動系統(tǒng)與電氣傳動系統(tǒng)兩方面。正確答案：A

控制系統(tǒng)的現(xiàn)場調試是檢查優(yōu)化控制系統(tǒng)硬件軟件，提高系統(tǒng)可靠性的重要步正確答案：A

控制系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性與可靠性是設計成敗的關鍵。正確答案：A 利用轉矩提升、斷電V/f輸出曲線來提升輸出轉矩時，頻率為0時的輸出電壓一般不能超A 聯(lián)動軸的數(shù)量是恒量CNC控制系統(tǒng)性能的重要技術指標之一。正確答案：A 能夠控制的主軸數(shù)、Cs軸控制也歸入軸控制的范疇。正確答案：A 逆變功率管不需要并聯(lián)續(xù)流二極管。正確答案：A 氣動方向閥與邏輯援建體積不同，所以功能也不同。正確答B(yǎng) 驅動器可以通過“增益”參數(shù)來改變輸入輸出特性的斜率。正確答案：A 實際光柵需要利用摩爾條紋進行檢測。正確答案：A 實際光柵需要利用摩爾條紋進行檢測。正確答案：A 實際控制系統(tǒng)大都采用了載波調制技術來生成SPWM波。正確答案：A 實際中通常拆用雙電壓驅動電源。正確答案：A 輸出電路由輸出觸點與執(zhí)行元件組成。正確答案：A 輸出關閉信號MRS用于關閉變頻器逆變功率管輸出。正確答A 數(shù)據(jù)是PLC程序最基本的元素。正確答案：B 數(shù)據(jù)輸入與顯示裝置是CNC控制系統(tǒng)中承擔多維運動軌跡控制的核心部分。B 數(shù)控技術又稱為計算機數(shù)控。正確答案：A 通過結構的改進與創(chuàng)新、新材料的應用等手短來提高精度與剛性、減輕重量、縮小體積是機電一體化產品技術的主要特點與研究A 通俗的來說，操作碼告訴CPU要用什么去做。正確答案：B

通俗的來說，操作數(shù)告訴CPU要做什么。正確答案：B 通用驅動器在基本控制方式的基礎上，往往還付加油“伺服鎖定”、“指令脈沖禁止”等特殊控制方式。正A 網絡與通信功能是PLC的基本功能。正確答案：B

為了保證功率管通斷的有序進行，需要在交流伺服電機轉子上安裝用于位置檢測的編碼器或霍爾元件。A

為了對機械運動及加工過程進行數(shù)字化信息控制，必須具備相應的硬件和軟件條件，這些硬件的整體稱為CNC控制系統(tǒng)。正確答案：B

系統(tǒng)的設計應不惜一切簡單實用、降低成本。正確答案：B

鑲條應放在導軌受力面大的一側。正確答案：B 信號處理是檢測技術的關鍵。正確答案：B

液壓管道安裝是否準確牢固可靠和整潔，將對液壓系統(tǒng)工作性能有著重要的影響。A

以加工中心和FMC為主要加工設備，配備物流系統(tǒng)、裝卸機器人及其他設備，并由中央控制系統(tǒng)進行集中、統(tǒng)一控制和管理的制造系統(tǒng)稱為剛性制造系統(tǒng)。正確答B(yǎng) 運動保護用于防止加工過程中的碰撞與干涉。正確答B(yǎng)在PLC程序中，需要產生恒0與恒1的程序段，以便隨時使用。正確答案：A

在不影響系統(tǒng)剛性的前提下，系統(tǒng)的等效傳動慣量應盡可能小。

正確答案：A

在交流電機控制系統(tǒng)中，關斷不可控器件主要用于逆變主回路。

正確答案：B

在交流電機控制系統(tǒng)中，全控型器件主要用語整流主回路。正確

答案：B

在驅動器實際使用前，可先單獨接通控制電源主電源，進行點動、回參考點運行試驗。正確答案：A

在設備調試完成后么需要進行系統(tǒng)技術文件的整理與匯編工作。正確答案：A

在實際中，可以使用多個磁頭串聯(lián)的多間隙磁頭，通過信號的疊加來增強輸出信號。A

在實際中，可以使用多個磁頭串聯(lián)的多間隙磁頭，通過信號的疊加來增強輸出信號。A 在伺服系統(tǒng)中，通常才用負載角加速度最大原則選擇總傳動比。正確答案：A 整流電路的交流輸入一般直接來自電網或為電網通過變壓后的輸出，所以其額定頻率一定為50Hz。正確答案：B 整流電路的作用是將直流輸入轉換為交流輸入。正確答案：B 只要CNC控制系統(tǒng)的脈沖當量足夠小，擬合線就完全可以等效代替理論曲線。A 只要改變脈沖輸出速度，即可改變坐標軸的運動速度。正確答案：A 只要改變坐標軸的脈沖分配方式，既可以改變擬合線的形狀，從而達到改變運動軌跡的目的。正確A 執(zhí)行裝置是機電一體化系統(tǒng)的核心。正確答案：B 直流電機、感應電機、伺服電機、步進電機則是機電一體化系統(tǒng)常用的測量裝置。答案：B 指令中的操作數(shù)又稱指令代碼。正確答案：B 主接觸器不能用于驅動器正常工作時的電機啟動停止控制，通段頻率原則上不超過30MIN一次。正確答案：A 轉子產生電磁力的前提是轉子導條與旋轉磁場之間存在切割磁力線的相對運動。A

第五篇：機電一體化技術考試總結

1.機電一體化的定義：機電一體化技術是將機械技術、電工電子技術、微電子技術、信息機電一體化技術、傳感器

技術、接口技術、信號變換技術等多種技術進行有機地結合，并綜合應用到實際中去的綜合技術。

2.機電一體化的幾個要素：機械本體、動力與驅動部分、執(zhí)行機構、傳感器檢測部分、控制及信息處理部分。

3.機電一體化系統(tǒng)的組成：機械本體、動力與驅動、傳感器檢測部分、執(zhí)行機構、控制及信息單元、接口耦合與能

量轉換、信息控制、運動傳遞。

4.機電一體化關鍵技術：機械技術、計算機與信息處理技術、自動控制技術、傳感與檢測技術、伺服傳動技術、系

統(tǒng)總體技術。

5.機電一體化技術與其它技術的區(qū)別：

1)與傳統(tǒng)機電技術的區(qū)別：傳統(tǒng)機電技術的操作控制主要通過具有電磁特性的各種電器來實現(xiàn)，在設計中不考

慮或很少考慮彼此間的內在聯(lián)系；機械本體和電氣驅動界限分明，整個裝置是剛性的，不涉及軟件和計算機控制。機電一體化技術以計算機為控制中心，在設計過程中強調機械部件和電器部件間的相互作用和影響，整個裝置在計算機控制下具有一定的智能性。

2)與并行工程的區(qū)別：機電一體化技術將機械技術、微電子技術、控制技術和檢測技術在設計和制造階段就有

結合在一起，十分注意機械和其他部件之間的相互作用。而并行工程將上述各種技術盡量在各自范圍內齊頭并進，只在不同技術內部進行設計制造，最后通過簡單疊加完成整體裝置。

3)與自動控制技術的區(qū)別：自動控制技術的側重點是討論控制原理、控制規(guī)律、分析方法和自動系統(tǒng)的構造等。

機電一體化技術將自動控制原理及方法作為重要支撐技術，將自控部件作為重要控制部件應用自控原理和方法，對機電一體化裝置進行系統(tǒng)分析和性能測算。

4)與計算機應用技術的區(qū)別：機電一體化技術只是將計算機作為核心部件應用，目的是提高和改善系統(tǒng)性能。

計算機在機電一體化系統(tǒng)中的應用僅僅是計算機應用技術的一部分，它還在辦公、管理及圖像處理等方面得到廣泛應用。機電一體化技術研究的是機電一體化系統(tǒng)，而不是計算機應用本身。

6.機電一體化系統(tǒng)產品開發(fā)的類型：開發(fā)性設計、適應性設計、變參數(shù)設計。

7.機械傳動部分：

1)基本要求：高精度、快速響應、穩(wěn)定性良好。

2)組成：傳動機構、導向機構、執(zhí)行機構。

3)總傳動比的確定：i??m

?L?'?m'?L?''?m''?L

8.傳動鏈的級數(shù)和各級傳動比的分配：

1)等效轉動慣量的最小原則：小功率傳動裝置：i=i1*i2*i3前小后大原則；

大功率傳動裝置：i=i1*i2*i3前大后小原則；

2)質量最小原則：

3)輸出軸轉角誤差最小原則：

9.死區(qū)：啟動的時候無法克服阻力的現(xiàn)象。

爬行：周期性時停時走或時慢時快的運動現(xiàn)象。

空回：就是當主傳動機構改變運動方向時,從動機構滯后的一種現(xiàn)象。

10.機械性能參數(shù)對系統(tǒng)性能的影響：

1)阻尼的影響：當阻尼比ξ=0時，系統(tǒng)處于等幅持續(xù)震蕩狀態(tài)；當ξ>=1時，系統(tǒng)為臨界阻尼或過阻尼系統(tǒng)；

當0<ξ<1時系統(tǒng)為欠阻尼系統(tǒng)。所以在系統(tǒng)設計時一般取0.5<ξ<0.8的欠阻尼系統(tǒng)，既能保證震蕩在一定范圍內，過渡過程平穩(wěn)，過渡時間較短，又具有較高的靈敏度。

2)摩擦影響：引起動態(tài)滯后，降低系統(tǒng)的響應速度，導致系統(tǒng)誤差和低速爬行。

3)彈性變形的影響：通常采取提高系統(tǒng)剛度，增加阻尼，調整機械構件和自振頻率等方法來提高系統(tǒng)的抗震性，防止諧振的發(fā)生。

4)慣量的影響：轉動慣量對私服系統(tǒng)的精度、穩(wěn)定性、動態(tài)響應都有影響。慣量大，系統(tǒng)的機械常數(shù)大，響應

慢，使系統(tǒng)的震蕩增強，穩(wěn)定性下降；系統(tǒng)的固有頻率隨之下降，容易產生諧振，因而限制了伺服帶寬，影響了伺服精度和響應速度。系統(tǒng)設計時在不影響系統(tǒng)剛度的條件下，應盡量減小慣量。

11.間隙問題：

1)直齒圓柱齒輪消間隙法：偏心軸套調整法、雙片薄齒輪錯齒調整法。

2)斜齒輪傳動機構：墊片調整法、軸向壓簧調整法。

3)錐齒輪傳動機構：軸向壓簧調整法、周向彈簧調整法。

4)齒輪齒條傳動：雙片薄齒輪錯齒調整法。

5)螺旋傳動消隙法：利用單向作用力、利用調整螺母、利用塑料螺母。

6)滾珠絲杠消隙法：墊片調隙式、螺紋調隙式、齒差調隙式。

12.螺旋傳動的特點：降速傳動比大、具有增力作用、能自鎖、效率低磨損快。

滾珠螺旋傳動的特點：運動效率高、運動精度高、具有傳動的可逆性，但不能自鎖、制造工藝復雜，成本高，但使用壽命長，維護簡單。

13.滾珠循環(huán)方式：內循環(huán)、外循環(huán)（螺旋槽式、插管式、端蓋式）

滾動化發(fā)展：滾珠導軌、滾柱導軌、靜壓導軌。

14.檢測系統(tǒng)：

1)檢測的作用：用于檢測相關外界環(huán)境及產品自身狀態(tài)，為控制環(huán)節(jié)提供判斷和處理依據(jù)的信息反饋環(huán)節(jié)。

2)常用傳感器的工作原理及適用場合：

電位器傳感器：變電阻原理，作用測大行程往返式位移；

渦流式傳感器：測位移，分為高頻和低頻；

光柵位移傳感器：測測位移。

轉速傳感器：編碼器測轉速，電渦式轉速傳感器（非接觸式），必須有槽才能用；遮斷式光電開關，反射

型光電開關，定區(qū)域式光電開關（流水線計數(shù)），霍爾傳感器。

加速度傳感器：最常用壓電式；電容式。

流體壓強傳感器：膜式壓強傳感器，筒式壓強傳感器。

3)檢測的器具：傳感器。

4)傳感器的構成：敏感元件、傳感原件、基本轉換電路。

5)傳感器的分類：按測定對象：位移、力、力矩、轉速、振動、加速度、溫度、壓力、流量、流速；

按原理分：電阻、電容、電感、光柵、熱電偶、超聲波。

6)穩(wěn)定性包括：穩(wěn)定度、環(huán)境影響量。

7)傳感器的性能靜態(tài)：線性度、靈敏度、遲滯、重復性、分辨率、零漂、分辨力、重復特性、精度。

傳感器的動態(tài)特性：傳感器測量動態(tài)信號時，輸出對輸入的響應特性。

8)壓電效應：當某些材料在某一方向被施加壓力或拉力時，會產生變形，并且在材料的某一相對表面產生符號

相反的電荷，當去掉外力后，它又重新回到不帶電狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱為壓電效應。

9)電渦流效應：當線圈輸入一交變電流時便產生交變磁通量，金屬板在此交變磁場中會產生感應電流，這種電

流在金屬體內是閉合的，所以稱之為渦電流或渦流。

10)霍爾效應：半導體薄片置于磁感應強度為B的磁場中，磁場方向垂直于薄片，當有電流I通過薄片時，在垂

直于電流和磁場的方向上將產生電動勢E，這種現(xiàn)象稱為霍爾效應。

15.控制原理：

1)典型控制環(huán)節(jié)：比例環(huán)節(jié)、積分環(huán)節(jié)、微分控制、慣性環(huán)節(jié)。

2)典型調節(jié)方法：開環(huán)控制、閉環(huán)控制、階躍響應、PI、PD、PID。PID（比例-積分-微分）

3)機電一體化中的工業(yè)控制計算機：單片微型計算機、可編程控制器、總線工控機。

16.伺服控制：

1)伺服系統(tǒng)的原理：伺服控制系統(tǒng)是一種能夠跟蹤輸入的指令信號進行動作，從而獲得精確地位置、速度及動

力輸出的自動控制系統(tǒng)。

2)伺服系統(tǒng)組成部分：比較環(huán)節(jié)、控制器、執(zhí)行環(huán)節(jié)、被控對象、檢測環(huán)節(jié)。

3)伺服執(zhí)行原件：交流電機、直流電機、步進電機。

4)

5)

6)

7)伺服系統(tǒng)技術要求：調速范圍寬并且穩(wěn)定，位置精度高0.01—0.001，穩(wěn)定性好、響應速度快。直流伺服電機特點：響應快、精度高、但需要維護，交流伺服電機不需要維護，其他同直流。步進電機：反應式、永磁式、混合式。步距誤差直接影響執(zhí)行部件的定位精度。

步距角可以用下公式計算：a=360o/kmzm相數(shù)z齒數(shù)單向雙相通電k=1，單雙向輪流通電k=2。

8)最大靜轉矩：是指步進電機在某相始終通電而處于靜止不動狀態(tài)所能承受的最大外加轉矩。

9)最高運行頻率：步進電機不失步的情況下輸入的最高脈沖數(shù)。

10)步進電機參數(shù)術語：步距角、拍數(shù)（單三拍、雙三拍、六拍）、相數(shù)、定位轉矩、靜轉矩。

11)步進電機工作原理性能：步進電機是將電脈沖信號轉變?yōu)榻俏灰苹蚓€位移的開環(huán)控制元步進電機件。在非超

載的情況下，電機的轉速、停止的位置只取決于脈沖信號的頻率和脈沖數(shù)，而不受負載變化的影響，當步進

驅動器接收到一個脈沖信號，它就驅動步進電機按設定的方向轉動一個固定的角度，稱為“步距角”，它的旋轉是以固定的角度一步一步運行的?？梢酝ㄟ^控制脈沖個數(shù)來控制角位移量，從而達到準確定位的目的；同時可以通過控制脈沖頻率來控制電機轉動的速度和加速度，從而達到調速的目的。

12)步進電機特性：步距誤差、最大靜轉矩、啟動矩頻特性、運行矩頻特性、最大相電壓相電流、最高運行頻率。

13)步進電機控制與驅動：單電源驅動電路、雙電源驅動電路、斬波限流驅動電路。

14)步進電機的矩頻特性：步進電機連續(xù)運行時所能接受的最高工作頻率，他與步距角一起決定執(zhí)行部件的最大

運行速度。

15)步進電機的調節(jié)特性：

17.干擾：

1)干擾三要素：干擾源、傳播途徑、接收載體。

2)抗干擾的措施：屏蔽、隔離、濾波、接地、軟件處理等。

3)干擾存在的形式：串模干擾、共模干擾。

4)干擾的耦合模式：靜電干擾、磁場耦合干擾、漏電耦合干擾、共阻抗干擾、電磁輻射干擾。

18.符號：

1)FMC：柔性制造單元

FMS：柔性制造系統(tǒng)

FML：柔性制造線

FAL：柔性裝配線

CIMS：計算機集成制造系統(tǒng)

RGV：有軌小車

AGV：自動導向小車 CAE：計算機輔助工程

CAPP：計算機輔助工藝編制

CAQ：機輔助質量管理

2)CIMS的功能構成：管理功能、設計功能、制造功能、質量控制功能、集成控制與網絡功能、3)機器人共同點：機器人的動作機構具有類似與人或其他生物的某些器官的功能、是一種自動機械裝置，可以

在無人參與下（獨立性），自動完成多種操作或動作功能，既具有通用性?？梢栽诰幊?，程序流程可變，既具有柔性（適應性）、具有不同程度的智能型。

4)機器人的機械配置形式最常見的是坐標：直角坐標、圓柱坐標、極坐標、關節(jié)型、平面關節(jié)型。

5)電火花加工必備條件：與工件的被加工表面之間必須保持一定間隙、必須在有一定絕緣性能的液體介質中進

行、必須采用脈沖電源。

6)刀具磨損破損檢測方法： 刀具、工件尺寸及相對距離測定法、放射線發(fā)、電阻法、光學圖像法、切削力法、切削溫度法、切削功率法、振動法、噪聲分析法、聲發(fā)射法、加工表面粗糙度法。

7)自動化制造系統(tǒng)常用輔助設備：清洗站、去毛刺設備、切削和冷卻液的處理。

例題1已知一傳動系統(tǒng)JL=2000kg*m2,Jm=500 kg*m2,傳動級數(shù)為n=3，試按傳動慣量最小原則，確定各級傳動比。

解：由負載角加速度最大原則確定總傳動比，i=

由等效轉動慣量最小原則分配

2?3?13JLJm?2000500?2 1

i1?2

i2?2(2?1)3*i23?1(2?1)3?1.346 2*(i32)2

2?1=1.28 22(3?1)

3i3?2*(i3)2?1=1.16

驗算i=i1*i2*i3≈2滿足設計要求。

參考：

1.控制及信息處理單元一般由控制計算機、控制軟件和硬件接口電路組成。2.機電一體化是從系統(tǒng)的觀點出發(fā)機械技術 檢測技術 伺服技術信息技術等在系統(tǒng)工程的基礎上有機的加以綜合，實現(xiàn)整個機械系統(tǒng)協(xié) 調工作而建立的一門新的科學技術。3.機電一體化產品按用途可以劃分為民用機電一體化、辦公機電一體化 和 產業(yè)機電一體化 產品。4.機電一體化系統(tǒng)設計的質量管理主要體現(xiàn)在質量目標管理、實行可行性設計和進行設計質量評審三個方面。5.機電一體化系統(tǒng)中，機械傳動要滿足伺服控制在精度、穩(wěn)定性 和 快速響應性-等方面的要求。6.機電一體化的機械系統(tǒng)設計主要包括兩個環(huán)節(jié)靜態(tài)設計、動態(tài)設計。7.在機電一體化系統(tǒng)的驅動裝置中，位于前向通道閉環(huán)之內的環(huán)節(jié)，其誤差的低頻分量對輸出精度基本無影響，而誤差的高頻分量-影 響系統(tǒng)的輸出精度。8.機電一體化系統(tǒng)，設計指標和評價標準應包括性能指標 系統(tǒng)功能 使用條件 經濟效益 9.機電一體化系統(tǒng)中常見的軸承包括滾動軸承 滑動軸承 靜壓軸承 磁軸承。10.機電一體化系統(tǒng)一般由機械本體 動力與驅動、接口、執(zhí)行機構 傳感器檢測部分 控制及處理部分等部分組成。11.在機電一體化中傳感器輸出電信號的參量形式可以分為: 電壓輸出 電流輸出 頻率輸出三種形式。12.機電一體化產品中需要檢測的物理量分成電量和非電量兩種形式。13.機電一體化機械系統(tǒng)應具有良好的侍服性能，要求機械傳動部件轉動慣量小、阻力合理 阻尼合理 剛度大 抗振性好 間隙小 并滿足 小型、輕量等要求。14.機電一體化的核心是（控制器）15.機電一體化技術歸納為機械技術 檢測傳感技術 信處理技術 自動控制技術 伺服傳動技術和系統(tǒng)總體技術六個方面。16.從控制角度講，機電一體化可分為開環(huán)控制系統(tǒng)和閉環(huán)控制系統(tǒng)。17.擬定機電一體化系統(tǒng)的設計方案的方法有替代法、整體法、組合法。18.下列不屬于機電一體化系統(tǒng)（產品）設計方案的常用方法（個別設計法）A 替代法 B 整體設計法 C 組合法 19.衡量機電一體化系統(tǒng)可靠性高低的數(shù)量指標有概率指標和壽命指標。20.市場預測主要包括定期預測 和定量預測方法。21.在多級傳動中，為了減小傳動誤差，傳動比的分配應遵守前小后大 原則。22.當負載折算到電機軸上的慣量等于轉子慣量 時，系統(tǒng)能達到慣性負載和驅動力矩的最佳匹配。23.機械傳動系統(tǒng)中，影響系統(tǒng)傳動精度的誤差可分為傳動誤差 和回程誤差兩種。24.步進電動機又稱電脈沖馬達是通過脈沖的數(shù)量決定轉角位移的一種伺服電動機。25.對于交流感應電動機其轉差率s的范圍為0

63.從電路上隔離干擾的三種常用方法是: 光電隔離，變壓器隔離，繼電器隔離。64.工作接地分為一點接地 多點接地。

65.某4極交流感應電機，電源頻率為50Hz，轉速為1470r/min，則轉差率為0.02。66.一般來說，伺服系統(tǒng)的基本組成為控制器 功率放大器 執(zhí)行機構 和檢測裝置等四大部分組成。67.實現(xiàn)步進電動機通電環(huán)形分配的三種常用方法是：1采用計算機軟件分配器 2小規(guī)模集成電路搭接的硬件分配器 3專用模塊分配器。