第一篇：ito靶材的制備

ITO靶材

ITO靶材簡介

ITO靶材是三氧化二銦和二氧化錫的混合物，是ITO薄膜制備的重要原料。ITO靶主要用于ITO膜透明導(dǎo)電玻璃的制作，后者是制造平面液晶顯示的主要材料，在電子工業(yè)、信息產(chǎn)業(yè)方面有著廣闊而重要的應(yīng)用。ITO靶的理論密度為 7115g/ cm3。優(yōu)質(zhì)的成品 IT O靶應(yīng)具有 ≥99%的相對密度。這樣的靶材具有較低電阻率、較高導(dǎo)熱率及較高的機械強度。高密度靶可以在溫度較低條件下在玻璃基片上濺射，獲得較低電阻率和較高透光率的導(dǎo)電薄膜，甚至可以在有機材料上濺射ITO導(dǎo)電膜。目前質(zhì)量最好的 ITO濺射靶，具有≥99%相對密度。

靶材制備技術(shù)

日本新金屬學會在二十世紀九十年代初期就把 ITO靶材列為高科技金屬材料的第一位。我國在“九五”期間也曾將它作為國家“九五”攻關(guān)重點項目進行立項研究，嘗試了熱壓、燒結(jié)以及熱等靜壓幾種制備方法，但是未能形成大規(guī)模的工業(yè)化生產(chǎn)。國外生產(chǎn)的 ITO 靶材早已投放市場，主要產(chǎn)家有德國Leybold（萊博德）公司、日本Tosoh（東曹）公司、日本 Energy（能源公司）、日本 SamITO（住友）公司以及韓國Samsung（三星）公司。國內(nèi)生產(chǎn)靶材的公司主要有：株洲冶煉集團有限責任公司、寧夏九0五集團、威海市藍狐特種材料開發(fā)有限公司、韶關(guān)西格瑪技術(shù)有限公司和柳州華錫有限責任公司等。

ITO靶材的制造技術(shù)

高性能的ITO靶材必須具備以下的性能：高密度，ITO靶材的理論密度為7.15g/cm3，商業(yè)產(chǎn)品相對密度至少要達98%以上，目前高端用途的產(chǎn)品密度在99。5%左右；高耐熱沖擊性；組織均一無偏析現(xiàn)象；微細均勻的晶粒大??；純度達到99。99%。

目前ITO靶材的生產(chǎn)工藝和技術(shù)設(shè)備已較為成熟和穩(wěn)定，其主要制備方法有熱等靜壓法、真空熱壓法、常溫燒結(jié)法、冷等靜壓法。

真空熱壓法

真空熱壓是利用熱能與機械能將材料陶瓷致密化的工藝，可制備出密度達91%~96%的高密度ITO陶瓷靶。熱壓法的工藝流程是利用加熱加工模具后，注入試料，以壓力將模型固定于加熱板，控制試料之熔融溫度及時間，以達融化后硬化、冷卻，再予以取出模型成品即可。熱壓法是加壓成型和加熱燒結(jié)同時進行的工藝，此工藝的優(yōu)點是：(1)熱壓時，因為粉末處于熱塑性狀態(tài)，形變阻力小，易于塑性流動和致密化，所以所需的成型壓力較小。(2)由于同時加溫、加壓，有助于粉末顆粒的接觸、擴散和流動等傳質(zhì)過程，降低了燒結(jié)溫度和縮短燒結(jié)時間，抑制了晶粒的長大。(3)熱壓法容易獲得接近理論密度、氣孔率接近于零的燒結(jié)體，容易得到細晶粒的組織。此方法的主要缺點為：由于受熱壓設(shè)備壓力和模具尺寸所限，靶材尺寸較小，目前靶材最大尺寸為400×300mm；對模具材料要求高(一般為高純高強石墨)，模具壽命短，損耗大，且在高溫下與ITO靶材容易發(fā)生還原反應(yīng)。熱壓機需要進口，而且不適于工業(yè)化連續(xù)生產(chǎn)，生產(chǎn)效率低，產(chǎn)品成本高；靶材晶粒均一性差。

日本索尼公司的專利中，采用真空熱壓法制備ITO靶材的燒結(jié)工藝為：燒結(jié)溫度1 100℃，壓力為100 kg/ cm2，保溫30 min，制得的靶材的平均粒徑0.7μm，靶材致密度為98%。美國學者B.L.Gehman[6]在ITO粉中添加微量元素(如A1、Si、Mg等)，在Ar氣中，用石墨模具進行熱壓，得到一組不同密度的靶材，最高相對密度為96.0%，最低為85.6%。

目前國內(nèi)ITO靶材生產(chǎn)廠家普遍采用熱壓法生產(chǎn)ITO靶材，此法生產(chǎn)的ITO靶材由于尺寸小、晶粒大小不均勻，只能用于低擋TN-LCD、建筑玻璃鍍膜和冰柜玻璃鍍膜等低端領(lǐng)域。

熱等靜壓法

熱等靜壓法(hot isostatic pressing，HIP)既可以認為是加壓下的燒結(jié)，也可以認為是高溫下的壓制。相對于傳統(tǒng)的無壓燒結(jié)而言，熱等靜壓法可以在相對較低的溫度下(一般約為物料熔點的0.5~0.7倍)獲得完全致密化，而且可以很好地控制組織結(jié)構(gòu)，抑制晶粒生長，獲得均勻的、各向同性的組織，可以“凈成型”加工成具有一定復(fù)雜外形的產(chǎn)品。熱均壓工藝是將原料粉末成型以后，以金屬或玻璃材料包覆其外，然后再同時加溫、加壓，使得粉末陶瓷致密化。熱等靜壓法制備ITO靶材的工藝流程主要為：將單相的 ITO 固溶體粉末在一定的還原氣氛（如 H2、N2 與 H2 的混合氣體）和溫度（300～500℃）下進行部分還原，還原度控制在 0。02～0。2之間，再用模壓或冷等靜壓以及兩者兼用的成型方法（100～300MPa）將還原后的粉體壓制成初坯，將初坯置于不銹鋼的包套中并在兩者之間輔以隔離材料，然后對包套抽真空并且封口，最后置于熱等靜壓爐中在800～1050℃，50～200MPa的壓力下進行2～6h熱等靜壓制備出ITO靶材。

熱等靜壓法是國外最常用制備ITO濺射靶材的方法，熱等靜壓法的優(yōu)點是：(1)能克服在石墨模具中熱壓的缺點，不易還原。(2)由于制品在加熱加壓狀態(tài)下，各個方向同時受壓，所制得的產(chǎn)品密度極高(幾乎達到理論密度)，可制成大尺寸產(chǎn)品。(3)熱等靜壓強化了壓制和燒結(jié)過程，降低了燒結(jié)溫度，避免了晶粒長大，可獲得極好的物理力學性能。其缺點是：由于使用均方性氣體壓力，沒有剪應(yīng)力及模具摩擦力，因此保形性非常優(yōu)良，但靶材尺寸受設(shè)備壓力和壓缸限制，無法制備大尺寸靶材；設(shè)備昂貴，投資成本高；生產(chǎn)效率低，生產(chǎn)成本高，產(chǎn)品競爭力不強。

日本東曹公司采用熱等靜壓方法，將O2導(dǎo)入燒結(jié)容器中，罐體內(nèi)部采用鍍氧化鋁、鍍氮化硼(BN)以及它們的多層噴鍍，鍍層的厚度為100~800μm，燒結(jié)溫度為1 100℃，燒結(jié)壓力為100 kg/cm2，燒結(jié)時間為2~4h。此方法制得的ITO靶材的致密度為90%~100%，大多數(shù)形成了95%~99%的極高密度的燒結(jié)體。德國萊博德材料有限公司M·施羅特，采用熱等靜壓法制造ITO靶材。他采用由部分還原的In2O3、SnO2粉末，該粉末具有氧化皮外層，內(nèi)包金屬相核，這種粉末采用熱壓或熱等靜壓，容易進行致密燒結(jié)，制成的ITO靶具有高的機械強度和濺射靶的基質(zhì)，可達到理論密度值96%以上的相對密度。

中南工業(yè)大學粉末冶金國家重點實驗室張樹高、黃伯云利用熱等靜壓的方法制造ITO靶材，采用質(zhì)量比為9：1的In2O3和SnO2原料粉末，其平均粒徑為30~200nm，純度為99·99%;先進行冷等靜壓，壓力為200~280MPa，保壓時間10分鐘;然后進行熱等靜壓，熱等靜壓溫度為1100~1300℃，保溫時間0.5~6h，氣氛壓力為100~120MPa，可以制造出高密度、高純度、大尺寸的ITO靶材。

常壓燒結(jié)法

常壓燒結(jié)法是上世紀90年代初期興起的一種靶材制備方法，它是采用預(yù)壓方式(或粉漿澆鑄方式)制備高密度的靶材素坯，在一定氣氛和溫度下對靶材素坯進行燒結(jié)，通過對燒結(jié)溫度和燒結(jié)氣氛控制，使靶材素坯晶粒的生長得到有效控制，達到靶材的高致密化及晶粒分布的均勻性。常壓燒結(jié)法的主要工藝為：將具有一定搖實密度(Tap Density)的In2O3粉末與SnO2粉末混合，制備成漿料進行粉漿澆鑄或者在加入少量成型劑的情況下進行模壓或冷等靜壓(成型壓力一般為100～300MPa)或兩者兼而用之；用粉漿澆鑄或者添加了成型劑的坯料要在300～500℃的溫度范圍進行長時間的脫水與脫脂處理，最后在壓力至少達到1atm的純氧或空氣氣氛下進行燒結(jié)，燒結(jié)的溫度為1450～1550℃，所獲得的靶材為單一ITO固溶體相，其相對密度為95%以上，ITO燒結(jié)體的晶粒尺寸為1～20μm，抗彎強度50～200MPa，靶體的比電阻約為1×10-4?·cm，熱導(dǎo)率約為1.5×10-2～47×10-2cal·cm-1·s-1。

常壓燒結(jié)法的主要優(yōu)點有：靶材尺寸不受設(shè)備限制，能生產(chǎn)大尺寸靶材，且設(shè)備投入少、生產(chǎn)成本低，生產(chǎn)效率高，靶材性能優(yōu)良，易實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。適合高端顯示器用鍍膜靶材性能要求。缺點是：該法與其它方法相比是最難燒結(jié)的方法，要獲得致密的燒結(jié)體，往往要提高原料粉末的燒結(jié)活性或添加燒結(jié)助劑。而活性劑以及燒結(jié)助劑很難再從燒結(jié)體中去除。對粉末的燒結(jié)活性有很高的要求，因此對粉體的形狀、粒度以及粒度分布要求較嚴，為了達到要求一般對粉末進行球磨、氣流粉碎以及沉降分級處理。制備的靶材一般較薄，所以對靶材變形的控制要求很嚴，一般要求有很好的凈成型能力。

常壓燒結(jié)法制ITO靶材的難點體現(xiàn)在密度的提高，因為在高溫下(特別是溫度高于1200℃)ITO固溶體中的 In2O3與 SnO2 會分解，并且以氣態(tài)方式升華：由此可見在低氧壓特別是欠氧的氣氛中，由于In2O3、SnO2 的分解以及In2O3、SnO以氣態(tài)的方式揮發(fā)，氣態(tài)物質(zhì)從ITO固溶體中逃逸形成了很多氣流通道和孔隙，阻礙了ITO靶材密度的提高。因而在ITO靶材的燒結(jié)過程中通入一定壓力的純氧或空氣氣氛來提高氧的分壓，抑制上述的分解與揮發(fā)過程對于獲得高密度的靶材至關(guān)重要。

常壓燒結(jié)法對粉末的燒結(jié)活性有很高的要求，日本新日礦集團的專利中，采用燒結(jié)法工藝制備ITO靶材，素坯使用冷等靜壓工藝，在1000kg/cm2的壓力下成型，素坯的密度可達3.98 g/cm3，素坯在燒結(jié)前須在80℃下干燥24 h，然后在1 650℃、純O2氣氛下燒結(jié)9 h，制的靶材。常壓燒結(jié)法對靶材變形的控制要求很嚴，傳統(tǒng)的常壓燒結(jié)是將素坯直接放在剛玉墊板上燒結(jié)，由于素坯的底面與剛玉墊板存在摩擦，導(dǎo)致上下兩面收縮不一致，樣品變形。為解決這個問題，日本東曹公司的專利是：在剛玉板上鋪一層5 mm厚的氧化鋁粉末，素坯放置在粉末上，燒結(jié)氣氛為O2，在1 550℃燒結(jié)5 h，其靶材致密度可達99.5%。

中色(寧夏)東方集團公司在 2008 年年中，已經(jīng)基本掌握了ITO 靶材的燒結(jié)工藝，現(xiàn)可生產(chǎn)出 300mm×600mm×(6～10)mm，相對密度≥99%，穩(wěn)定在 99.5%左右的大尺寸、高密度 ITO 燒結(jié)靶材。經(jīng)過德國賀利士公司、深圳南玻鍍膜公司、蚌埠華益鍍膜公司等用戶試用，各項性能指標均達到或接近日本日礦和韓國三星康寧靶材水平。

冷等靜壓法

冷等靜壓技術(shù)(Cold Isostatic Pressing，簡稱CIP，是在常溫下，通常用橡膠或塑料作包套模具材料，以液體為壓力介質(zhì)，液體傳遞超高壓使粉末成型，為進一步燒結(jié)，煅造或熱等靜壓工序提供坯體。一般使用壓力為100~ 630MPa。在低壓氧氣氣氛氣壓保護下，將ITO粉體采用冷等靜壓壓成大塊陶瓷胚體，然后在0.1~0.9MPa純氧環(huán)境中，用1500~1600℃高溫燒結(jié)，可以生產(chǎn)密度達理論密度95%的陶瓷靶。

冷等靜壓法制備靶材的特點是：與機械壓制相比，由于冷等靜壓制壓力大，工件受力均勻，特別適宜壓制大尺寸的粉末制品。壓制的粉末制品具有密度高，密度均勻，壓制的粉末不需添加潤滑劑等優(yōu)點。生產(chǎn)成本較低，適于批量生產(chǎn)，但是使用高溫帶壓純氧，生產(chǎn)帶有一定的危險。RXYQ-16-55高溫高氧燒結(jié)爐已由浙江長興益豐特種陶瓷窯業(yè)有限公司研制成功。

日本同和鈜業(yè)株式會社的江島、光一郎發(fā)明的ITO靶材制備方法，采用比表面積15m2/g的納米粉末，采用冷等靜壓法壓出相對密度45%的坯體，在1500℃左右溫度下燒制10h，可制備出相對密度為99%以上的濺射靶。日本東曹株式會社的內(nèi)海健太郎、黑澤聰、星野浩采用平均粒徑為0.1~1.5μm的In2O3和SnO2混合粉末，添加PVA等粘合劑，先在300~500℃的溫度下干燥5~20h進行脫粘合劑處理然后在1500~1600℃下，純氧氣氛中燒結(jié)5~30h，制備出的ITO靶材相對密度為99%以上。

李錦橋設(shè)計出制備ITO靶材的專用設(shè)備，將ITO粉體冷等靜壓壓成大塊濺射靶坯體，然后在0.1~0.5MPa純氧環(huán)境中，在1500~l600℃高溫燒結(jié)，可以生產(chǎn)密度達理論密度95%的濺射靶。這種高溫高氧燒結(jié)爐已由浙江長興益豐特種濺射靶窯業(yè)有限公司研制成功。該爐定型設(shè)計后有望工業(yè)化批量生產(chǎn)，為我國ITO濺射靶國產(chǎn)化打下基礎(chǔ)。另外，李晶等也進行了冷等靜壓燒結(jié)法制備ITO靶材制備靶材的研究。他們先采用化學沉淀法制備復(fù)合粉末，通過冷等靜壓進行粉末壓制，壓制出相對密度約為60%的生坯，然后將此壓坯在1600℃下燒結(jié)6h，可得到相對密度>90%的ITO靶材。總之，采用冷等靜壓制坯，純氧氣氛和1550~1650℃條件下燒結(jié)的方法是目前國外采用較多的燒結(jié)方法。

放電等離子燒結(jié)

放電等離子燒結(jié)(SPS)是在脈沖電流作用下，通過樣品及間隙的部分電流激活晶粒表面，在孔隙間局部放電，產(chǎn)生等離子體，粉末顆粒表面被活化、發(fā)熱；同時，通過模具的部分電流加熱模具，使模具開始對試樣傳熱，試樣溫度升高，開始收縮，產(chǎn)生一定密度，并隨著溫度的升高而增大，直至達到燒結(jié)溫度后收縮結(jié)束，致密度達到最大。與常規(guī)燒結(jié)方式相比，SPS方法具有操作簡單、高速燒結(jié)、降低燒結(jié)溫度、再現(xiàn)性高、安全可靠、節(jié)省空間、節(jié)省能源及成本低等特點。已經(jīng)被成功地應(yīng)用于梯度功能材(FGM)、金屬基復(fù)合材料(MMC)、纖維增強陶瓷(FRC)、納米材料、多孔材料、磁性材料、金屬間化合物和高致密度、細晶粒陶瓷等各種新材料的制備。SPS燒結(jié)，利用未添加任何燒結(jié)助劑的粉體在中性氣氛下，在較低的溫度下制備元素分布均勻，具有較高致密度和較好熱學性能和電學性能的ITO靶材。放電等離子燒結(jié)(SPS)是在脈沖電流作用下，粉末顆粒間放電，產(chǎn)生瞬間高溫進行燒結(jié)。

與常規(guī)燒結(jié)方式相比，SPS法具有操作簡單、高速燒結(jié)、再現(xiàn)性高、安全可靠、節(jié)省空間、節(jié)省能源及成本低等優(yōu)點。能在很低的燒結(jié)溫度下，保溫很短的時間制備高密度的材料。

K.Yamazaki用SPS方法初步制備出超細晶粒的WC2Co系金屬陶瓷。T.Nishimura用SPS方法制備了α2Si3N4和β2Si3N4陶瓷,燒結(jié)溫度為1500~1600℃,燒結(jié)時間5~7min,達到理論密度的98%以上,晶粒尺寸為150~200nm。杜大明等也用此法獲得了致密的氮化硅陶瓷。高濂等用SPS方法制備了20%Al2O32ZrO2陶瓷,燒結(jié)壓力為45MPa,得到理論密度高于98%的細晶粒樣品,斷裂韌性KIC(壓痕法測定)接近10MPa·m1/2。另外,用SPS方法在1450℃時燒結(jié)得到了彎曲強度達1000MPa的納米5vol% SiC2Al2O3陶瓷。Cs.Balázsi用放電等離子燒結(jié)獲得了幾乎完全致密的碳納米管增韌氮化硅復(fù)合陶瓷,其力學性能明顯優(yōu)于熱等靜壓法制得的制品。我國從2000年起,武漢理工大學、北京工業(yè)大學、清華大學、北京科技大學、中科院上海硅酸鹽所等單位也相繼引進了日本制造的SPS設(shè)備,開展了用SPS技術(shù)制備新材料的研究工作,主要用來燒結(jié)納米材料和陶瓷材料。

各種制備方法都有優(yōu)點與缺點，我們綜合自己掌握的知識與技術(shù)選擇合適的方法進行改進技術(shù)彌補缺點充分利用優(yōu)點制備靶材，得到靶材的各項性能符合我們制備薄膜的要求，進而節(jié)約資源與降低成本，使得ITO薄膜的應(yīng)用范圍更加廣泛。

ITO靶材的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

ITO靶材制備的研究現(xiàn)狀

從目前ITO產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)狀來看，以日本Japan Energy、TOSOH及Mitsui三家廠商囊括了80％以上的ITO 靶材市場，而Japan Energy在TFT及PDP方面市場占有率較大，TOSOH在Color Filter方面較強，Mitsui則分配較為平均。日本企業(yè)生產(chǎn)的靶材以大尺寸、高性能占據(jù)著顯示器中高端領(lǐng)域，主要以常壓燒結(jié)法作為靶材主要生產(chǎn)方法，常壓燒結(jié)法也是目前ITO 靶材生產(chǎn)的主流技術(shù)。我國雖然是世界第一產(chǎn)銦大國，銦產(chǎn)量占世界產(chǎn)量的70%(原生銦)，但是目前我國在銦的深加工方面卻處于初級階段，從亞洲金屬網(wǎng)相關(guān)分析來看，全球84%銦用于ITO行業(yè)，(其次的幾個消費領(lǐng)域分別是：合金領(lǐng)域，占全球銦用量量的8%；化合物消費領(lǐng)域占5%，半導(dǎo)體行業(yè)占 2%，研究行業(yè)占 1%)，全球 90%以上的平板顯示器件生產(chǎn)都集中在亞洲，因此，目前韓國、中國、臺灣地區(qū)，都在積極研發(fā)和引進常壓燒結(jié)技術(shù)，韓國三星已經(jīng)在這方面取得了突破性的進展，打破了日本企業(yè)在方面的技術(shù)壟斷地位。由于日本企業(yè)的技術(shù)封鎖，我國的常壓燒結(jié)技術(shù)目前處于初級研發(fā)階段，因此技術(shù)突破還須時日。目前國內(nèi)可供應(yīng)商品靶材的單位主要有以下幾家：株洲冶煉集團有限責任公司、寧夏九0五集團、威海市藍狐特種材料開發(fā)有限公司、韶關(guān)西格瑪技術(shù)有限公司和柳州華錫有限責任公司等。株洲冶煉集團有限責任公司，是我國早期開展ITO靶材研究工作的主要單位之一，該公司與華中科大聯(lián)合建立了博士后工作站，專門從事ITO粉末及靶材的研究，經(jīng)過近十年的研究，采用熱等靜壓法所研制的ITO靶材相對密度≥99%，最大尺寸達到320mm×300mm。寧夏九0五集團在納米級銦錫氧化物(ITO)粉體和高性能ITO靶材的研究與制造方面，率先在國內(nèi)研制出了平均粒徑小于40nm的ITO超細粉體，并采用熱等靜壓法制備出相對密度大于98%的ITO靶材。威海藍狐公司開發(fā)出相對密度≥99%，平板靶材最大尺寸380mm×200mm;筒形ITO靶材密度≥99%。韶關(guān)西格瑪技術(shù)有限公司依托于中南大學粉末冶金研究所，成立了相關(guān)公司，專業(yè)從事氧化物納米粉末及其相關(guān)制品的設(shè)計開發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)，其研制的ITO靶材相對密度≥99%晶粒度5~15μm，電阻率0.14×10-3Ω·cm，外觀為黑色。柳州華錫公司利用其在銦原材料上優(yōu)勢，也積極開展ITO靶材的研究工作，并與桂林電子科技大學開展了大尺寸超高密度ITO靶材制備的新工藝研究。目前該公司所公布的ITO靶材的性能指標如下：相對密度>99%，電阻率≤0.25×10-3Ω·cm，規(guī)格300mm×300mm×(5~10)mm，顏色為灰黑色。

ITO靶材的發(fā)展趨勢

近年來，隨著平板顯示器尺寸大型化的發(fā)展，對ITO靶材尺寸及密度的要求也越來越高，熱壓設(shè)備與技術(shù)已遠遠不能滿足其要求。因此，以燒結(jié)工藝生產(chǎn)大尺寸、高密度ITO靶材已成為國內(nèi)各大靶材生產(chǎn)廠家研發(fā)的重點。LCD經(jīng)過長時間的發(fā)展后，產(chǎn)品質(zhì)量不斷提升，成本也不斷下降，對ITO靶材的要求也隨之提高，因此，配合LCD的發(fā)展，未來ITO靶材發(fā)展大致有以下的趨勢。目前 LCD、PDP 及 OLED 等顯示技術(shù)的發(fā)展，要求提升 ITO靶材品質(zhì)，降低成本，所以ITO靶材呈現(xiàn)以下的發(fā)展趨勢。

1)尺寸大型化

隨著液晶模塊產(chǎn)品輕薄化和低價化趨勢的不斷發(fā)展，相應(yīng)的ITO玻璃基板也出現(xiàn)了明顯的大型化的趨勢，因此ITO靶材單片尺寸大型化不可避免。為了滿足大面積鍍膜的工藝要求，技術(shù)先進企業(yè)采用大尺寸靶材，以減少靶材的拼接接縫數(shù)量，提高效率和品質(zhì)。這主要是由于靶材之間的縫隙破壞了靶材表面電子的定向運動，并且，在縫隙處容易集聚大量的電荷，從而容易引起靶材的放電現(xiàn)象，造成靶材過早黑化。靶材的黑化會造成很多問題，如面電阻增大，膜厚增加，透過率降低，靶材的濺射率降低，導(dǎo)電功率加大和電壓升高等。

2)低電阻率

隨著LCD愈來愈精細化發(fā)展的趨向，以及它的驅(qū)動程序不同，需要更小電阻率的透明導(dǎo)電膜，要求改善ITO靶材性能，改進濺射技術(shù)和裝備。目前ITO靶材所形成的ITO膜電阻，在基極溫度350℃時，已達到1。1×10-4?·cm以下，而高端液晶顯示用ITO膜，要求更低的電阻。

3)高密度化

密度作為ITO靶材最重要的技術(shù)指標，直接影響到靶材的使用效率和ITO膜的品質(zhì)，若使用低密度靶材，有效濺射面積會減少、濺射速度也會降低，靶材的使用周期會縮短，造成成本升高，ITO膜品質(zhì)下降；使用高密度靶則表面變化較小，膜品質(zhì)高，使用周期長。

4)靶材本體一體化。如前所述，靶材將朝大面積發(fā)展，以往技術(shù)能力不足時，必須使用多片靶材拼焊成大面積，但由于接合處會造成鍍膜質(zhì)量下降，因此目前大多以一體成形為主，以提升鍍膜質(zhì)量與使用率。未來新世代LCD玻璃基板尺寸的加大，對靶材生產(chǎn)廠家是一項嚴苛的挑戰(zhàn)。

5)提高使用率

提高ITO靶材的濺射使用效率，一直是該領(lǐng)域研究的熱點和難點之一。平面ITO濺射靶使用效率約為20～25%，而采用非平面式濺射靶將可使其使用率提升至40%～60%。目前，靶材生產(chǎn)企業(yè)都在積極研究開發(fā)旋轉(zhuǎn)式ITO靶材以及管狀I(lǐng)TO靶材，此技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用勢必會給ITO產(chǎn)業(yè)帶來新的技術(shù)革新。

目前在ITO 靶材技術(shù)方面，雖然還是日本企業(yè)領(lǐng)先和掌握著先進技術(shù)，但國內(nèi)多家廠商在積極研究開發(fā)自主的應(yīng)用技術(shù)。國家目前對銦的出口采取了許可證制度，使得國際銦呈現(xiàn)出了局部短缺的現(xiàn)象，ITO 靶材的生產(chǎn)格局將有可能發(fā)生大變化，國內(nèi)的靶材生產(chǎn)廠家遇到了前所未有的良好機遇。若高性能ITO 靶材生產(chǎn)技術(shù)能夠本土化，勢必會對ITO 產(chǎn)業(yè)的發(fā)展產(chǎn)生深遠的影響，提升我國企業(yè)在平板顯示領(lǐng)域的整體競爭力。

現(xiàn)有靶材的不足

目前國內(nèi)生產(chǎn)并能供應(yīng)的 I T O靶材的尺寸都相對比較小。幾個廠家提供的靶材尺寸如下：寧夏有色金屬冶煉廠 2 0 0 ×1 5 0 ×(6 ～1 0)mm；廣西柳州華錫集團有限責任公司2 5 0×2 0 0 mm。這些都是小尺寸靶材，雖然這些靶材滿足了一定的生產(chǎn)需要，但是，根據(jù)時代發(fā)展的要求和科學技術(shù)部《當前優(yōu)先發(fā)展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重點領(lǐng)域指南》(1 9 9 9)所指出的方向，即電子專用材料近期產(chǎn)業(yè)化的重點是：ITO大型靶材和ITO導(dǎo)電玻璃。在鍍制I T O膜過程中，為了滿足大面積鍍膜的工藝要求，必須將多塊小的靶材進行連接，S D P 一 8 5 O VTMB設(shè)備用兩片構(gòu)成一副完整的靶材，ARI s O一 8 0 0設(shè)備用四片，這樣勢必影響靶材的利用率，更嚴重地影響鍍膜的質(zhì)量。這是因為，靶材之間的縫隙破壞了靶材表面電子的定向運動，并且，在縫隙處容易集聚大量的電荷，從而容易引起靶材的放電現(xiàn)象，造成靶材過早黑化。靶材的黑化會造成很多問題，如面電阻增大，膜厚增加，透過率降低，靶材的濺射率降低，導(dǎo)電功率加大和電壓升高，由此，整個靶材的面放電增多等等，降低靶材的利用率。因此，著手研究生產(chǎn)大面積靶材有著及其重要的意義。

ITO靶材制作的難點就是氧化銦錫在高溫下的分解和揮發(fā)行為，這種物性使得制備靶材工藝難度大大增加。如何保持粉末特性和控制燒結(jié)體內(nèi)晶粒尺寸的優(yōu)點，為靶材具有良好微觀結(jié)構(gòu)提供了條件。如何讓提高ITO靶材的質(zhì)量，滿足鍍膜技術(shù)和要求日益提高的客觀需要。

生產(chǎn)大面積靶材所面臨的難題

生產(chǎn)靶材的工藝大多采用熱等靜壓方式，這種生產(chǎn)有受壓缸尺寸的限制，不能生產(chǎn)出大尺寸的靶材，而要增大壓缸的尺寸，則成本會成倍的增長。另外，在生長大尺寸的靶材時，如何確保大尺寸濺射靶材的微觀結(jié)構(gòu)與組織的均一性以及避免產(chǎn)生缺陷，也是一個有待解決的課題，濺射靶材的微觀結(jié)構(gòu)的均一性對于濺射時的成膜速率、淀積薄膜的質(zhì)量及厚度分布等均有很大的影響。細晶粒結(jié)構(gòu)的濺射靶材的成膜速率大于粗晶粒靶材。所以，如何生產(chǎn)大尺寸并保持微觀結(jié)構(gòu)與組織均勻性，合成搞密度靶材是靶材研制的難題。

第二篇：打破技術(shù)壁壘 加快ITO target靶材產(chǎn)業(yè)化進程

打破技術(shù)壁壘 加快ITO target靶材產(chǎn)業(yè)化進程

時間:2010-7-15 1:35:52,點擊:1820

前全球信息產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，我們應(yīng)抓住ITO材料市場需求猛增的大好時機，加速ITO靶材的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進程，打破發(fā)達國家設(shè)置的技術(shù)壁壘，促進ITO靶材國產(chǎn)化。

平板顯示器上游的關(guān)鍵材料ITO靶材的生產(chǎn)，落后于我國平板顯示器產(chǎn)業(yè)發(fā)展。打造相對完整的平板彩電產(chǎn)業(yè)鏈，以著力提高自主發(fā)展能力為核心，提高ITO靶材的生產(chǎn)品質(zhì)，是我國平板顯示器產(chǎn)業(yè)發(fā)展首要解決的問題之一。

中國大陸今年ITO靶材需求量將超過300噸

2007年的統(tǒng)計數(shù)據(jù)表明：生產(chǎn)低端TN導(dǎo)電玻璃的ITO靶材的廠商主要有：韓國的三星康寧、美國的優(yōu)美可(Umicore)、日本三井和德國的賀力士，國內(nèi)的生產(chǎn)廠家也有少量生產(chǎn)。國內(nèi)年總需求量120噸。

生產(chǎn)中檔STN的ITO靶材的廠商主要有：日本能源、韓國的三星康寧、美國的優(yōu)美可(Umicore)、日本三井和德國的賀力士。年需求量為200噸。

用于生產(chǎn)高端TFT-LCD的ITO靶材均來自日本的東曹、日立、住友、VMC，日本在高端ITO靶材生產(chǎn)技術(shù)方面一直處于領(lǐng)先地位，幾乎壟斷了大部分TFT液晶市場。據(jù)不完全統(tǒng)計，年需求量為24噸。隨著2009年計劃7-9條TFT面板產(chǎn)生線的投產(chǎn)，2010年國內(nèi)用于高端TFT-LCD的ITO靶材將增加到120噸-140噸。

國內(nèi)目前能生產(chǎn)TFT-LCD大尺寸液晶面板生產(chǎn)廠家主要有京東方、上廣電、龍騰光電、深超科技、天馬公司5家，產(chǎn)能占全球的5%，所用ITO靶材目前全部依賴進口。除這5家將在未來幾年大規(guī)模擴大產(chǎn)能外，彩虹集團、四川長虹、廣東佛山南海等內(nèi)地廠商和我國臺灣廠商高世代TFT生產(chǎn)線也將逐步落戶大陸，高密度ITO靶材的需求量呈快速遞增趨勢，目前正以每年15%～20%的速度增長。

據(jù)臺灣業(yè)者粗略統(tǒng)計，2008年各國業(yè)者對ITO靶材年均需求量，韓國約320噸，中國臺灣約為300噸，日本則約為250噸。目前中國大陸用于生產(chǎn)TFT-LCD的生產(chǎn)線有5條，預(yù)計2009年將再增加6條，如全部投產(chǎn)將需求ITO靶材150噸/年以上，因此，中國大陸2009年合計需ITO靶材將超過300噸。至此，國內(nèi)對ITO靶材的需求將超過日本，成為世界第三大ITO靶材的消費大國。

高端ITO靶材全部依賴進口

中國是全球中低端ITO導(dǎo)電玻璃的主要生產(chǎn)地，也是ITO靶材的主要需求市場之一。自1994年以來華錫集團就開始熱壓技術(shù)的研發(fā)，株冶、寧夏905工廠、山東藍狐材料等眾多廠家與高等院校多年來不斷努力，但至今尚無法掌握高品質(zhì)ITO靶材制作所需之氣氛燒結(jié)技術(shù)。從1998年起，我國的筆段型液晶顯示器、點陣顯示器產(chǎn)量已躍居世界第一，國內(nèi)目前能生產(chǎn)TFT-LCD大尺寸液晶面板的生產(chǎn)廠家主要有京東方、上廣電、龍騰光電3家，產(chǎn)能占全球的5%，可是，所用ITO靶材全部依賴進口。我國銦儲量和產(chǎn)量均居世界第一，然而銦金屬卻主要外銷，對其深加工高新技術(shù)產(chǎn)品尚處于起步階段。為使資源增值，合理利用銦資源的重要途徑之一是生產(chǎn)ITO靶材。目前ITO靶材生產(chǎn)通常采用冷等靜壓燒結(jié)法制備的ITO磁控濺射靶材，相對密度小于99%，未突破下游行業(yè)需求指標(單相結(jié)構(gòu)、相對密度大于99.5%)，產(chǎn)品只限部分用于生產(chǎn)低端的TN導(dǎo)電玻璃。

自主開發(fā)ITO靶材意義重大

目前工業(yè)ITO靶材都是以ITO粉末為原料經(jīng)高溫燒結(jié)而成，其燒結(jié)成型方法主要有3種：熱壓法HP、冷等靜壓法CIP、高溫氣氛燒結(jié)法MMP。

國內(nèi)目前ITO靶材的生產(chǎn)，多采用高成本的熱等靜壓工藝。該技術(shù)工藝生產(chǎn)的靶材，一旦產(chǎn)品規(guī)格超過200mm×200mm，就會出現(xiàn)斷裂、密度低等問題，而且在使用過程中，經(jīng)常出現(xiàn)靶材中毒現(xiàn)象。這也是我國靶材行業(yè)落后于先進國家的主要原因之一。

自主開發(fā)生產(chǎn)ITO靶材對于促進我國平板顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大，主要表現(xiàn)在以下幾方面：

第一，打破技術(shù)壁壘，讓高端靶材不再依賴進口。國外對ITO靶材生產(chǎn)技術(shù)進行嚴密封鎖使我國對這一關(guān)鍵的信息功能材料的制造技術(shù)嚴重滯后，致使ITO靶材不得不長期依賴進口，嚴重阻礙了我國信息產(chǎn)業(yè)鏈的建立，限制了我國信息產(chǎn)業(yè)向高端發(fā)展。因此，必須優(yōu)先發(fā)展具有我國自主知識產(chǎn)權(quán)的ITO靶材制備技術(shù)，加快ITO產(chǎn)業(yè)化建設(shè)，促進高端ITO靶材國產(chǎn)化進程。

第二，有利于資源保護，提高銦產(chǎn)品高附加值。突破限制我國平板顯示器產(chǎn)業(yè)鏈健康發(fā)展的瓶頸制約，對提高我國信息產(chǎn)業(yè)的核心競爭力，開發(fā)對稀缺金屬原材料的深加工具有重大的戰(zhàn)略意義和深遠歷史意義。

第三，填補我國ITO靶材在中、高端平板顯示器制造領(lǐng)域應(yīng)用的空白。

第四，有利于ITO靶材平板生產(chǎn)工藝研究開發(fā)與人才培養(yǎng)。

第五，有利于提高國內(nèi)ITO靶材原料加工、鍍膜等整體技術(shù)水平。

目前全球信息產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，我們應(yīng)抓住ITO材料市場需求猛增的大好時機，加速ITO靶材的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進程，打破發(fā)達國家設(shè)置的技術(shù)壁壘，促進ITO靶材國產(chǎn)化，改變目前ITO靶材主要依賴進口的現(xiàn)狀，實現(xiàn)我國成為光電產(chǎn)業(yè)領(lǐng)先國家的目標。

第三篇：靶材產(chǎn)業(yè)實施方案

靶材產(chǎn)業(yè)實施方案

——產(chǎn)業(yè)投資建設(shè)規(guī)劃

靶材是濺射薄膜制備的源頭材料，又稱濺射靶材。是制備晶圓、面板、太陽能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。

我國相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要任務(wù)是貫徹落實科學發(fā)展觀和走新型工業(yè)化道路原則，加快結(jié)構(gòu)調(diào)整。相關(guān)產(chǎn)業(yè)要持續(xù)結(jié)構(gòu)調(diào)整和產(chǎn)業(yè)升級，加強和改進投資管理，建立企業(yè)自我約束機制，完善有利于發(fā)展的市場環(huán)境，進一步加強和改善宏觀調(diào)控，避免投資盲目擴張，促進相關(guān)產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展。

為加快調(diào)整優(yōu)化區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展，結(jié)合區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展實際，制定本方案。

第一章

指導(dǎo)路線

以產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級為發(fā)展主線；以質(zhì)量效率型、集約增長型為主要發(fā)展方式；以創(chuàng)新驅(qū)動為主要發(fā)展途徑。促進區(qū)域產(chǎn)業(yè)總體保持中高速增長，產(chǎn)業(yè)邁向中高端水平，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展質(zhì)量和效益全面提升。

第二章

發(fā)展原則

1、因地制宜，示范引領(lǐng)。著眼區(qū)域?qū)嶋H，充分考慮經(jīng)濟社會發(fā)展水平，逐步研究制定適合區(qū)域特點的能效標準。制定合理技術(shù)路線，采用適宜技術(shù)、產(chǎn)品和體系，總結(jié)經(jīng)驗，開展多種示范。

2、機制創(chuàng)新，部門協(xié)同。創(chuàng)新管理體制和運營監(jiān)管機制，強化部門協(xié)同，持續(xù)推進產(chǎn)業(yè)發(fā)展，實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展。

3、開放融合。樹立全球視野，對標國際先進，把握“一帶一路”重大戰(zhàn)略契機，聚焦產(chǎn)業(yè)重點領(lǐng)域，探索發(fā)展合作新模式，在全球范圍配置產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈和價值鏈，更大范圍、更高層次上參與產(chǎn)業(yè)競爭合作，走開放式創(chuàng)新和國際化發(fā)展的道路。

4、深化改革，開放發(fā)展。加快重點產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的供給側(cè)改革，充分發(fā)揮市場對產(chǎn)業(yè)資源配置的決定性作用。探索建區(qū)域產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展的體制機制，積極參與“一帶一路”建設(shè)，鼓勵企業(yè)“走出去”，發(fā)展更高層次的開放型經(jīng)濟。

5、市場主導(dǎo)，政府引導(dǎo)。發(fā)揮市場配置資源的決定性作用，尊重企業(yè)主體地位，激發(fā)企業(yè)活力和創(chuàng)造力，創(chuàng)新經(jīng)營模式和業(yè)態(tài)，推動聯(lián)合重組，增加有效供給，促進優(yōu)勝劣汰；健全公平開放透明的市場規(guī)則，完善支持政策，搭建服務(wù)平臺，優(yōu)化產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境。

第三章

產(chǎn)業(yè)環(huán)境分析

靶材是濺射薄膜制備的源頭材料，又稱濺射靶材。是制備晶圓、面板、太陽能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。

高純度濺射靶材主要應(yīng)用于電子元器件制造的物理氣相沉積（PhysicalVaporDeposition，PVD）工藝。PVD 鍍膜目前主要有三種形式，分別是濺射鍍膜、蒸發(fā)鍍膜以及離子鍍膜。

為推動國內(nèi)靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展，增強產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和國際競爭力，帶動傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造和產(chǎn)品升級換代，我國制定了一系列靶材行業(yè)相關(guān)支持政策。

靶材行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應(yīng)用等環(huán)節(jié)。其中，靶材制造和濺射鍍膜環(huán)節(jié)是整個靶材產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

靶材產(chǎn)業(yè)下游包括半導(dǎo)體、光伏電池、平板顯示器等等，其中，半導(dǎo)體芯片行業(yè)用的金屬靶材，主要種類包括：銅、鉭、鋁、鈦、鈷和鎢等高純靶材，以及鎳鉑、鎢鈦等合金類的靶材。銅靶和鉭靶通常配合起來使用。

靶材主要應(yīng)用在平板顯示、記錄媒體、光伏電池、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。其中，在靶材應(yīng)用領(lǐng)域中，半導(dǎo)體芯片對靶材的金屬材料純度、內(nèi)部

微觀結(jié)構(gòu)等方面都設(shè)定了極其苛刻的標準，需要掌握生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵技術(shù)并經(jīng)過長期實踐才能制成符合工藝要求的產(chǎn)品。

因此，半導(dǎo)體芯片對靶材的要求是最高的，價格也最為昂貴。

半導(dǎo)體芯片行業(yè)是金屬濺射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一，也是對靶材的成分、組織和性能要求最高的領(lǐng)域。

目前晶圓的制造正朝著更小的制程方向發(fā)展，銅導(dǎo)線工藝的應(yīng)用量在逐步增大，因此，銅和鉭靶材的需求將有望持續(xù)增長。鋁靶和鈦靶通常配合起來使用。目前，在汽車電子芯片等需要 110nm 以上技術(shù)節(jié)點來保證其穩(wěn)定性和抗干擾性的領(lǐng)域，仍需大量使用鋁、鈦靶材。

靶材在半導(dǎo)體材料中占比約為 2.5-3%，由于半導(dǎo)體靶材市場與晶圓產(chǎn)量存在直接關(guān)系，中國大陸晶圓廠產(chǎn)能占全球比例在 15%左右，推算出 2019 年國內(nèi)半導(dǎo)體用靶材市場約為 10.3 億元。

目前，全球的靶材制造行業(yè)，特別是高純度的靶材市場，呈現(xiàn)寡頭壟斷格局，主要由幾家美日大企業(yè)把持，如日本的三井礦業(yè)、日礦金屬、日本東曹、住友化學、日本愛發(fā)科，以及美國霍尼韋爾、普萊克斯等。

日礦金屬是全球最大的靶材供應(yīng)商，靶材銷售額約占全球市場的30%，霍尼韋爾在并購 JohnsonMattey、整合高純鋁、鈦等原材料生產(chǎn)

廠后，占到全球市約 20%的份額，此外，東曹和普萊克斯分別占 20%和10%。

目前，國內(nèi)靶材廠商主要聚焦在低端產(chǎn)品領(lǐng)域，在半導(dǎo)體、平板顯示器和太陽能電池等市場還無法與國際巨頭全面競爭。

但是，依靠國內(nèi)的巨大市場潛力和利好的產(chǎn)業(yè)政策，以及產(chǎn)品價格優(yōu)勢，它們已經(jīng)在國內(nèi)市場占有一定的市場份額，并逐步在個別細分領(lǐng)域搶占了部分國際大廠的市場空間。

近年來，我國政府制定了一系列產(chǎn)業(yè)政策，如 863 計劃、02 專項基金等來加速濺射靶材供應(yīng)的本土化進程，推動國產(chǎn)靶材在多個應(yīng)用領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)從無到有的跨越。這些都從國家戰(zhàn)略高度扶植并推動著濺射靶材產(chǎn)業(yè)的發(fā)展壯大。

第四章

區(qū)位環(huán)境分析

預(yù)計全年地區(qū)生產(chǎn)總值增長 xx%左右，一般公共預(yù)算收入增長 xx%，固定資產(chǎn)投資增長 xx%，規(guī)模以上工業(yè)增加值增長 xx%，主要經(jīng)濟指標增速均達到或超過區(qū)域平均水平。xx 年是全面建成小康社會和“十三五”規(guī)劃收官之年，是打贏三大攻堅戰(zhàn)關(guān)鍵之年，是具有里程碑意義的一年，做好今年經(jīng)濟社會發(fā)展工作意義重大。當今世界正處于百年未有之大變局，全球治理體系正在深刻變革，經(jīng)濟仍處在國際金融危

機后的深度調(diào)整期，高風險與低增長并存，不確定不穩(wěn)定因素明顯增多。我國經(jīng)濟結(jié)構(gòu)性、體制性、周期性問題相互交織，“三期疊加”影響持續(xù)深化，發(fā)展環(huán)境錯綜復(fù)雜，但經(jīng)濟穩(wěn)中向好、長期向好的基本趨勢沒有變、也不會變。今年經(jīng)濟社會發(fā)展主要預(yù)期目標是：地區(qū)生產(chǎn)總值增長 xx%左右，一般公共預(yù)算收入增長 xx%，規(guī)模以上工業(yè)增加值增長 xx%，固定資產(chǎn)投資增長 xx%，社會消費品零售總額增長 xx%，進出口總額增長 xx%，城鎮(zhèn)登記失業(yè)率控制在 xx%以內(nèi)，城鄉(xiāng)居民人均可支配收入分別增長 xx%和 xx%，居民消費價格漲幅控制在 xx%左右，萬元生產(chǎn)總值能耗、PMxx平均濃度下降和化學需氧量、二氧化硫、氨氮、氮氧化物減排完成省下達的目標任務(wù)。

當前時期，地區(qū)仍處于可以大有作為的重要戰(zhàn)略機遇期。和平與發(fā)展的時代主題沒有變，世界多極化、經(jīng)濟全球化、文化多樣化、社會信息化深入發(fā)展，世界經(jīng)濟緩慢復(fù)蘇，新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革蓄勢待發(fā)，全球治理體系深刻變化。我國經(jīng)濟長期向好的基本面沒有變，經(jīng)濟發(fā)展進入新常態(tài)，發(fā)展方式加快轉(zhuǎn)變，新的增長動力加快孕育，經(jīng)濟中高速增長、邁向中高端水平的趨勢明顯。未來五年，地區(qū)將由低中等收入向中上等收入跨越，由鄉(xiāng)村社會向城市社會轉(zhuǎn)型，產(chǎn)業(yè)由中低端向中高端水平提升，工業(yè)化由中期階段向中后期階段發(fā)展，人民生活由總體小康向全面小康邁進，進入新的發(fā)展階段，保持經(jīng)濟持續(xù)較快發(fā)展的空間廣闊、潛力巨大。

必須清醒看到，世界經(jīng)濟仍在深度調(diào)整，復(fù)蘇進程艱難曲折。我國“三期疊加”特征明顯，新舊增長動力逐步轉(zhuǎn)換，發(fā)展不平衡、不協(xié)調(diào)、不可持續(xù)問題仍然突出。在工業(yè)化中期階段進入新常態(tài)，面臨的挑戰(zhàn)更加復(fù)雜嚴峻，主要是穩(wěn)增長壓力大，傳統(tǒng)增長動力減弱，新興增長動力難以接續(xù)；轉(zhuǎn)型升級難度大，傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)面臨困境，先進制造業(yè)和現(xiàn)代服務(wù)業(yè)發(fā)展滯后，創(chuàng)新能力薄弱；資源約束趨緊，土地、能源、人才等供需矛盾突出，環(huán)境質(zhì)量有所下降；公共服務(wù)供給不足，公共產(chǎn)品和公共服務(wù)水平與全國差距大，貧困量多面廣程度深，短板瓶頸明顯；開放型經(jīng)濟水平不高，區(qū)位優(yōu)勢和通道作用未能充分發(fā)揮。

加快形成以創(chuàng)新為引領(lǐng)和支撐的經(jīng)濟體系和發(fā)展模式，打造經(jīng)濟增長新引擎，使創(chuàng)新成為引領(lǐng)全面振興的第一動力，推進創(chuàng)新型建設(shè)。

（一）強化企業(yè)創(chuàng)新主體地位

堅持企業(yè)在創(chuàng)新中的主體地位和主導(dǎo)作用，支持科技型中小微企業(yè)健康發(fā)展，大力培育和發(fā)展創(chuàng)新型企業(yè)，建設(shè)一批創(chuàng)新型領(lǐng)軍企業(yè)，形成以高新技術(shù)企業(yè)為重點，科技型龍頭企業(yè)、科技型中小微企業(yè)協(xié)同發(fā)展新格局。

（二）發(fā)揮創(chuàng)新示范引領(lǐng)作用

打造創(chuàng)新高地，引領(lǐng)、示范和帶動全省加快實現(xiàn)創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展。

（三）提升創(chuàng)新保障能力

以提升創(chuàng)新基礎(chǔ)能力，完善創(chuàng)新政策支持體系為重點，加強創(chuàng)新保障體系建設(shè)，切實增強科技創(chuàng)新能力。

（四）激發(fā)人才創(chuàng)新創(chuàng)造活力

堅持人才資源是第一資源，切實把人才資源開發(fā)放在科技創(chuàng)新最優(yōu)先的位置，重點在用好、吸引、培養(yǎng)上下功夫，加快創(chuàng)新型人才隊伍建設(shè)，開創(chuàng)人才引領(lǐng)創(chuàng)新、創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展、發(fā)展集聚人才的良好局面。

第五章

目標

xx 年，區(qū)域產(chǎn)業(yè)主營業(yè)務(wù)收入達到 xx 億元，同比增長 xx%；完成固定資產(chǎn)投資 xx 億元，同比增長 xx%。

第六章

任務(wù)重心

(一)完善市場機制，充分發(fā)揮市場的決定性作用

推進咨詢、檢測等相關(guān)服務(wù)機構(gòu)發(fā)展。加強第三方評價監(jiān)管，提升評價機構(gòu)的公信力。加快產(chǎn)業(yè)市場的培育。推進產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域市場主體

信用評級。完善信用評級指標體系，建立信用評級與銀行授信、項目招投標等工作的聯(lián)動機制，促進供應(yīng)鏈落地實施。

(二)實施創(chuàng)新驅(qū)動，加強技術(shù)創(chuàng)新

加快實施產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新驅(qū)動戰(zhàn)略，引導(dǎo)大中型企業(yè)建立技術(shù)中心，圍繞市場需求，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品和技術(shù)，大力進行引進技術(shù)的消化吸收和創(chuàng)新。積極推進多種形式的產(chǎn)、學、研結(jié)合。鼓勵企業(yè)加強與高等院校和科研院所的交流合作，建立長期穩(wěn)定的合作關(guān)系或共同組建技術(shù)開發(fā)機構(gòu)，以項目和課題為紐帶，共同組織攻關(guān)，提高技術(shù)創(chuàng)新能力。鼓勵企業(yè)加大對技術(shù)開發(fā)中心的投入，加快技術(shù)中心人才的選拔培養(yǎng)，促進技術(shù)開發(fā)中心工作的規(guī)范化、制度化。

(三)強化政策落實，優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)

以新型工業(yè)化為牽引，加快推進消費升級，開展示范試點，推進新型產(chǎn)業(yè)發(fā)展，不斷擴大應(yīng)用市場。協(xié)調(diào)各部門職能部門，出臺相應(yīng)的政策措施，加快結(jié)構(gòu)調(diào)整步伐。促進全行業(yè)整體素質(zhì)的提高和經(jīng)濟效益的增長。

(四)著力推進品牌建設(shè)

強化本土品牌培育、宣傳與推介，支持企業(yè)建設(shè)和完善研發(fā)平臺，開展產(chǎn)學研用協(xié)同創(chuàng)新，攻克核心技術(shù)。鼓勵企業(yè)加大技術(shù)改造力度，實現(xiàn)降本增效。強化企業(yè)質(zhì)量主體責任，健全產(chǎn)品質(zhì)量管理體系，推進信用體系建設(shè)，加大對質(zhì)量違法和假冒品牌行為的打擊和懲處力度。

第七章

保障方案

(一)加快自主創(chuàng)新

圍繞綜合利用、協(xié)同處置、綠色發(fā)展等行業(yè)共性和基礎(chǔ)性的重大問題，建立以企業(yè)為主體、市場為導(dǎo)向、產(chǎn)學研用相結(jié)合的技術(shù)創(chuàng)新體系。支持專業(yè)科研設(shè)計單位和高等院校建立行業(yè)研究中心，提高行業(yè)關(guān)鍵技術(shù)及核心裝備研發(fā)制造能力。推進商業(yè)模式創(chuàng)新。

(二)優(yōu)化投資環(huán)境

優(yōu)化服務(wù)機制。完善產(chǎn)業(yè)發(fā)展的服務(wù)機制，優(yōu)化政策引導(dǎo)、市場監(jiān)管、質(zhì)量監(jiān)督服務(wù)職能，提高管理和服務(wù)水平。

優(yōu)化發(fā)展模式。根據(jù)規(guī)劃產(chǎn)業(yè)布局，結(jié)合園區(qū)發(fā)展規(guī)劃等相關(guān)規(guī)劃的實施，積極引導(dǎo)產(chǎn)業(yè)關(guān)聯(lián)項目或企業(yè)向重點園區(qū)聚集，集群發(fā)展。加快編制產(chǎn)業(yè)園區(qū)總體規(guī)劃，優(yōu)化投資布局，落實重點項目建設(shè)用地，促成產(chǎn)業(yè)發(fā)展高地、成本洼地。

優(yōu)化配套建設(shè)。落實產(chǎn)業(yè)園區(qū)和重點項目相關(guān)配套建設(shè)，利用多種合作模式，合作共建，推進項目落地。

(三)擴大國內(nèi)外合作

鼓勵企業(yè)與國外公司加強合作，支持有條件的企業(yè)在境外設(shè)立研發(fā)中心，充分利用國際資源提升發(fā)展水平。加強與“一帶一路”沿線國家合作，支持有條件的企業(yè)開拓海外業(yè)務(wù)，推進產(chǎn)業(yè)發(fā)展走出去。

(四)增強規(guī)劃指導(dǎo)作用

按照國家要求，分解落實約束性發(fā)展指標，強化考核，確保規(guī)劃有效實施，發(fā)揮規(guī)劃投資指導(dǎo)作用。強化規(guī)劃與產(chǎn)業(yè)政策、標準體系、運行監(jiān)管的配合，發(fā)揮好規(guī)劃對行業(yè)發(fā)展規(guī)范、引領(lǐng)作用。完善規(guī)劃實施跟蹤評價和定期評估制度，結(jié)合實施中重大問題適時調(diào)整規(guī)劃內(nèi)容。

(五)扶持產(chǎn)業(yè)中小企業(yè)

落實鼓勵、支持和引導(dǎo)民營經(jīng)濟發(fā)展的一系列政策措施。推進中小企業(yè)公共服務(wù)平臺網(wǎng)絡(luò)建設(shè)，進一步減免或取消涉及小微企業(yè)的行政事業(yè)性收費，增加采購預(yù)算中面向小微企業(yè)的份額。健全中小微企業(yè)金融服務(wù)體系，加快各類特色融資超市建設(shè)。

(六)加大金融支撐

各級金融機構(gòu)要強化對符合條件的項目龍頭企業(yè)的信貸支持力度，從授信總量擴大、利率優(yōu)惠、信貸品種拓展等方面，切實為項目龍頭企業(yè)提供高質(zhì)量的配套金融服務(wù)。建立健全項目產(chǎn)業(yè)化信用擔保體系，鼓勵有條件的地區(qū)建立龍頭企業(yè)貸款擔?；稹?yōu)先支持龍頭企業(yè)上市融資，將具備上市條件的龍頭企業(yè)納入重點培育計劃，并提供相應(yīng)的幫助和指導(dǎo)。

(七)加強市場監(jiān)督管理

健全監(jiān)管組織和法規(guī)政策體系，明確監(jiān)管范圍，完善監(jiān)管規(guī)則，創(chuàng)新監(jiān)管方式，規(guī)范監(jiān)管行為。

(八)注重規(guī)劃引導(dǎo)

各地區(qū)要針對本地區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展特點和市場需求現(xiàn)狀，加強對產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃的引導(dǎo)，做好本地區(qū)規(guī)劃與相關(guān)規(guī)劃的銜接，發(fā)揮規(guī)劃的指導(dǎo)性，強化規(guī)劃的約束性和權(quán)威性，引導(dǎo)行業(yè)持續(xù)健康發(fā)展。

第八章

重點項目

—— 重點項目：x xxx 投資管理公司 x xx 項目

一、項目投資單位概況

（一）項目投資主體

xxx 投資管理公司

（二）項目負責人

xxx

（三）項目單位簡介

本公司秉承“顧客至上，銳意進取”的經(jīng)營理念，堅持“客戶第一”的原則為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。公司堅持“責任+愛心”的服務(wù)理念，將誠信經(jīng)營、誠信服務(wù)作為企業(yè)立世之本，在服務(wù)社會、方便大眾中贏得信譽、贏得市場?！皾M足社會和業(yè)主的需要，是我們不懈的追求”的企業(yè)觀念，面對經(jīng)濟發(fā)展步入快車道的良好機遇，正以高昂的熱情投身于建設(shè)宏偉大業(yè)。

公司注重發(fā)揮員工民主管理、民主參與、民主監(jiān)督的作用，建立了工會組織，并通過明確職工代表大會各項職權(quán)、組織制度、工作制度，進一步規(guī)范廠務(wù)公開的內(nèi)容、程序、形式，企業(yè)民主管理水平進一步提升。圍繞公司戰(zhàn)略和高質(zhì)量發(fā)展，以提高全員思想政治素質(zhì)、業(yè)務(wù)素質(zhì)和履職能力為核心，堅持戰(zhàn)略導(dǎo)向、問題導(dǎo)向和需求導(dǎo)向，持續(xù)深化教育培訓改革，精準實施培訓，努力實現(xiàn)員工成長與公司發(fā)展的良性互動。

展望未來，公司將圍繞企業(yè)發(fā)展目標的實現(xiàn)，在“夢想、責任、忠誠、一流”核心價值觀的指引下，圍繞業(yè)務(wù)體系、管控體系和人才隊伍體系重塑，推動體制機制改革和管理及業(yè)務(wù)模式的創(chuàng)新，加強團隊能力建設(shè)，提升核心競爭力，努力把公司打造成為國內(nèi)一流的供應(yīng)鏈管理平臺。

二、項目背景

當前時期，是實現(xiàn)“兩個百年”奮斗目標承前啟后、繼往開來的重要時期，世情、國情、省情都在發(fā)生深刻變化，地區(qū)發(fā)展既面臨難得歷史機遇，也面臨諸多風險挑戰(zhàn)。

從國際看，和平與發(fā)展的時代主題沒有變，世界多極化、經(jīng)濟全球化、文化多樣化、社會信息化深入發(fā)展，世界經(jīng)濟在深度調(diào)整中曲折復(fù)蘇，新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革蓄勢待發(fā)，全球治理體系深刻變革，發(fā)展中國家群體力量繼續(xù)增強，國際力量對比逐步趨向平衡。同時，國際金融危機深層次影響在相當長時期依然存在，全球經(jīng)濟貿(mào)易增長乏力，保護主義抬頭，地緣政治關(guān)系復(fù)雜變化，傳統(tǒng)安全威脅和非傳統(tǒng)安全威脅交織，外部環(huán)境不穩(wěn)定不確定因素增多。

從國內(nèi)看，經(jīng)濟長期向好基本面沒有改變，但發(fā)展進入新常態(tài)，面臨增速放緩、結(jié)構(gòu)優(yōu)化和動力轉(zhuǎn)換的考驗。經(jīng)濟發(fā)展加快向更高級階段演化，增長速度從高速轉(zhuǎn)向中高速，發(fā)展方式從規(guī)模速度型轉(zhuǎn)向質(zhì)量效益型，結(jié)構(gòu)調(diào)整從增量擴能為主轉(zhuǎn)向調(diào)整存量、做優(yōu)增量并舉，發(fā)展動力從主要依靠資源和低成本勞動等要素投入轉(zhuǎn)向主要依靠創(chuàng)新驅(qū)動。區(qū)域戰(zhàn)略更加注重促進區(qū)域協(xié)調(diào)發(fā)展，更加注重加快欠發(fā)達地區(qū)發(fā)展。國家治理加快向現(xiàn)代化目標推進，更加注重改革的系統(tǒng)性、整體性和協(xié)同性，更加注重政府、市場和社會多元治理，更加注重治理過程的制度化、規(guī)范化和程序化。

從地區(qū)看，面臨諸多有利條件：發(fā)展基礎(chǔ)更加堅實。經(jīng)過長期發(fā)展，地區(qū)物質(zhì)技術(shù)基礎(chǔ)日益雄厚，基礎(chǔ)設(shè)施日益完備，生態(tài)環(huán)境日益改善，產(chǎn)業(yè)核心競爭力特別是科教水平不斷提升，人力資本累積效應(yīng)逐步顯現(xiàn)。發(fā)展區(qū)位優(yōu)勢凸顯。隨著交通設(shè)施不斷完善和國家“一帶一路”、長江經(jīng)濟帶戰(zhàn)略深入推進，地區(qū)將由沿海開放的內(nèi)陸變?yōu)閮?nèi)陸開放的前沿，具有巨大的商圈輻射優(yōu)勢和產(chǎn)業(yè)投資市場價值。發(fā)展?jié)撃芤廊痪薮蟆５貐^(qū)處在工業(yè)化、城鎮(zhèn)化中期階段，在推動消費主導(dǎo)型需求結(jié)構(gòu)、服務(wù)業(yè)主導(dǎo)型產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、城鎮(zhèn)主導(dǎo)型城鄉(xiāng)結(jié)構(gòu)形成過程中，新型工業(yè)化、信息化、新型城鎮(zhèn)化、農(nóng)業(yè)現(xiàn)代化和綠色化同步發(fā)展孕育巨大潛能，全面深化改革、全面推進依法治省將極大地釋放制度新紅利、激活發(fā)展新動力。

同時，也面臨諸多挑戰(zhàn)，發(fā)展不充分、不協(xié)調(diào)、不平衡的基本情況還沒從根本上改變，諸多矛盾疊加、風險挑戰(zhàn)并存的局面有待進一步扭轉(zhuǎn)。經(jīng)濟總量不大、人均水平較低、綜合實力不強，城鎮(zhèn)化率、服務(wù)業(yè)比重和外貿(mào)依存度均低于全國平均水平。創(chuàng)新能力不強、發(fā)展方式粗放、城鄉(xiāng)區(qū)域發(fā)展不平衡、資源環(huán)境約束趨緊、收入差距較大、消除貧困任務(wù)艱巨等問題突出。公共服務(wù)、社會保障、安全生產(chǎn)、社會治理等存在薄弱環(huán)節(jié)。縣域經(jīng)濟、開放型經(jīng)濟、非公有制經(jīng)濟和金融服務(wù)業(yè)仍是發(fā)展短板。改革攻堅日益觸及深層次體制矛盾和利益調(diào)整，經(jīng)濟環(huán)境不優(yōu)等問題不同程度存在，改革舉措落地需下更大功夫。

按照區(qū)域空間發(fā)展格局，精準確定功能分區(qū)，精準打造發(fā)展平臺和載體，突出對接重點，推進深度融合，加快一體化步伐，努力在協(xié)同發(fā)展中構(gòu)筑新優(yōu)勢。

（一）推動重點領(lǐng)域率先實現(xiàn)突破

圍繞區(qū)域協(xié)同發(fā)展的主要目標任務(wù)，著力推動交通一體化發(fā)展、生態(tài)環(huán)境共建共享和產(chǎn)業(yè)對接協(xié)作，在交通、生態(tài)、產(chǎn)業(yè)三個重點領(lǐng)域率先實現(xiàn)突破。

（二）打造區(qū)域協(xié)同創(chuàng)新共同體

吸引區(qū)域創(chuàng)新資源，推動創(chuàng)新平臺建設(shè)，完善創(chuàng)新機制，打造區(qū)域協(xié)同創(chuàng)新共同體。

（三）創(chuàng)新協(xié)同發(fā)展體制機制

推進要素市場一體化。推進金融市場一體化，積極推動設(shè)立區(qū)域發(fā)展銀行，共同出資建立區(qū)域產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整基金，推進異地存儲、支付清算、保險理賠、信用擔保、融資租賃等業(yè)務(wù)同城化。推進信用數(shù)

據(jù)庫一體化，加快區(qū)域企業(yè)信用信息數(shù)據(jù)庫的對接。推進信息市場一體化，在區(qū)域統(tǒng)一規(guī)劃部署下，加快建設(shè)區(qū)域一體化網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)設(shè)施，建設(shè)新一代寬帶無線移動通信網(wǎng)。推進人力資源市場一體化，在全省率先建立與區(qū)域勞務(wù)對接、就業(yè)協(xié)作機制，拓展區(qū)域石區(qū)域高層次人才自由流動渠道。

三、項目概況

（一）項 目名稱

xxx 投資管理公司 xx 項目

（二）項目建設(shè)地點

xx 經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)

（三）產(chǎn)品及服務(wù)方案

項目主要產(chǎn)品為 xxx，根據(jù)市場情況，預(yù)計年產(chǎn)值 298947.46 萬元。

（四）項目投資估算

項目預(yù)計總投資 106673.15 萬元，其中：固定資產(chǎn)投資 86215.74萬元，流動資金 20457.41 萬元

（五）投資效益分析

項目計劃年產(chǎn)值收入 298947.46 萬元，凈利潤 22437.69 萬元，綜合納稅 11923.23 萬元，財務(wù)內(nèi)部收益率 21.65%，全部投資回收期6.08 年。

（六）項目建設(shè)期限和進度

項目建設(shè)期限規(guī)劃 27 個月。

該項目采取分期建設(shè)，目前項目實際完成投資 70404.28 萬元。

（七）主要建設(shè)內(nèi)容和規(guī)模

項目總用地面積 146666.52平方米（折合約 220.00 畝），符合規(guī)劃建設(shè)要求。項目總建筑面積 114466.55平方米。

—— 重點項目：x xxx 有限公司 x xx 項目

一、項目建設(shè)單位

（一）建設(shè)單位

xxx 有限公司

（二）公司基本情況

公司不斷建設(shè)和完善企業(yè)信息化服務(wù)平臺，實施“互聯(lián)網(wǎng)+”企業(yè)專項行動，推廣適合企業(yè)需求的信息化產(chǎn)品和服務(wù)，促進互聯(lián)網(wǎng)和信息技術(shù)在企業(yè)經(jīng)營管理各個環(huán)節(jié)中的應(yīng)用，業(yè)通過信息化提高效率和效益。搭建信息化服務(wù)平臺，培育產(chǎn)業(yè)鏈，打造創(chuàng)新鏈，提升價值鏈，促進帶動產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)協(xié)同發(fā)展。

未來，在保持健康、穩(wěn)定、快速、持續(xù)發(fā)展的同時，公司以“和諧發(fā)展”為目標，踐行社會責任，秉承“責任、公平、開放、求實”的企業(yè)責任，服務(wù)全國。

公司堅持提升企業(yè)素質(zhì)，即“企業(yè)管理水平進一步提高，人力資源結(jié)構(gòu)進一步優(yōu)化，人員素質(zhì)進一步提升，安全生產(chǎn)意識和社會責任意識進一步增強，誠信經(jīng)營水平進一步提高”，培育一批具有工匠精神的高素質(zhì)企業(yè)員工，企業(yè)品牌影響力不斷提升。

二、機遇與挑戰(zhàn)

當前時期我國仍處于可以大有作為的重要戰(zhàn)略機遇期，但戰(zhàn)略機遇期內(nèi)涵發(fā)生深刻變化，我省發(fā)展也同樣面臨著有利條件和困難風險挑戰(zhàn)。

從有利因素看，國家實施“一帶一路”戰(zhàn)略，拓展了對外合作新空間。

從不利因素看，國際金融危機深層次影響繼續(xù)存在，新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革蓄勢待發(fā)，面臨的競爭更加激烈；國際市場需求不足，對我省重點行業(yè)發(fā)展形成約束傳導(dǎo)。國內(nèi)對部分行業(yè)產(chǎn)能過剩的治理以及投資增長放緩，直接或間接影響一些行業(yè)發(fā)展，也對擴大投資產(chǎn)生影響。

聚焦重點領(lǐng)域，堅持高端化、集聚化、特色化，重點打造新一代信息技術(shù)、新能源及節(jié)能環(huán)保、高端裝備制造、生物醫(yī)藥及醫(yī)療裝備、汽車及新能源汽車、家用電器、安全食品加工、文化和旅游等主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，形成一批具有全球競爭優(yōu)勢的產(chǎn)業(yè)集群，基本形成以戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)為引領(lǐng)、先進制造業(yè)為主體、現(xiàn)代服務(wù)業(yè)為支撐、現(xiàn)代農(nóng)業(yè)為基礎(chǔ)的現(xiàn)代高效產(chǎn)業(yè)體系。

（一）發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)

按照“龍頭企業(yè)—大項目—產(chǎn)業(yè)鏈—產(chǎn)業(yè)集群—產(chǎn)業(yè)基地”的發(fā)展思路，以戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展基地為突破口，引導(dǎo)人才、技術(shù)、資本、土地等資源要素向戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集聚，努力將戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)打造成為推動產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級的新引擎。

（二）改造提升傳統(tǒng)優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)

落實“中國制造 2025”和“互聯(lián)網(wǎng)+”行動計劃，加快傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)新興化，通過技術(shù)工藝創(chuàng)新、信息技術(shù)融合和商業(yè)模式創(chuàng)新，深入實施“機器換人”行動計劃、工業(yè)“強基”工程和質(zhì)量品牌提升行動，支持企業(yè)瞄準國內(nèi)外標桿企業(yè)推進技術(shù)改造，推動生產(chǎn)方式向柔性、智能、精細轉(zhuǎn)變，加快工業(yè)化和信息化融合。

（三）提速發(fā)展現(xiàn)代服務(wù)業(yè)

以建設(shè)服務(wù)業(yè)集聚區(qū)為突破口，推動生產(chǎn)性服務(wù)業(yè)專業(yè)化和高端化發(fā)展、生活性服務(wù)業(yè)精細化和優(yōu)質(zhì)化發(fā)展、高技術(shù)服務(wù)業(yè)集聚化和集群化發(fā)展，全面推動服務(wù)業(yè)發(fā)展提速、比重提高、水平提升。

（四）優(yōu)化發(fā)展現(xiàn)代農(nóng)業(yè)

按照服務(wù)城市、改善生態(tài)、興業(yè)富民的要求，優(yōu)化農(nóng)業(yè)空間布局，加強農(nóng)田水利基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，推進單功能的傳統(tǒng)農(nóng)業(yè)向多功能的現(xiàn)代農(nóng)業(yè)轉(zhuǎn)型升級，著力打造具有鮮明地域特色的都市現(xiàn)代農(nóng)業(yè)體系。

三、項目概況

（一）項目名稱

xx 項目

（二）項目選址

xx 經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)

（三）項目用地規(guī)模

項目總用地面積 113333.22平方米（折合約 170.00 畝），項目建設(shè)遵循“合理和集約用地”的原則，科學設(shè)計、合理布局，符合規(guī)劃建設(shè)要求。

項目總建筑面積 114466.55平方米。

（四）項目總投資及資金構(gòu)成

項目預(yù)計總投資 62374.50 萬元，其中：固定資產(chǎn)投資 50452.67萬元，流動資金 11921.83 萬元

（五）資金籌措

該項目現(xiàn)階段投資均由企業(yè)自籌。

（六）項目預(yù)期經(jīng)濟效益規(guī)劃目標

項目預(yù)期達產(chǎn)年營業(yè)收入 178793.35 萬元，稅后凈利潤 14484.80萬元，達產(chǎn)年納稅總額 11893.00 萬元，財務(wù)內(nèi)部收益率 15.73%，全部投資回收期 4.79 年。

（七）進度規(guī)劃

本期工程項目建設(shè)期限規(guī)劃 13 個月。

第四篇：鈦靶材項目可行性研究報告

北京智博睿信息咨詢有限公司 004km.cn

鈦靶材項目

可 行 性 研 究 報 告

編制單位：北京智博睿信息咨詢有限公司

報告用途：發(fā)改委立項、申請資金、申請土地、銀行貸款、境內(nèi)外融資等 北京智博睿信息咨詢有限公司 004km.cn

本報告是針對行業(yè)投資可行性研究咨詢服務(wù)的專項研究報告，此報告為個性化定制服務(wù)報告，我們將根據(jù)不同類型及不同行業(yè)的項目提出的具體要求，修訂報告目錄，并在此目錄的基礎(chǔ)上重新完善行業(yè)數(shù)據(jù)及分析內(nèi)容，為企業(yè)項目立項、上馬、融資提供全程指引服務(wù)。

可行性研究報告是在制定某一建設(shè)或科研項目之前，對該項目實施的可能性、有效性、技術(shù)方案及技術(shù)政策進行具體、深入、細致的技術(shù)論證和經(jīng)濟評價，以求確定一個在技術(shù)上合理、經(jīng)濟上合算的最優(yōu)方案和最佳時機而寫的書面報告。

可行性研究報告主要內(nèi)容是要求以全面、系統(tǒng)的分析為主要方法，經(jīng)濟效益為核心，圍繞影響項目的各種因素，運用大量的數(shù)據(jù)資料論證擬建項目是否可行。對整個可行性研究提出綜合分析評價，指出優(yōu)缺點和建議。為了結(jié)論的需要往往還需要加上一些附件，如試驗數(shù)據(jù)、論證材料、計算圖表、附圖等，以增強可行性報告的說服力。

可行性研究是確定建設(shè)項目前具有決定性意義的工作，是在投資決策之前，對擬建項目進行全面技術(shù)經(jīng)濟分析論證的科學方法，在投資管理中，可行性研究是指對擬建項目有關(guān)的自然、社會、經(jīng)濟、技術(shù)等進行調(diào)研、分析比較以及預(yù)測建成后的社會經(jīng)濟效益。在此基礎(chǔ)上，綜合論證項目建設(shè)的必要性，財務(wù)的盈利性，經(jīng)濟上的合理性，技術(shù)上的先進性和適應(yīng)性以及建設(shè)條件的可能性和可行性，從而為投資決策提供科學依據(jù)。

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投資可行性報告咨詢服務(wù)分為政府審批核準用可行性研究報告和融資用可行性研究報告。審批核準用的可行性研究報告?zhèn)戎仃P(guān)注項目的社會經(jīng)濟效益和響；融資用報告?zhèn)戎仃P(guān)注項目在經(jīng)濟上是否可行。具體概括為：政府立項審批，產(chǎn)業(yè)扶持，銀行貸款，融資投資、投資建設(shè)、境外投資、上市融資、中外合作，股份合作、組建公司、征用土地、申請高新技術(shù)企業(yè)等各類可行性報告。

報告通過對項目的市場需求、資源供應(yīng)、建設(shè)規(guī)模、工藝路線、設(shè)備選型、環(huán)境影響、資金籌措、盈利能力等方面的研究調(diào)查，在行業(yè)專家研究經(jīng)驗的基礎(chǔ)上對項目經(jīng)濟效益及社會效益進行科學預(yù)測，從而為客戶提供全面的、客觀的、可靠的項目投資價值評估及項目建設(shè)進程等咨詢意見。

另：提供國家發(fā)改委甲、乙、丙級工程咨詢資質(zhì) 北京智博睿信息咨詢有限公司

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可行性研究報告大綱（具體可根據(jù)客戶要求進行調(diào)整）第一章 鈦靶材項目總論

1.1鈦靶材項目概況

1.1.1鈦靶材項目名稱

1.1.2鈦靶材項目建設(shè)單位 1.1.3鈦靶材項目擬建設(shè)地點

1.1.4鈦靶材項目建設(shè)內(nèi)容與規(guī)模

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1.1.5鈦靶材項目性質(zhì)

1.1.6鈦靶材項目總投資及資金籌措

1.1.7鈦靶材項目建設(shè)期

1.2鈦靶材項目編制依據(jù)和原則

1.2.1鈦靶材項目編輯依據(jù) 1.2.2鈦靶材項目編制原則 1.3鈦靶材項目主要技術(shù)經(jīng)濟指標 1.4鈦靶材項目可行性研究結(jié)論

第二章 鈦靶材項目背景及必要性分析

2.1鈦靶材項目背景

2.1.1鈦靶材項目產(chǎn)品背景 2.1.2鈦靶材項目提出理由 2.2鈦靶材項目必要性

2.2.1鈦靶材項目是國家戰(zhàn)略意義的需要

2.2.2鈦靶材項目是企業(yè)獲得可持續(xù)發(fā)展、增強市場競爭力的需要

2.2.3鈦靶材項目是當?shù)厝嗣衩撠氈赂缓驮黾泳蜆I(yè)的需要

第三章 鈦靶材項目市場分析與預(yù)測

3.1產(chǎn)品市場現(xiàn)狀

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3.3市場形勢分析預(yù)測

3.4行業(yè)未來發(fā)展前景分析

第四章 鈦靶材項目建設(shè)規(guī)模與產(chǎn)品方案 4.1鈦靶材項目建設(shè)規(guī)模

4.2鈦靶材項目產(chǎn)品方案

4.3鈦靶材項目設(shè)計產(chǎn)能及產(chǎn)值預(yù)測

第五章 鈦靶材項目選址及建設(shè)條件

5.1鈦靶材項目選址

5.1.1鈦靶材項目建設(shè)地點 5.1.2鈦靶材項目用地性質(zhì)及權(quán)屬 5.1.3土地現(xiàn)狀

5.1.4鈦靶材項目選址意見 5.2鈦靶材項目建設(shè)條件分析

5.2.1交通、能源供應(yīng)條件 5.2.2政策及用工條件

5.2.3施工條件

5.2.4公用設(shè)施條件 5.3原材料及燃動力供應(yīng)

5.3.1原材料

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5.3.2燃動力供應(yīng)

第六章 技術(shù)方案、設(shè)備方案與工程方案 6.1項目技術(shù)方案

6.1.1項目工藝設(shè)計原則

6.1.2生產(chǎn)工藝

6.2設(shè)備方案

6.2.1主要設(shè)備選型的原則 6.2.2主要生產(chǎn)設(shè)備 6.2.3設(shè)備配置方案 6.2.4設(shè)備采購方式 6.3工程方案

6.3.1工程設(shè)計原則

6.3.2鈦靶材項目主要建、構(gòu)筑物工程方案

6.3.3建筑功能布局 6.3.4建筑結(jié)構(gòu)

第七章 總圖運輸與公用輔助工程 7.1總圖布置

7.1.1總平面布置原則

7.1.2總平面布置

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7.1.3豎向布置

7.1.4規(guī)劃用地規(guī)模與建設(shè)指標

7.2給排水系統(tǒng)

7.2.1給水情況

7.2.2排水情況

7.3供電系統(tǒng) 7.4空調(diào)采暖

7.5通風采光系統(tǒng)

7.6總圖運輸

第八章 資源利用與節(jié)能措施

8.1資源利用分析

8.1.1土地資源利用分析

8.1.2水資源利用分析

8.1.3電能源利用分析

8.2能耗指標及分析 8.3節(jié)能措施分析

8.3.1土地資源節(jié)約措施

8.3.2水資源節(jié)約措施

8.3.3電能源節(jié)約措施

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第九章 生態(tài)與環(huán)境影響分析

9.1項目自然環(huán)境

9.1.1基本概況

9.1.2氣候特點

9.1.3礦產(chǎn)資源

9.2社會環(huán)境現(xiàn)狀

9.2.1行政劃區(qū)及人口構(gòu)成 9.2.2經(jīng)濟建設(shè)

9.3項目主要污染物及污染源分析 9.3.1施工期 9.3.2使用期

9.4擬采取的環(huán)境保護標準 9.4.1國家環(huán)保法律法規(guī)

9.4.2地方環(huán)保法律法規(guī)

9.4.3技術(shù)規(guī)范

9.5環(huán)境保護措施

9.5.1施工期污染減緩措施 9.5.2使用期污染減緩措施

9.5.3其它污染控制和環(huán)境管理措施

9.6環(huán)境影響結(jié)論

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第十章 鈦靶材項目勞動安全衛(wèi)生及消防 10.1勞動保護與安全衛(wèi)生

10.1.1安全防護 10.1.2勞動保護 10.1.3安全衛(wèi)生 10.2消防

10.2.1建筑防火設(shè)計依據(jù)

10.2.2總面積布置與建筑消防設(shè)計

10.2.3消防給水及滅火設(shè)備

10.2.4消防電氣 10.3地震安全

第十一章 組織機構(gòu)與人力資源配置

11.1組織機構(gòu)

11.1.1組織機構(gòu)設(shè)置因素分析 11.1.2項目組織管理模式

11.1.3組織機構(gòu)圖

11.2人員配置

11.2.1人力資源配置因素分析 11.2.2生產(chǎn)班制 11.2.3勞動定員

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表11-1勞動定員一覽表

11.2.4職工工資及福利成本分析

表11-2工資及福利估算表 11.3人員來源與培訓

第十二章 鈦靶材項目招投標方式及內(nèi)容

第十三章 鈦靶材項目實施進度方案

13.1鈦靶材項目工程總進度

13.2鈦靶材項目實施進度表

第十四章 投資估算與資金籌措

14.1投資估算依據(jù)

14.2鈦靶材項目總投資估算

表14-1鈦靶材項目總投資估算表單位：萬元

14.3建設(shè)投資估算

表14-2建設(shè)投資估算表單位：萬元

14.4基礎(chǔ)建設(shè)投資估算

表14-3基建總投資估算表單位：萬元

14.5設(shè)備投資估算

表14-4設(shè)備總投資估算單位：萬元

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14.6流動資金估算

表14-5計算期內(nèi)流動資金估算表單位：萬元

14.7資金籌措

14.8資產(chǎn)形成第十五章 財務(wù)分析

15.1基礎(chǔ)數(shù)據(jù)與參數(shù)選取

15.2營業(yè)收入、經(jīng)營稅金及附加估算

表15-1營業(yè)收入、營業(yè)稅金及附加估算表單位：萬元 15.3總成本費用估算

表15-2總成本費用估算表單位：萬元

15.4利潤、利潤分配及納稅總額預(yù)測

表15-3利潤、利潤分配及納稅總額估算表單位：萬元 15.5現(xiàn)金流量預(yù)測

表15-4現(xiàn)金流量表單位:萬元

15.6贏利能力分析

15.6.1動態(tài)盈利能力分析

16.6.2靜態(tài)盈利能力分析

15.7盈虧平衡分析

15.8財務(wù)評價

表15-5財務(wù)指標匯總表

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第十六章 鈦靶材項目風險分析

16.1風險影響因素

16.1.1可能面臨的風險因素

16.1.2主要風險因素識別

16.2風險影響程度及規(guī)避措施 16.2.1風險影響程度評價

16.2.2風險規(guī)避措施

第十七章 結(jié)論與建議 17.1鈦靶材項目結(jié)論

17.2鈦靶材項目建議

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第五篇：2013中國國際靶材產(chǎn)品及應(yīng)用技術(shù)展覽會11

2013第三屆上海國際靶材產(chǎn)品及真空鍍膜技術(shù)展覽會 時 間：2013年5月22-24日 地 點：上海光大會展中心(展館)

主辦單位： 支持單位：

中國表面工程協(xié)會 中國電子科技集團有限公司 中國科學協(xié)會電子工程分會 中國電子信息工業(yè)集團公司 中國電子學會電子材料分會 中國電子器材產(chǎn)業(yè)總公司

國際協(xié)辦： 中國能源學會光伏專業(yè)委員會 國際電子聯(lián)合會 歐洲光伏產(chǎn)業(yè)協(xié)會 全球半導(dǎo)體設(shè)備協(xié)會

日本半導(dǎo)體制造裝置協(xié)會 美國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(SIA)日本電子情報技術(shù)產(chǎn)業(yè)協(xié)會

展會背景

隨著中國經(jīng)濟的持續(xù)高速發(fā)展，靶材及真空鍍膜應(yīng)用半導(dǎo)體芯片制造、平板顯示器、太陽能、電池、微型元器件、玻璃鍍膜、裝飾材料功能鍍膜工業(yè)等各個行業(yè)。隨著材料表面技術(shù)的飛速發(fā)展,世界對靶材及鍍膜工業(yè)需求規(guī)模日益強盛。快速增長的市場,離不開高品質(zhì)的行業(yè)盛會推動行業(yè)的進一步發(fā)展,在得到相關(guān)主管部門和行業(yè)協(xié)會的大力支持下,第三屆上海國際真空鍍膜技術(shù)及靶材產(chǎn)品展覽會定于2013年5月22日至24日在上海光大會展中心舉行。屆時,組委會將邀請眾多國內(nèi)外靶材技術(shù)、產(chǎn)品、鍍膜設(shè)備、新材料等最新技術(shù)和產(chǎn)品將在會上展出。在展覽會期間,組委會還將組織一系列前瞻性、實用性、導(dǎo)向性的技術(shù)交流和新品發(fā)布等活動,為用戶、企業(yè)、研究機構(gòu)和貿(mào)易團體提供一個廣闊的交流平臺。大會組委會將以最高規(guī)格、最大規(guī)模、最完善的工作組織方案為您打造供需雙方最佳展示交流采購平臺,熱忱歡迎新老朋友踴躍報名參加。上屆回顧

上屆展會于2012年4月在上海光大會展中心成功舉辦，展覽面積將近1萬平方米，匯集了美國、日本、法國、英國、德國、意大利、瑞士、西班牙、芬蘭、瑞典、新加坡、韓國、澳大利亞、中國臺灣、香港及中國大陸的近三百家企業(yè),共有來自18個國家與地區(qū)8910人次蒞臨參觀。展會匯集全球領(lǐng)先的表面工程材料、設(shè)備與技術(shù)，展覽期間有中國表面工程協(xié)會主辦的“國際表面工程研討會，研討會報告嘉賓云集國內(nèi)外權(quán)威專家，他們介紹表面工程領(lǐng)域先進技術(shù)、行業(yè)現(xiàn)狀、發(fā)展趨勢和先進管理經(jīng)驗，引起了業(yè)界強烈反響，參會代表近500人。85%的參展企業(yè)及參會代表表示：見到了許多潛在用戶，又了解到了一些本行業(yè)先進產(chǎn)品及技術(shù)，還與同行進行了廣泛的交流，參加本次展覽及會議超出了預(yù)期效果。參展范圍

鍍膜材料：靶材產(chǎn)品、光學鍍膜材料、金屬膜料、陶瓷靶材、合金靶材、氧化物靶材、硼化物靶材、碳化物靶材、貴金屬靶材、稀有金屬靶材、鈦，鈮，鋯，鎳，鉭，鎢，鉬，鉿，鉻銀等單一金屬靶材、高純合金靶材、蒸發(fā)材料、濺射靶材、特種靶材等各類靶材。

鍍膜材料設(shè)備：冷等靜壓機，熱等靜壓機，高溫釬焊爐，燒結(jié)爐，中頻感應(yīng)爐，電子束區(qū)熔爐，電子束熔煉爐，大面靶材釬焊爐，高溫真空熱壓爐，軋機等 鍍膜設(shè)備：真空離子鍍膜機、真空蒸發(fā)鍍膜機、真空鍍膜機、磁控濺射鍍膜機、光學鍍膜機、光纖鍍膜、CVD設(shè)備、MOCVD設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、玻璃鍍膜設(shè)備、蒸鍍設(shè)備、離子束沉積設(shè)備、電子槍、離子源、蒸發(fā)沉積掩膜、晶振片、鍍膜夾具、配件、儀器、鍍膜測試與監(jiān)控設(shè)備、膜厚監(jiān)測儀、鍍膜牢固度測試器等；PVD涂層、TiN涂層、TiC涂層、TiCN涂層、ZrN涂層、CrN涂層、MoS2涂層、TiAlN涂層、TiAlCN涂層、TiN-AlN涂層、CNx涂層、DLC涂層、ta－C涂層等多元復(fù)合涂層；

收費標準：（雙面開口展位加收原展位費的20%）

1．標準展位9m2（3m×3m）配置：展出場地、三面展板（2.5m高）、楣牌制作、一張洽談桌、二把椅子、九平方地毯、220V電源插座一個、二支射燈、保安、清潔服務(wù)；

2．光地（36m2起租）配置： 展出場地、保安、清潔服務(wù)；

3．國內(nèi)企業(yè)：13800元/個展臺/展期 光地1400元/平方米/展期 4.國外企業(yè)USD3000/展臺/展期 光地USD300/平方米/展期 ◆會刊：

1．為配合展商在展覽期間宣傳及讓客戶了解展商并在會后能與之溝通聯(lián)系，組委會將精心編制大會會刊，會刊除向現(xiàn)場參觀的專業(yè)人士派發(fā)外，還向行業(yè)主管部門、代理商、銷售商、用戶單位、協(xié)（學）會等單位寄發(fā)，企業(yè)可根據(jù)具體情況認登會刊版面。

2.會刊版面收費： 封 面25000元 封 一 15000元 彩 頁6000元

封 底20000元 封 二 10000元 黑 白3000元 ◆其它廣告：

1．參觀券：規(guī)格85mm×195mm，收費18000元/萬張，三萬張起印。2．觀眾入場證件廣告40000元/1萬個,共3萬個。3．充氣拱門：20000元/展期，放置在展廳主入口處。4．黃金贊助12萬元、鉑金贊助16萬元、詳細資料備索?！魠⒄固崾荆?/p>

1．索取參展報名表認真填寫《參展申請及合約》表并加蓋章傳真至組委會。2．展位順序分配原則：“先申請，先付款，先安排”。

3．參展商申請展位后在5個工作日內(nèi)將展位費用50%或全款電匯至大會指定的帳號，余款在2013年5月1日前付清, 款匯后回單傳真至組委會以便核查。

4．如因不可抗力因素或不以主辦方主觀意志為轉(zhuǎn)移的因素：如重大流行疫情或與政府舉辦的重大活動有沖突及其它原因, 延期舉辦此次展覽會 ,則主辦方有權(quán)要求參展方繼續(xù)參展，并且不承擔退還乙方己付參展費用的責任。5．為了保證大會整體形象，組委會保留調(diào)整部分參展商展位的最終權(quán)力。

◆展覽聯(lián)系: 上海斌博展覽策劃有限公司

地 址：上海市浦東新區(qū)德平路58弄9號601 郵 箱:jiangshengya2012@163.com 郵 編：200136

電 話：+86-21-36513753 手 機：*** 傳 真：+86-21-33275182 聯(lián)系人：姜 楠