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      EDX分析流程

      2022-03-29 17:20:00下載本文作者:會(huì)員上傳
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      開始

      儀器啟動(dòng)

      參照第2.1項(xiàng)

      標(biāo)準(zhǔn)樣品的定量分析

      參照第5.3項(xiàng)

      誤差(標(biāo)準(zhǔn)值-測(cè)量值)在允許范圍內(nèi)?★

      No

      Yes

      使用標(biāo)準(zhǔn)化樣品進(jìn)行強(qiáng)度標(biāo)準(zhǔn)化

      參照第5.4項(xiàng)

      再定量分析標(biāo)準(zhǔn)化樣品

      參照第5.3項(xiàng)

      誤差(標(biāo)準(zhǔn)值-測(cè)量值)在允許范圍內(nèi)?★

      No

      Yes

      重新制作檢量線曲線

      參照第3項(xiàng)?或者第4項(xiàng)

      重新登記標(biāo)準(zhǔn)化樣品及其強(qiáng)度

      參照第5.1項(xiàng)?第5.2項(xiàng)

      未知樣品為PVC?◆

      Yes

      No

      用PVC檢量線方法測(cè)定

      用PE檢量線方法測(cè)定

      未知樣品進(jìn)行定量分析

      參照第2.3項(xiàng)

      測(cè)量值在允許范圍外●

      Yes

      No

      未知樣品再進(jìn)行定量分析

      參照第2.3項(xiàng)

      測(cè)量值在允許范圍外●

      Yes           No

      將未知樣品進(jìn)行定性(FP)定量分析

      參照第6.3項(xiàng)

      儀器停止

      參照第2.2項(xiàng)

      結(jié)束

      圖1.1 操作順序

      1.設(shè)備啟動(dòng)

      1.1 儀器主機(jī)及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的啟動(dòng)

      ▼啟動(dòng)儀器的右側(cè)面板下部的儀器主機(jī)電源后,啟動(dòng)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。

      ★儀器主機(jī)及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的啟動(dòng)順序不要顛倒,如果顛倒會(huì)出現(xiàn)儀器主機(jī)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)連接故障。

      儀器主機(jī)的電源開關(guān)

      圖.1.1

      1.2 『儀器監(jiān)視畫面。

      ▼『EDX內(nèi)部情況監(jiān)視』畫面

      ①「儀器監(jiān)視」

      以圖形顯示儀器內(nèi)部的情況。

      ▼『儀器監(jiān)視』畫面

      ②「顯示變更」

      以數(shù)據(jù)化的畫面顯示儀器內(nèi)部的情況。

      ★圖1.3右側(cè)的小圖是「儀器監(jiān)視」的「顯示變更」圖。

      圖1.2

      1.3 儀器主機(jī)的初始化。

      ▼啟動(dòng)『EDX主菜單』畫面

      ①打開「維護(hù)」窗口

      ▼『維護(hù)』畫面

      ②「儀器初始化」

      執(zhí)行儀器初始化。

      ★在執(zhí)行儀器初始化的期間,儀器的內(nèi)部會(huì)出現(xiàn)輕微的聲音。

      『儀器監(jiān)視』畫面

      圖1.3

      1.4

      啟動(dòng)X射線發(fā)生器。

      ▼『維護(hù)』畫面

      ①「儀器啟動(dòng)/停止」

      點(diǎn)擊它,打開畫面。

      ▼『儀器啟動(dòng)/停止』畫面

      「啟動(dòng)」執(zhí)行框

      ②「予約」:「No」

      ③「檢出器高壓」:「ON」

      ④「X射線」:「15」kV、「100」mA

      ⑤「啟動(dòng)執(zhí)行」

      儀器的射線管和檢出器啟動(dòng)。

      ▼『儀器啟動(dòng)/停止』畫面由灰暗變成明亮后,點(diǎn)擊右上角。

      ⑥「×」

      『儀器啟動(dòng)/停止』窗口關(guān)閉。

      ★圖1.8是儀器的正面圖,X-RAY燈亮。儀器的左面四個(gè)燈全部亮。

      圖1.4

      1.5 注入液氮(EDX-700HS/800HS機(jī)種)。

      ▼打開儀器的上蓋,從注入口注入液氮。

      ▼容量3L,1日消耗1L,可連續(xù)使用3天。

      ★EDX-900HS不使用液氮。

      液氮注入口

      圖1.5

      1.6 大約30分鐘待機(jī)。

      ▼儀器主機(jī)、X射線管的穩(wěn)定,檢測(cè)器的冷卻等等需要大約30分鐘。

      ▼大約30分鐘后,『儀器監(jiān)視』畫面中

      ①「檢測(cè)器溫度」:「OK」

      分析前一定要確認(rèn)這項(xiàng)。

      ▼「NG」表示溫度未達(dá)到,「OK」表示溫度已經(jīng)達(dá)到。

      圖1.6

      1.7 儀器的能量、半峰寬校正(1/3)。

      ▼用隨機(jī)帶的A750(AL合金)進(jìn)行能量、半峰寬校正。

      圖1.7

      1.8 儀器的能量、半峰寬校正(2/3)。

      ▼將校正試樣A750(AL合金)放在分析孔上。

      校正用試樣

      「X-RAY」

      表示燈

      圖1.8

      1.9 儀器的能量、半峰寬校正(3/3)。

      ▼『維護(hù)』畫面中

      ①「儀器校正」

      點(diǎn)擊它,打開它。

      ▼『儀器校正』畫面中

      ②「能量、半峰寬校正」:「YES」

      ③「強(qiáng)度校正」:NO」

      ④「開始」

      執(zhí)行校正。

      ▼試樣室的蓋門自動(dòng)關(guān)閉,校正開始。

      ▼大約15分鐘后,試樣室的蓋門自動(dòng)打開,校正結(jié)束。

      ⑤「關(guān)閉」

      退出此畫面。

      ▼『維護(hù)畫面右上

      ⑥「×」

      點(diǎn)擊它,此畫面關(guān)閉。

      ★取出校正試樣,全部的準(zhǔn)備工作完畢。

      ④v

      圖1.9

      2 儀器停止

      2.1?。厣渚€停止的步驟。

      ▼『EDX主菜單』窗口中

      ①「維護(hù)」

      打開它。

      ▼『維護(hù)』窗口中

      ②『儀器啟動(dòng)/停止』

      打開它。

      ▼『儀器啟動(dòng)/停止』畫面中

      「停止」對(duì)話框

      ③「X射線」:「X射線更改為OFF」

      ④「檢測(cè)器高壓」:「OFF」

      ⑤「停止執(zhí)行」

      執(zhí)行X射線的停止。

      ▼『儀器啟動(dòng)/停止』畫面由灰暗變成明亮后,⑥「×」

      點(diǎn)擊它,關(guān)閉此畫面。

      圖2.1

      2.2 大約20分鐘的待機(jī)

      ▼X射線管的冷卻需要大約10分鐘。

      2.3 儀器主機(jī),數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的關(guān)閉

      ▼關(guān)閉儀器的右側(cè)面板下部的電源開關(guān)后,關(guān)閉數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。

      儀器主機(jī)的電源開關(guān)

      圖2.3

      3 試樣測(cè)定

      3.1試樣測(cè)定位置。

      ▼試樣分析室如圖,其內(nèi)有一個(gè)直徑為12mm的分析測(cè)量孔。

      測(cè)定位置

      圖3.1

      3.2 測(cè)定位置に試料を固定する。

      ▼測(cè)定位置を塞ぐ様に、試料を置いて下さい。不安定なら、試料を粘著テープで固定して下さい。

      ▼試料室には、試料と固定用器具以外は置かないで下さい。

      ▼樣品不能外延到樣品倉(cāng)的外面。

      分析試樣

      圖3.2

      2.3.3

      CCD對(duì)樣品的確認(rèn)。

      ▼固定好樣品后,用CCD進(jìn)行樣品位置的確認(rèn)。

      ▼CCD窗口可以觀察樣品的安放位置。

      圖.3.3

      2.3.4 微小的樣品放在樣品盒內(nèi)分析。

      ▼由于測(cè)定孔是固定的,所以對(duì)于微小的樣品要使用樣品盒。樣品盒見圖。

      ▼邁拉膜、固定環(huán)、樣品盒主體組成樣品盒。其中邁拉膜要使用島津公司5μm或6μm的。

      樣品盒組件

      圖3.4

      2.3.5 軟件終止分析。

      ▼在『分析』畫面、①「STOP」

      點(diǎn)擊它。

      ▼分析終止,樣品倉(cāng)蓋自動(dòng)生起。

      圖.3.5

      2.3.6 在儀器本體上終止分析。

      ▼在儀器本體前操作面板最右面紅色的按鍵

      ①「STOP」

      按壓此鍵,分析終止,樣品倉(cāng)蓋自動(dòng)生起。

      圖.3.6

      4 標(biāo)準(zhǔn)樣品的保管及使用

      2.4.1 標(biāo)準(zhǔn)樣品的保管及使用。

      ▼標(biāo)準(zhǔn)樣品是保管在樹脂盒內(nèi)。標(biāo)準(zhǔn)樣品的兩個(gè)分析面都用保護(hù)膜粘貼。

      ▼應(yīng)在避免高溫,潮濕的環(huán)境下保管。

      ▼標(biāo)準(zhǔn)樣品在測(cè)量和保管及取用時(shí)不要污染測(cè)量面。

      ▼Cd、Pb用PVC、Cd、Pb用PEの4種類が市販されています。さらにHg、Cr用もあります。

      ★PVC:ポリ塩化ビニル、PE:ポリエチレン

      圖4.1

      5 未知試料の取り扱い

      2.5.1 厚板樣品的測(cè)量。

      ▼最理想的樣品是直徑15mm,厚3mm平滑的樣品。

      圖5.1

      2.5.2 薄板は重ねる。

      ▼直徑15mm以上、平滑、厚度2mm以下的樣品稱為薄板樣品。

      ▼少なくとも厚さ1mm以上、できれば3mm以上に重ねて下さい。粘著テープで固定しても問題ありません。

      圖5.2

      2.5.3 線材は縦方向に並べる。

      ▼線材は芯線を抜いて、粘著テープで固定します。

      ▼裝置に対し、縦方向になる様、測(cè)定面に固定して下さい(影を作らない様にするためです)。

      圖5.3

      2.5.4 小顆粒樣品可以裝在樣品盒內(nèi)測(cè)量。

      ▼在樣品盒內(nèi)裝入厚達(dá)5mm以上的樣品及可測(cè)量。

      圖5.4

      2.5.5?。眰€(gè)、或いは數(shù)個(gè)のペレット、チップ

      は測(cè)定位置の中央に置く。

      ▼測(cè)定位置の中央に試料が來る様に、CCDカメラで位置を確認(rèn)して下さい。

      ★強(qiáng)度を稼ぐのが目的です。

      圖5.5

      2.5.6 フィルム、紙、スポンジなどは糸や粘

      著テープで束ねる。

      ▼強(qiáng)く圧縮し、束ねて下さい。少なくとも1mm以上、できれば3mm以上にします。

      圖5.6

      2.5.7 複合材は分解し、材料ごとに分析す

      る。

      ▼そのまま分析すると、外側(cè)の材料の成分は高め、內(nèi)側(cè)の成分は低めに表示されます。

      圖.5.7

      2.5.8 粉末は試料容器に入れる。

      ▼深さ5mm以上、入れて下さい。

      ▼粉末がこぼれない様に蓋をして、試料名も記入します(測(cè)定面を間違えない様にするためです)。

      ★真空雰囲気下で測(cè)定する場(chǎng)合、容器內(nèi)部の空気抜きのため、針で蓋に小さな穴を開けて下さい。

      圖5.8

      2.5.9 液體も試料容器に入れる。

      ▼深さ5mm以上、入れて下さい。

      ▼液體がこぼれない様に蓋をして、試料名も記入します(測(cè)定面を間違えない様にするためです)。

      ★液體を真空雰囲気下で測(cè)定しない様、測(cè)定時(shí)は液體試料アダプタ(Al製)を併せてご使用下さい。

      ★アダプタを測(cè)定面に固定すると、裝置の「LIQUID

      MODE」が點(diǎn)燈します。

      圖.5.9(1/3)

      液體試料アダプタ

      圖.5.9(2/3)

      「LIQUID

      MODE」

      表示燈

      液體試料

      圖.5.9(3/3)

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