第一篇：關(guān)于申請(qǐng)放射線監(jiān)測(cè)的報(bào)告

關(guān)于申請(qǐng)放射線監(jiān)測(cè)的報(bào)告

XX縣衛(wèi)生監(jiān)督局：

我院放射科搬遷至綜合樓一樓，新購(gòu)置安裝HF52-2型醫(yī)用診斷X射線機(jī)一臺(tái)，為防止放射線污染環(huán)境，為了廣大人民群眾的身心健康，特申請(qǐng)放射線監(jiān)測(cè)。謝謝！

XX縣XX醫(yī)院

2012年12月12日

第二篇：比對(duì)監(jiān)測(cè)申請(qǐng)

在線監(jiān)測(cè)儀器比對(duì)監(jiān)測(cè)申請(qǐng)

沛縣環(huán)境監(jiān)測(cè)站：

根據(jù)集團(tuán)公司上市辦要求，我礦于2014年7月在礦井水排放口安裝了COD在線分析儀、明渠流量計(jì)和數(shù)采儀，現(xiàn)已經(jīng)穩(wěn)定運(yùn)行30日以上，特申請(qǐng)對(duì)我礦在線監(jiān)測(cè)儀器監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行比對(duì)監(jiān)測(cè)。

2014年9月25日

第三篇：關(guān)于院感監(jiān)測(cè)收費(fèi)的申請(qǐng)

關(guān)于院感監(jiān)測(cè)收費(fèi)的申請(qǐng)

尊敬的醫(yī)院領(lǐng)導(dǎo)：

在解放軍第44醫(yī)院老師的指導(dǎo)下，檢驗(yàn)科已能完成醫(yī)院感染的常規(guī)監(jiān)測(cè)工作，按照院感科的工作計(jì)劃，各臨床科室近期將進(jìn)行空氣培養(yǎng)、物體表面培養(yǎng)、醫(yī)務(wù)人員洗手等方面的監(jiān)測(cè)。目前監(jiān)測(cè)工作主要由檢驗(yàn)科完成，試劑成本及人員均由科室承擔(dān)，結(jié)合其他醫(yī)院的情況，特?cái)M出下面兩種方案，現(xiàn)交由院領(lǐng)導(dǎo)審批。

1.監(jiān)測(cè)所需試劑等成本費(fèi)用是由醫(yī)院統(tǒng)一支付還是由各臨床科室支付？如果由醫(yī)院統(tǒng)一支付，則檢驗(yàn)科監(jiān)測(cè)工作所購(gòu)買(mǎi)的試劑等成本應(yīng)由醫(yī)院支付，另再發(fā)放1人當(dāng)月醫(yī)院平均獎(jiǎng)，可否？ 2.如監(jiān)測(cè)費(fèi)用由各臨床科室自己支付，則檢驗(yàn)科按各科室實(shí)際監(jiān)測(cè)費(fèi)用進(jìn)行收費(fèi)，參照金域檢驗(yàn)的收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)，按30元/平板進(jìn)行計(jì)算。

檢驗(yàn)科： 2014-6-12

第四篇：全國(guó)草原監(jiān)測(cè)報(bào)告

全國(guó)草原監(jiān)測(cè)報(bào)告

2007 中華人民共和國(guó)農(nóng)業(yè)部

編制說(shuō)明

草原監(jiān)測(cè)是開(kāi)展草原保護(hù)、建設(shè)和合理利用的重要基礎(chǔ)性工作。2007年，全國(guó)草原監(jiān)測(cè)采取地面監(jiān)測(cè)與遙感、地理信息系統(tǒng)相結(jié)合的方法，重點(diǎn)監(jiān)測(cè)了草原生產(chǎn)力、植被狀況、生態(tài)狀況、利用狀況、災(zāi)害狀況和保護(hù)建設(shè)工程效益等。地面監(jiān)測(cè)主要在河北、山西、內(nèi)蒙古、遼寧、吉林、黑龍江、山東、河南、湖北、廣西、重慶、四川、云南、貴州、西藏、陜西、甘肅、青海、寧夏、新疆等20個(gè)省（區(qū)、市）開(kāi)展。全國(guó)有4000多人參加了今年的地面監(jiān)測(cè)工作，調(diào)查總行程超過(guò)25萬(wàn)公里，共采集樣方近9000個(gè)，入戶(hù)調(diào)查5000余戶(hù)。運(yùn)用MODIS影像植被指數(shù)與地面監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的相關(guān)性建立草原生產(chǎn)力計(jì)算模型，測(cè)算全國(guó)草原生產(chǎn)力；依據(jù)《天然草地合理載畜量的計(jì)算》（農(nóng)業(yè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：NY/T635-2002），計(jì)算天然草原載畜能力。

本監(jiān)測(cè)工作由農(nóng)業(yè)部畜牧業(yè)司負(fù)責(zé)，農(nóng)業(yè)部草原監(jiān)理中心具體組織、協(xié)調(diào)和指導(dǎo)，全國(guó)畜牧總站承擔(dān)了草原監(jiān)測(cè)的技術(shù)支持與服務(wù)工作。農(nóng)業(yè)部遙感應(yīng)用中心、中國(guó)農(nóng)科院區(qū)劃所、國(guó)家氣象中心承擔(dān)了草原利用狀況分析、牧草長(zhǎng)勢(shì)監(jiān)測(cè)和氣象條件分析等工作。有關(guān)省（區(qū)、市）草原監(jiān)測(cè)機(jī)構(gòu)承擔(dān)了本?。▍^(qū)、市）的地面監(jiān)測(cè)工作。農(nóng)業(yè)部發(fā)展計(jì)劃司、財(cái)務(wù)司對(duì)本監(jiān)測(cè)給予了大力支持。

草原監(jiān)測(cè)結(jié)果概要

草原植被生長(zhǎng)屬偏好年份與常年相比，2007年全國(guó)草原植被總體長(zhǎng)勢(shì)屬偏好年份。全國(guó)天然草原鮮草總產(chǎn)量為95214萬(wàn)噸，折合干草約29865萬(wàn)噸，載畜能力約23369萬(wàn)羊單位。

草原保護(hù)建設(shè)工程效果顯著草原保護(hù)建設(shè)工程區(qū)植被恢復(fù)明顯，與非工程區(qū)相比，工程區(qū)內(nèi)植被蓋度平均提高16個(gè)百分點(diǎn)，植被高度提高51%，產(chǎn)草量提高64%。其中，退牧還草工程區(qū)內(nèi)植被蓋度平均提高15個(gè)百分點(diǎn)，植被高度提高47%，產(chǎn)草量提高58%。

草原利用狀況有所改善全國(guó)重點(diǎn)天然草原的牲畜超載率為33%，較上年下降1個(gè)百分點(diǎn)。全國(guó)266個(gè)牧區(qū)、半農(nóng)半牧區(qū)縣（旗）中，牲畜超載率大于20%的有178個(gè)縣（旗）。

草原火災(zāi)明顯減少2007年，全國(guó)共發(fā)生草原火災(zāi)248起，受害草原面積11419.2公頃。與上年同期相比，草原火災(zāi)次數(shù)減少102起，受害草原面積減少76%。

草原鼠蟲(chóng)害面積增加草原鼠害危害面積3894萬(wàn)公頃，占草原可利用面積的11.8%，較上年增加3.9%。蟲(chóng)害危害面積1758萬(wàn)公頃，占草原可利用面積的5.3%，較上年增加4.5%。

草原生態(tài)狀況依然嚴(yán)峻草原生態(tài)建設(shè)工程區(qū)以及禁牧、休牧區(qū)草原生態(tài)環(huán)境明顯改善，但全國(guó)草原生態(tài)環(huán)境仍呈現(xiàn)總體惡化的態(tài)勢(shì)。局部區(qū)域由于受干旱、鼠蟲(chóng)災(zāi)害等因素影響，草原生態(tài)惡化進(jìn)一步加劇。

草原資源狀況

全國(guó)擁有各類(lèi)草原近4億公頃，約占國(guó)土面積的41.7%。草原在全國(guó)各?。▍^(qū)、市）均有分布。北京、天津、河北、山西、內(nèi)蒙古、遼寧、吉林、黑龍江、山東、河南、西藏、陜西、甘肅、青海、寧夏、新疆等北方16個(gè)?。▍^(qū)、市）有天然草原面積3.1億公頃，占全國(guó)草原面積的77.6%。其他15個(gè)南方?。▍^(qū)、市）有天然草原面積約7958萬(wàn)公頃，占全國(guó)草原面積的19.7%。西藏、內(nèi)蒙古、新疆、青海、四川、甘肅六大牧區(qū)草原面積2.9億公頃，占全國(guó)草原面積的75.1%。全國(guó)人工種草保留面積約1086萬(wàn)公頃，約占全國(guó)草原面積的2.7%。

全國(guó)草原共分18個(gè)類(lèi)，813個(gè)型。面積位于前3位的依次是高寒草甸類(lèi)、溫性荒漠類(lèi)和高寒草原類(lèi)，面積1.5億公頃，約占草原總面積的37.5%。其中，高寒草甸類(lèi)主要分布在四川、西藏、甘肅、青海、新疆等省（區(qū)）海拔較高的寒冷濕潤(rùn)地帶；溫性荒漠類(lèi)主要分布于內(nèi)蒙古、甘肅、青海、新疆等?。▍^(qū)）的極端干旱與嚴(yán)重缺水地區(qū)；高寒草原類(lèi)主要分布于西藏、青海、新疆等?。▍^(qū)）海拔較高的寒冷干旱地帶。

草原是重要的動(dòng)植物基因庫(kù)。我國(guó)天然草原上已知有飼用植物6704種，其中屬于我國(guó)草原特有的飼用植物有320種。天然草原上還分布著大量有經(jīng)濟(jì)、藥用等價(jià)值的植物資源，如甘草、麻黃草、冬蟲(chóng)夏草、雪蓮、蓯蓉等。天然草原上繁衍的野生動(dòng)物達(dá)2000多種，其中國(guó)家一級(jí)保護(hù)動(dòng)物達(dá)40余種，如藏羚羊、野牦牛、馬鹿、雪雞、雪豹等。天然草原有放牧和飼喂家畜品種250多種，主要有綿羊、山羊、黃牛、牦牛、馬、駱駝等。

草原植被生長(zhǎng)狀況

2007年牧草生長(zhǎng)季節(jié)全國(guó)大部分草原地區(qū)氣溫較常年同期偏高，降水量接近常年同期或偏多，全國(guó)草原植被總體長(zhǎng)勢(shì)略好于上年，屬偏好年份。

氣候狀況：全國(guó)大部分草原地區(qū)在5~9月生長(zhǎng)季節(jié)平均氣溫較常年同期氣溫偏高1℃以上，熱量充足，其中內(nèi)蒙古東部偏高2~3℃。全國(guó)大部分草原地區(qū)降水量接近常年同期或偏多，水分條件較為優(yōu)越，其中西部大部草原區(qū)水分條件明顯好于常年和上年。內(nèi)蒙古西部和甘肅西部、新疆北部和西南大部地區(qū)水熱條件匹配較好；內(nèi)蒙古中東部、東北地區(qū)西部雖氣溫偏高，但降水持續(xù)偏少，夏秋連旱時(shí)間長(zhǎng)。其他草原區(qū)水熱條件與常年大致相當(dāng)。

植被長(zhǎng)勢(shì)時(shí)空動(dòng)態(tài)：與上年同期相比，草原植被總體長(zhǎng)勢(shì)呈現(xiàn)出“前期較好，中期較差，后期轉(zhuǎn)好”的態(tài)勢(shì)。5月長(zhǎng)勢(shì)明顯好于上年，偏好的區(qū)域主要分布在內(nèi)蒙古中東部、華北北部、西南等地區(qū)；6月長(zhǎng)勢(shì)與上年接近；7月長(zhǎng)勢(shì)不如上年，長(zhǎng)勢(shì)變差的區(qū)域主要集中于內(nèi)蒙古中東部、新疆北部、青藏高原中東部等地區(qū)；8月以后長(zhǎng)勢(shì)逐漸好轉(zhuǎn)，至9月中旬長(zhǎng)勢(shì)好于上年，主要表現(xiàn)在東北東部、西北、華北和青藏高原北部等地區(qū)。

植被長(zhǎng)勢(shì)綜合評(píng)價(jià)：全國(guó)草原植被長(zhǎng)勢(shì)區(qū)域差異明顯。長(zhǎng)勢(shì)好于上年的區(qū)域主要分布在內(nèi)蒙古西部、甘肅大部、新疆西北部、西藏西部、四川西北部、華南局部等地區(qū)；長(zhǎng)勢(shì)差于上年的區(qū)域主要分布在黑龍江東部、華北北部、內(nèi)蒙古中東部，新疆南部和東北部以及青海西南部等地區(qū)；長(zhǎng)勢(shì)與上年接近的地區(qū)主要分布在西藏中東部、云貴高原、華中局部等地區(qū)。草原生產(chǎn)力

2007年全國(guó)天然草原鮮草總產(chǎn)量達(dá)95214萬(wàn)噸，折合干草約29865萬(wàn)噸，載畜能力約23369萬(wàn)羊單位。

產(chǎn)草量居前十位的?。▍^(qū)）分別是內(nèi)蒙古、新疆、四川、西藏、青海、云南、甘肅、廣西、黑龍江、湖北，其天然草原鮮草產(chǎn)量約66397萬(wàn)噸，占全國(guó)天然草原產(chǎn)草量的69.7%。

從區(qū)域看，北方16省（區(qū)、市）的平均單產(chǎn)為2232千克/公頃，鮮草總產(chǎn)量達(dá)58038萬(wàn)噸，占全國(guó)天然草原總產(chǎn)草量的61%。南方15省（區(qū)、市）的平均單產(chǎn)為5650千克/公頃，鮮草總產(chǎn)量達(dá)37176萬(wàn)噸，占全國(guó)天然草原總產(chǎn)草量的39%。西部12?。▍^(qū)、市）的平均單產(chǎn)為2522千克/公頃，鮮草總產(chǎn)量67021萬(wàn)噸，占全國(guó)天然草原總產(chǎn)草量的70.4%。全國(guó)六大牧區(qū)的平均單產(chǎn)為2078千克/公頃，鮮草總產(chǎn)量達(dá)50320萬(wàn)噸，占全國(guó)天然草原總產(chǎn)草量的52.8%。

與上年相比，產(chǎn)草量明顯提高的區(qū)域主要分布在內(nèi)蒙古西部、寧夏大部、甘肅東部、新疆西部和西藏西南部等地區(qū)；產(chǎn)草量明顯下降的區(qū)域主要分布在東北大部、內(nèi)蒙古東部和河北北部等地區(qū)。四川、西藏和新疆3?。▍^(qū)）的產(chǎn)草量相比上年略有增加，甘肅、河南、貴州、寧夏、重慶、云南等6省（區(qū)、市）的產(chǎn)草量較上年增產(chǎn)明顯，增產(chǎn)幅度超過(guò)10%；河北、湖北、遼寧、青海4省的產(chǎn)草量相比上年略有減少，陜西、黑龍江、內(nèi)蒙古、吉林、山西等5?。▍^(qū)）的產(chǎn)草量較上年減產(chǎn)明顯，減產(chǎn)幅度在10~30%。

從草原類(lèi)型看，18類(lèi)草原中，熱性草叢類(lèi)的鮮草單產(chǎn)最高，為10771千克/公頃，主要分布在云南、廣西、江西和四川等亞熱帶和熱帶地區(qū)；高寒荒漠草原類(lèi)的鮮草單產(chǎn)最低，為473千克/公頃，主要分布在西藏、新疆和甘肅等高寒干旱地區(qū)。單產(chǎn)超過(guò)全國(guó)草原平均單產(chǎn)的草原類(lèi)有9個(gè)，從低到高依次為：溫性草甸草原類(lèi)、低地草甸類(lèi)、沼澤類(lèi)、暖性草叢類(lèi)、山地草甸類(lèi)、暖性灌草叢類(lèi)、熱性灌草叢類(lèi)、干熱稀樹(shù)灌草叢類(lèi)、熱性草叢類(lèi)，其產(chǎn)量之和占全國(guó)草原總產(chǎn)量的59.4%。其他草原類(lèi)的單產(chǎn)均低于全國(guó)平均單產(chǎn)。

與上年相比，有5類(lèi)草原產(chǎn)草量的增加幅度在10%以上，分別為溫性荒漠類(lèi)、高寒草甸類(lèi)、高寒荒漠類(lèi)、高寒草甸草原類(lèi)和溫性荒漠草原類(lèi)，其產(chǎn)草量之和占全國(guó)總產(chǎn)量的24.1%；有4類(lèi)草原產(chǎn)草量的下降幅度超過(guò)10%，分別為溫性草甸草原類(lèi)、溫性草原類(lèi)、熱性灌草叢類(lèi)和沼澤類(lèi)，其產(chǎn)草量之和占全國(guó)總產(chǎn)量的27.1%；其他類(lèi)型草原產(chǎn)草量與上年接近。

草原保護(hù)建設(shè)工程效益

2007年，對(duì)國(guó)家近年來(lái)實(shí)施的退牧還草、京津風(fēng)沙源治理、天然草原植被恢復(fù)與建設(shè)、草原圍欄、巖溶地區(qū)草地治理試點(diǎn)工程等草原保護(hù)建設(shè)項(xiàng)目的工程效益進(jìn)行了監(jiān)測(cè)。

對(duì)內(nèi)蒙古、新疆、青海等14個(gè)?。▍^(qū)）244個(gè)各類(lèi)項(xiàng)目區(qū)監(jiān)測(cè)表明：草原生態(tài)建設(shè)工程效益顯著，與非工程區(qū)相比，工程區(qū)內(nèi)植被蓋度平均提高了16個(gè)百分點(diǎn)，植被高度提高51%，產(chǎn)草量提高64%。

退牧還草工程對(duì)內(nèi)蒙古、四川、云南、西藏、甘肅、青海、寧夏和新疆等8省（區(qū)）87個(gè)縣（旗）的退牧還草工程監(jiān)測(cè)結(jié)果表明：工程區(qū)內(nèi)植被蓋度平均提高了15個(gè)百分點(diǎn)，植被高度提高47%，產(chǎn)草量提高58%。

利用2007年、2000年遙感數(shù)據(jù)，對(duì)內(nèi)蒙古、新疆、四川和云南省等4省（區(qū)）16縣（旗）退牧還草工程實(shí)施前后的植被情況進(jìn)行對(duì)比分析，結(jié)果表明：與2000年未實(shí)施退牧還草工程時(shí)相比，工程區(qū)的植被平均蓋度提高9個(gè)百分點(diǎn)，產(chǎn)草量平均提高26%。

京津風(fēng)沙源草地治理工程對(duì)河北、山西和內(nèi)蒙古3省（區(qū)）9個(gè)京津風(fēng)沙源治理工程縣（旗、市）草原建設(shè)項(xiàng)目進(jìn)行的監(jiān)測(cè)表明：

植被恢復(fù)良好。與2000年未實(shí)施工程時(shí)相比，內(nèi)蒙古自治區(qū)3旗（市）、河北省3縣、山西省3縣（市）全境草原植被蓋度分別提高了6.3個(gè)、6.0個(gè)和5.6個(gè)百分點(diǎn)，產(chǎn)草量分別提高了12.6%、12.5%和11%。

嚴(yán)重沙化草地面積減少。京津風(fēng)沙源治理工程的實(shí)施在一定程度上遏制了嚴(yán)重沙化草地的擴(kuò)張。2007年內(nèi)蒙古自治區(qū)渾善達(dá)克沙地區(qū)域的嚴(yán)重沙化草地約為90360公頃，比2000年減少約20.1%。其中，阿巴嘎旗減少了18.8%，蘇尼特左旗減少了21.5%，錫林浩特市減少了24.2%。

通過(guò)工程建設(shè)，草原植被逐步恢復(fù)，生產(chǎn)力明顯提高，生物多樣性增加，生態(tài)、社會(huì)和經(jīng)濟(jì)效益日益顯現(xiàn)。

草原利用狀況

2007年各地繼續(xù)積極推進(jìn)草原利用方式的轉(zhuǎn)變，推行禁牧、休牧和劃區(qū)輪牧，加快人工草地建設(shè)和天然草原改良步伐，實(shí)施舍飼圈養(yǎng)，減輕天然草原放牧壓力，草畜平衡狀況有所改善，全國(guó)重點(diǎn)天然草原的牲畜超載率為33%左右，較上年下降1個(gè)百分點(diǎn)。

從六大牧區(qū)的情況看：內(nèi)蒙古、青海、甘肅、新疆、四川和西藏的牲畜超載率分別為20%、38%、38%、39%、39%、40%。

從牧區(qū)、半農(nóng)半牧區(qū)縣（旗）情況看：全國(guó)266個(gè)牧區(qū)、半農(nóng)半牧區(qū)縣（旗）中，牲畜超載率大于20%的有178個(gè)縣（旗）。

草原火災(zāi)

2007年全國(guó)草原火災(zāi)發(fā)生次數(shù)及受害草原面積比上年均大幅下降，處于歷史最低水平。全國(guó)共發(fā)生草原火災(zāi)248起，其中草原火警200起，一般草原火災(zāi)47起，重大草原火災(zāi)1起，無(wú)特大草原火災(zāi)。受害草原面積11419.2公頃。與上年同期相比，草原火災(zāi)次數(shù)減少102起，受害草原面積減少35974.8公頃，分別比上年減少了29%和76%。

火災(zāi)主要發(fā)生在河北、山西、內(nèi)蒙古、遼寧、吉林、黑龍江、四川、陜西、甘肅、青海、新疆、山東等12個(gè)省區(qū)和新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)?；馂?zāi)較為嚴(yán)重的是四川、黑龍江和吉林，受害面積分別為3379公頃、2800公頃和2443公頃，分別占全國(guó)受害草原面積的29.6%、24.5%和21.4%。

燒荒、吸煙、取暖做飯和上墳燒紙等是草原火災(zāi)發(fā)生的主要原因。與上年相比，因燒荒和吸煙引發(fā)草原火災(zāi)的比例上升，取暖做飯和上墳燒紙引發(fā)草原火災(zāi)的比例下降。

草原火災(zāi)發(fā)生趨勢(shì)呈現(xiàn)如下特點(diǎn)：一是全球氣候變暖，北方大部分草原地區(qū)春秋季干旱、大風(fēng)天氣增多，草原火險(xiǎn)等級(jí)不斷攀高；二是草原保護(hù)建設(shè)項(xiàng)目區(qū)和禁牧、休牧區(qū)草原植被恢復(fù)，地面枯落物增加，可燃物增多；三是草原地區(qū)旅游、開(kāi)礦等經(jīng)濟(jì)活動(dòng)日益增多，草原地區(qū)火源管理難度加大。

草原鼠蟲(chóng)害

草原鼠害危害面積比上年略有增加，嚴(yán)重危害面積略有下降。危害面積3894萬(wàn)公頃，比上年增加3.9%，其中嚴(yán)重危害面積1766萬(wàn)公頃，比上年減少14%。鼠害危害較嚴(yán)重的依次是青海、內(nèi)蒙古、甘肅、西藏、新疆、四川等6省（區(qū)），危害面積3363萬(wàn)公頃，其中嚴(yán)重危害面積1540萬(wàn)公頃，分別占全國(guó)鼠害危害面積和嚴(yán)重危害面積的86.4%和87.2%。危害嚴(yán)重的主要鼠種有鼠兔、沙鼠、鼢鼠、田鼠、黃鼠等。

草原蟲(chóng)害危害面積較上年略有上升。危害面積1758萬(wàn)公頃，其中嚴(yán)重危害面積795萬(wàn)公頃，分別比上年增加4.5%和9.4%。蟲(chóng)害較為嚴(yán)重的依次是內(nèi)蒙古、新疆、青海、甘肅、寧夏、四川等6?。▍^(qū)），危害面積1474萬(wàn)公頃，其中嚴(yán)重危害面積660萬(wàn)公頃，分別占全國(guó)蟲(chóng)害危害面積和嚴(yán)重危害面積的83.8%和83%。危害嚴(yán)重的主要是草原蝗蟲(chóng)、白茨夜蛾、草地螟和草原毛蟲(chóng)等。

今年西藏飛蝗危害面積14.3萬(wàn)公頃，危害區(qū)域主要集中在西藏自治區(qū)的阿里、昌都和林芝等地和四川省的甘孜和阿壩地區(qū)，是連續(xù)第五個(gè)嚴(yán)重發(fā)生年份，但與上年相比危害面積下降42.9%。根據(jù)分析測(cè)算，西藏飛蝗的適宜發(fā)生面積約113.7萬(wàn)公頃，主要分布在四川、西藏、青海3省（區(qū)）的噶爾藏布、獅泉河、象泉河、雅魯藏布江、怒江、瀾滄江、金沙江、雅礱江、大渡河流域。

草原生態(tài)狀況

通過(guò)草原保護(hù)工程建設(shè)以及禁休牧制度的逐步落實(shí)，部分地區(qū)草原生態(tài)狀況有所改善。但是，草原超載過(guò)牧依然嚴(yán)重，鼠蟲(chóng)災(zāi)害面積大，開(kāi)墾、亂征濫占、亂采濫挖等破壞草原生態(tài)的現(xiàn)象時(shí)有發(fā)生，草原生態(tài)環(huán)境“局部改善，總體惡化”的態(tài)勢(shì)沒(méi)有從根本上改變。東北三省西部、內(nèi)蒙古中東部、新疆南部、青海南部等地區(qū)草原干旱、鼠蟲(chóng)危害較重，草原退化、沙化進(jìn)一步加?。毁F州、云南和廣西等西南巖溶地區(qū)草原石漠化嚴(yán)重。

對(duì)策建議

2007年全國(guó)草原監(jiān)測(cè)結(jié)果表明，全國(guó)草原保護(hù)建設(shè)取得了初步成效，但全國(guó)草原生態(tài)形勢(shì)依然嚴(yán)峻，草原保護(hù)建設(shè)任務(wù)仍然繁重，必須繼續(xù)采取有力措施，加快草原建設(shè)步伐，推進(jìn)草原生態(tài)文明建設(shè)進(jìn)程，促進(jìn)牧區(qū)經(jīng)濟(jì)社會(huì)可持續(xù)發(fā)展?！⒉菰鷳B(tài)效益補(bǔ)償制度明確草原生態(tài)效益補(bǔ)償思路，確定補(bǔ)償主體、對(duì)象、內(nèi)容、范圍、標(biāo)準(zhǔn)和方式。多渠道籌集補(bǔ)償資金，增強(qiáng)草原生態(tài)功能。積極推進(jìn)草原生態(tài)補(bǔ)償項(xiàng)目試點(diǎn)。建立完善國(guó)家支持草原生態(tài)保護(hù)的長(zhǎng)效機(jī)制和有效模式。

———穩(wěn)定完善草原家庭承包制加快推進(jìn)和落實(shí)草原家庭承包制，鞏固和擴(kuò)大草原承包面積。結(jié)合實(shí)施草原工程項(xiàng)目，推進(jìn)草原“承包到戶(hù)”。進(jìn)一步完善草原承包配套政策，保持草原承包關(guān)系長(zhǎng)期穩(wěn)定。規(guī)范草原承包管理。按照依法、自愿、有償原則，建立健全草原家庭承包經(jīng)營(yíng)權(quán)流轉(zhuǎn)機(jī)制。

———落實(shí)草畜平衡制度貫徹實(shí)施《草畜平衡管理辦法》，推進(jìn)草畜平衡制度的落實(shí)。加大草原保護(hù)建設(shè)力度，穩(wěn)定和提高草原生產(chǎn)能力。支持、鼓勵(lì)和引導(dǎo)農(nóng)牧民實(shí)施人工種草，增加飼草飼料，改良牲畜品種，推行舍飼圈養(yǎng)，加快畜群周轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)變畜牧業(yè)發(fā)展方式，降低天然草原放牧強(qiáng)度。

———加大草原保護(hù)工程建設(shè)力度加快落實(shí)《全國(guó)草原保護(hù)建設(shè)利用總體規(guī)劃》，加大退牧還草、風(fēng)沙源治理、巖溶地區(qū)草地治理等草原保護(hù)工程實(shí)施力度。完善退牧還草工程后續(xù)政策，鞏固退牧還草工程成果。

———強(qiáng)化草原執(zhí)法監(jiān)督加強(qiáng)草原監(jiān)理體系建設(shè)，認(rèn)真貫徹實(shí)施《草原法》，加大草原執(zhí)法力度，依法查處、打擊開(kāi)墾草原、亂采濫挖草原野生植物和非法征用、使用草原的違法行為。

第五篇：振動(dòng)監(jiān)測(cè)報(bào)告

振動(dòng)監(jiān)測(cè)報(bào)告

1必要性

目前，振動(dòng)監(jiān)測(cè)已被廣泛應(yīng)用于冶金、石化、電力、化工、造紙、制藥、機(jī)械制造等行業(yè)，在有大量的電機(jī)、泵、風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、變速箱等機(jī)械設(shè)備在連續(xù)工作的系統(tǒng)中,通過(guò)監(jiān)測(cè)這些旋轉(zhuǎn)機(jī)械的振動(dòng)幅度、頻率、方向等物理量的變化,及時(shí)掌握設(shè)備的工作狀態(tài)。半導(dǎo)體生產(chǎn)線中生產(chǎn)任務(wù)安排緊密，時(shí)間就是效益，一些關(guān)鍵設(shè)備一旦出現(xiàn)問(wèn)題，會(huì)對(duì)整個(gè)生產(chǎn)線造成嚴(yán)重?cái)_亂，甚至導(dǎo)致前期半成品報(bào)廢，產(chǎn)品延期，造成重大損失。由于半導(dǎo)體生產(chǎn)線中設(shè)備數(shù)量多，種類(lèi)雜，精度高，市場(chǎng)現(xiàn)有振動(dòng)監(jiān)測(cè)經(jīng)驗(yàn)不能直接應(yīng)用，在我所以及半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)，尚無(wú)應(yīng)用振動(dòng)監(jiān)測(cè)進(jìn)行預(yù)測(cè)性維修的經(jīng)驗(yàn)，處于技術(shù)空白。項(xiàng)目以振動(dòng)監(jiān)測(cè)為技術(shù)手段，通過(guò)建立模擬運(yùn)行系統(tǒng)，積累分析數(shù)據(jù)，研究半導(dǎo)體生產(chǎn)線設(shè)備機(jī)械故障的振動(dòng)特點(diǎn)，以期達(dá)到無(wú)損監(jiān)測(cè)設(shè)備狀態(tài)，發(fā)現(xiàn)設(shè)備機(jī)械故障隱患，從而在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中應(yīng)用預(yù)測(cè)性維修，減少故障停機(jī)對(duì)生產(chǎn)造成影響的目的。

1.1本項(xiàng)目研究的背景

1.1.1本項(xiàng)目的任務(wù)來(lái)源

近年來(lái)，隨著國(guó)家的發(fā)展，我所產(chǎn)值由幾億到幾十億以及將要向百億突破，科研生產(chǎn)任務(wù)也越來(lái)越重，各生產(chǎn)線的任務(wù)安排也是越來(lái)越緊密，設(shè)備可以說(shuō)是生產(chǎn)線上最重要的環(huán)節(jié)，尤其是一些重點(diǎn)設(shè)備，其運(yùn)行狀態(tài)的正常與否對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量以及生產(chǎn)任務(wù)能否按時(shí)完成起著決定性的作用，一旦設(shè)備故障停機(jī)，對(duì)生產(chǎn)造成的影響也越來(lái)越突出，尤其是重點(diǎn)設(shè)備的長(zhǎng)時(shí)間故障停機(jī)，往往會(huì)造成重大損失，目前我所生產(chǎn)用設(shè)備普遍采用事后維修方式，工作流程如下所示

在這種模式下，隨著部門(mén)的不同，1—2步所需時(shí)間從幾分鐘到幾天不等；第3步所需時(shí)間要看維修人員是否全部正在進(jìn)行維修任務(wù)，在設(shè)備故障集中爆發(fā)的時(shí)候，這個(gè)時(shí)間甚至能達(dá)到三天；3—4步平均時(shí)間在一天內(nèi)，80%的都控制在半天內(nèi)，當(dāng)然也有部分設(shè)備的故障較為復(fù)雜，判斷故障需要幾天甚至十幾天的時(shí)間，這種情況所占比例不超過(guò)5%；4—5步所需時(shí)間視情況不同基本在兩天內(nèi)，緊急情況可以在半天內(nèi)完成；6—7步，一些常規(guī)配件或已有成熟渠道的備件經(jīng)常能在第二天到貨，而一些非常規(guī)備件尤其是進(jìn)口備件經(jīng)常需要一兩個(gè)月時(shí)間，有些個(gè)別的定制件甚至需要幾個(gè)月以上；一旦到第7步，備件到貨后，真正修復(fù)設(shè)備需要的時(shí)間往往很短，90%都可以在一天內(nèi)修復(fù)完成。在這其中，1—2步的提交維修申請(qǐng)可以通過(guò)增強(qiáng)部門(mén)內(nèi)部溝通減少，但是對(duì)一些對(duì)設(shè)備不夠熟悉的操作者來(lái)說(shuō)，可能判斷設(shè)備異常狀態(tài)都是有一定難度的，需要尋求部門(mén)內(nèi)對(duì)設(shè)備更熟悉的人員的幫助，都會(huì)經(jīng)過(guò)一定的時(shí)間，而且一些較為隱蔽的機(jī)械故障，在前期很難發(fā)現(xiàn)，不是專(zhuān)業(yè)的維修人員不會(huì)注意這些情況，等操作者發(fā)現(xiàn)時(shí)往往故障已經(jīng)擴(kuò)大化，造成了故障部件外其他部件的損壞。2—3步在有限的維修人力資源下，只能通過(guò)對(duì)設(shè)備的重要程度，進(jìn)行有限程度的調(diào)控，優(yōu)化程度有限。3—4步和備件到貨后修復(fù)的時(shí)間基本可控且在整個(gè)維修周期內(nèi)占比最低。在這整個(gè)維修周期內(nèi)，6—7步，屬于時(shí)間最長(zhǎng)，而且我方不可控的階段，往往設(shè)備修復(fù)耗時(shí)長(zhǎng)，影響生產(chǎn)任務(wù)的情況，都是由于這一步用時(shí)太長(zhǎng)的原因。重要的是在這整個(gè)維修周期內(nèi)，設(shè)備處于帶病運(yùn)行或故障停機(jī)狀態(tài)，無(wú)論是帶病運(yùn)行造成故障擴(kuò)大還是設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間故障停機(jī)，都會(huì)造成重大損失。

如果，我們可以提前發(fā)現(xiàn)設(shè)備故障趨勢(shì)，大致判斷故障時(shí)間，較為準(zhǔn)確的判斷故障部件，我們的維修模式就可以進(jìn)行改變，不再采用事后維修這種模式，改為預(yù)測(cè)性維修的模式，更加靈活的安排維修任務(wù)。如下所示

在這個(gè)過(guò)程中，免去了事后維修模式的1、2、3的過(guò)程，以一過(guò)程替代了4、5過(guò)程，盡管一過(guò)程和4、5過(guò)程同樣時(shí)間不可控，但是，值得注意的是，這個(gè)時(shí)間段內(nèi)，設(shè)備尚未發(fā)生故障，還在正常使用狀態(tài)，同時(shí)用二過(guò)程替代了事后維修的7過(guò)程，這樣可以綜合考慮生產(chǎn)任務(wù)的安排情況和維修任務(wù)的繁忙情況，更合理的、有計(jì)劃的安排維修時(shí)間，尤其是在這整個(gè)維修周期內(nèi)，設(shè)備完全處于正常運(yùn)行狀態(tài)或大部分時(shí)間處于正常使用狀態(tài)。用一句話(huà)概括預(yù)測(cè)性維修和事后維修的最大區(qū)別：預(yù)測(cè)性維修是把工作做在了設(shè)備發(fā)生故障之前，因此最大程度的降低了故障停機(jī)時(shí)間。

正是由于預(yù)測(cè)性維修的優(yōu)越性且目前已有大量成功實(shí)施的案例，各國(guó)生產(chǎn)行業(yè)也對(duì)預(yù)測(cè)性維修越來(lái)越重視。要想在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用預(yù)測(cè)性維修，振動(dòng)監(jiān)測(cè)作為預(yù)測(cè)性維修的重要手段之一，尚無(wú)資料顯示其有半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用的實(shí)例，亟需實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的積累及分析，這也是本項(xiàng)目的主要任務(wù)來(lái)源。

1.1.2新形勢(shì)對(duì)振動(dòng)監(jiān)測(cè)在半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中的應(yīng)用提出了迫切的需求

在我所從事生產(chǎn)用設(shè)備的機(jī)械故障中，約有2/3的故障是由運(yùn)動(dòng)部件動(dòng)作不暢直接或間接造成的，其中部分嚴(yán)重的情況會(huì)造成故障擴(kuò)大，如電機(jī)燒毀、傳動(dòng)軸磨損、絲杠損壞以及導(dǎo)軌損壞等。還有部分電氣故障是由于設(shè)備運(yùn)動(dòng)部件狀態(tài)不良，振動(dòng)過(guò)大，造成一些傳感器移位，從而導(dǎo)致設(shè)備異常，甚至造成設(shè)備誤動(dòng)作，損毀部件的情況；包括部分線路接觸不良也是由于設(shè)備的異常振動(dòng)導(dǎo)致線路松動(dòng)所致。

如圖一所示，為等離子清洗所用真空泵，由于清洗工藝不可避免的造成泵內(nèi)有粘稠狀膠質(zhì)物積累，該狀況無(wú)法通過(guò)換油改善，膠質(zhì)物經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間累積到一定量后，會(huì)造成真空泵負(fù)載變大，導(dǎo)致了該泵聯(lián)軸器超負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)損毀，雖然因?yàn)槠渌秒姍C(jī)有過(guò)熱保護(hù)沒(méi)有燒毀，但長(zhǎng)時(shí)間在臨界狀態(tài)的運(yùn)轉(zhuǎn)，也會(huì)造成電機(jī)壽命縮短，如果提前通過(guò)振動(dòng)監(jiān)測(cè)察覺(jué)其振動(dòng)狀態(tài)改變，僅需在故障前期進(jìn)行維護(hù)，對(duì)泵腔、轉(zhuǎn)子及旋片進(jìn)行清洗即可。

圖二所示為某激光設(shè)備工作臺(tái)Y軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)，當(dāng)工作臺(tái)Y方向不能動(dòng)作時(shí)才發(fā)現(xiàn)故障，經(jīng)判斷為電機(jī)軸承卡死，由于該設(shè)備為進(jìn)口設(shè)備，軸承不易尋找，用時(shí)三天才找到備件，若能在其故障前期發(fā)現(xiàn)，提前尋找備件，此次維修可以在兩小時(shí)內(nèi)完成。

圖三所示為某激光打孔設(shè)備FP模組，因其噪聲過(guò)大發(fā)現(xiàn)故障，此時(shí)故障已接近晚期，然而該模組為定制產(chǎn)品，下單后才開(kāi)始生產(chǎn)，周期要30天，該設(shè)備生產(chǎn)任務(wù)安排非常緊密，每停機(jī)一天就有幾千元損失，在發(fā)現(xiàn)故障后一周就已完全不能使用。由于其轉(zhuǎn)速達(dá)到5000r/min，一旦靠人耳聽(tīng)發(fā)現(xiàn)噪音變大時(shí)，已經(jīng)進(jìn)入故障爆發(fā)階段，將會(huì)迅速失效甚至造成故障擴(kuò)大，若能在前期通過(guò)振動(dòng)監(jiān)測(cè)發(fā)現(xiàn)隱患，可提前訂購(gòu)配件，避免損失。

圖一

圖二

圖三

尤其是精度越高，運(yùn)動(dòng)速度越快，轉(zhuǎn)速越高的設(shè)備，在故障隱患其越難靠人的直觀感覺(jué)發(fā)現(xiàn)，而這些情況下，故障的突然爆發(fā)往往會(huì)直接導(dǎo)致設(shè)備停機(jī)，甚至造成故障擴(kuò)大。這就迫切的要求我們進(jìn)行振動(dòng)監(jiān)測(cè)，以提前發(fā)現(xiàn)故障隱患，采取措施，從而避免損失。

1.1.3現(xiàn)有振動(dòng)監(jiān)測(cè)技術(shù)對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)線設(shè)備的適用性分析

振動(dòng)監(jiān)測(cè)這一名詞國(guó)外早在50多年前就已經(jīng)提出，但由于當(dāng)時(shí)測(cè)試技術(shù)和振動(dòng)監(jiān)測(cè)診斷故障特征知識(shí)的不足，所以這項(xiàng)技術(shù)在20世紀(jì)70年代前都未有明顯發(fā)展。國(guó)內(nèi)提出振動(dòng)監(jiān)測(cè)也有30多年的歷史。

（1）振動(dòng)監(jiān)測(cè)就目前來(lái)分，可分為在線式和離線式。前者是針對(duì)冶金、石化、電力、等行業(yè)，設(shè)備需要連續(xù)工作的系統(tǒng)，在時(shí)間要求上相對(duì)較為緊迫，一旦延誤甚至?xí)l(fā)生生產(chǎn)安全事故，需要對(duì)設(shè)備進(jìn)行24小時(shí)不間斷監(jiān)測(cè)，通過(guò)對(duì)其中旋轉(zhuǎn)機(jī)械的振動(dòng)幅度、頻率、方向等物理量的變化，及時(shí)掌握設(shè)備的工作狀態(tài)，利用計(jì)算機(jī)記錄設(shè)備的運(yùn)行參數(shù)，包括振動(dòng)加速度、速度、位移等參數(shù)，通過(guò)和專(zhuān)家預(yù)置的信息相對(duì)比，一旦超過(guò)警戒值自動(dòng)發(fā)出故障警報(bào)信息，故又稱(chēng)為自動(dòng)專(zhuān)家診斷系統(tǒng)。系統(tǒng)的核心是專(zhuān)家經(jīng)驗(yàn)，但是如何將各行業(yè)分散的專(zhuān)家經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行系統(tǒng)化和條理化，能夠統(tǒng)一運(yùn)用到各行各業(yè)不同的設(shè)備上，是目前國(guó)內(nèi)外許多專(zhuān)家正在研究的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題，因此這種診斷系統(tǒng)不能進(jìn)行無(wú)縫移植，不能再不同設(shè)備間通用。即使市場(chǎng)上的專(zhuān)業(yè)振動(dòng)監(jiān)測(cè)公司，也是針對(duì)特定的設(shè)備設(shè)計(jì)和制造振動(dòng)監(jiān)測(cè)診斷系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有唯一性和不可移植性。

（2）離線式振動(dòng)監(jiān)測(cè)是在有需要時(shí)，由人到設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)，對(duì)設(shè)備各部位進(jìn)行振動(dòng)監(jiān)測(cè)，可以將振動(dòng)信號(hào)、數(shù)據(jù)采集后離開(kāi)現(xiàn)場(chǎng)，進(jìn)行仔細(xì)的分析、討論或模擬實(shí)驗(yàn)，因此稱(chēng)它為振動(dòng)監(jiān)測(cè)離線診斷。離線監(jiān)測(cè)診斷在故障診斷深入程度上要比在線診斷具體的多，因此難度也較大。

振動(dòng)監(jiān)測(cè)離線故障診斷技術(shù)包括診斷思維方法、振動(dòng)故障范圍及其特征（包括數(shù)據(jù)處理）和機(jī)理。但一般所說(shuō)的故障診斷技術(shù)主要是指故障特征和機(jī)理，對(duì)于故障診斷思維方式和故障范圍的研究，目前還未有特別深入的研究。

（3）半導(dǎo)體行業(yè)相對(duì)電廠、礦場(chǎng)來(lái)說(shuō)，設(shè)備的規(guī)模較小，但精度要求高，設(shè)備臺(tái)數(shù)多、種類(lèi)多，需要監(jiān)測(cè)的重點(diǎn)設(shè)備隨生產(chǎn)任務(wù)的變化會(huì)隨時(shí)改變，各生產(chǎn)線區(qū)域分開(kāi)，甚至不在同一廠房。生產(chǎn)任務(wù)安排緊密，無(wú)法定時(shí)停機(jī)檢修?，F(xiàn)有的在線式監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，安裝調(diào)試復(fù)雜，一旦應(yīng)用于一套設(shè)備后，如需更換應(yīng)用設(shè)備，要重新安裝調(diào)試，過(guò)程復(fù)雜、漫長(zhǎng)；另外，對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)來(lái)說(shuō)，在線監(jiān)測(cè)方式存在影響產(chǎn)品穩(wěn)定性的可能。所以，在半導(dǎo)體生產(chǎn)線更適合離線式、便攜式的監(jiān)測(cè)方式，由維修部門(mén)和使用部門(mén)合作，進(jìn)行每日、每周點(diǎn)檢，持續(xù)性采集數(shù)據(jù)，然后針對(duì)不同的設(shè)備建立各自的數(shù)據(jù)庫(kù)，再分門(mén)別類(lèi)的進(jìn)行數(shù)據(jù)分析的方式進(jìn)行。

綜上所述，我們只能借鑒現(xiàn)有的振動(dòng)監(jiān)測(cè)診斷技術(shù)，不能生搬硬套到我們的生產(chǎn)線上運(yùn)用，還需要自行進(jìn)行實(shí)驗(yàn)研究，累積數(shù)據(jù)加以分析，以應(yīng)用到我們生產(chǎn)線的設(shè)備上，而隨著生產(chǎn)任務(wù)越來(lái)越重，應(yīng)用振動(dòng)監(jiān)測(cè)手段來(lái)減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，也是非常必要的。

1.2國(guó)內(nèi)外現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)

上世紀(jì)70年代以來(lái)，美國(guó)的后勤工程（Logistic Engineering）、英國(guó)的設(shè)備綜合管理工程（Tero Technology）及日本的全面生產(chǎn)性維修（Total Productive Maintenance）的創(chuàng)立，標(biāo)志著維修作為一門(mén)獨(dú)立的學(xué)科登上應(yīng)用工程學(xué)的舞臺(tái)。伴隨著維修科學(xué)的發(fā)展，預(yù)測(cè)性維修作為一種新興的維修方式成為行業(yè)研究的熱點(diǎn)。

預(yù)測(cè)性維修最早在西方發(fā)達(dá)工業(yè)國(guó)家興起，目前已經(jīng)是“工業(yè)4.0”提出的關(guān)鍵創(chuàng)新點(diǎn)之一，有資料顯示，德國(guó)工程行業(yè)現(xiàn)已普遍接受并理解預(yù)測(cè)性維護(hù)這一重要的行業(yè)趨勢(shì)。已有有部分公司著手深入解決這個(gè)問(wèn)題。

預(yù)測(cè)性維修發(fā)展到現(xiàn)在，基本已經(jīng)有了成熟的體系，如下所示

據(jù)知名物聯(lián)網(wǎng)研究機(jī)構(gòu)Lot analytics2017年發(fā)布的報(bào)告指出，2016-2022年期間預(yù)測(cè)性維修的復(fù)合年均增長(zhǎng)率（CAGR）為39％；到2022年，技術(shù)支出將達(dá)到10.96億美元（如圖四所示）。

圖四

報(bào)告數(shù)據(jù)基于110家從事預(yù)測(cè)性維修實(shí)施的技術(shù)公司相關(guān)業(yè)務(wù)的收入所得出，這些公司跨越13個(gè)行業(yè)和7個(gè)技術(shù)領(lǐng)域。

圖五顯示的是前二十名實(shí)現(xiàn)預(yù)測(cè)性維修的公司。

圖五

IBM利用數(shù)據(jù)分析和優(yōu)化能力，幫助美國(guó)的普惠發(fā)動(dòng)機(jī)公司實(shí)現(xiàn)預(yù)測(cè)性維修，從而防止由于發(fā)動(dòng)機(jī)故障導(dǎo)致的飛機(jī)事故。

SAP發(fā)力預(yù)測(cè)性維修市場(chǎng)已然有多年歷史，并因此成為與“預(yù)測(cè)性維修”相關(guān)的關(guān)鍵詞搜索最多的公司。全球最大的空氣壓縮系統(tǒng)供應(yīng)商之一的凱撒空壓機(jī)，借助SAP 預(yù)測(cè)性維修及服務(wù)解決方案實(shí)時(shí)監(jiān)控壓縮空氣站的情況，并在客戶(hù)資產(chǎn)出現(xiàn)故障之前主動(dòng)采取維護(hù)措施。

作為工業(yè)自動(dòng)化的專(zhuān)家，西門(mén)子將預(yù)測(cè)維修應(yīng)用于工廠設(shè)置和工業(yè)設(shè)備的自動(dòng)化系統(tǒng)中。西門(mén)子于2016年10月在德國(guó)鐵路公司推出了為期12個(gè)月的預(yù)測(cè)性維修試點(diǎn)。西門(mén)子與美國(guó)致力于數(shù)據(jù)分析的Azima DLI公司合作，在NASA阿姆斯特朗飛行中心（冷卻系統(tǒng)）實(shí)施預(yù)測(cè)性維修。

在我國(guó)，也已有大量成功應(yīng)用預(yù)測(cè)性維修的案例。如2015年3月，長(zhǎng)春第一熱電廠鍋爐引風(fēng)機(jī)進(jìn)行了以振動(dòng)監(jiān)測(cè)為主的故障預(yù)測(cè)。2015年4月，首鋼長(zhǎng)治鋼鐵有限公司軋鋼廠的楊誠(chéng)潛在《山西冶金》發(fā)表了《狀態(tài)檢測(cè)與故障診斷技術(shù)在精軋機(jī)設(shè)備管理中的應(yīng)用》一文，其中介紹了兩起以振動(dòng)監(jiān)測(cè)手段發(fā)現(xiàn)精軋機(jī)齒輪、滾動(dòng)軸承故障隱患的案例。

我國(guó)的預(yù)測(cè)性維修技術(shù)還是處于較落后的階段，屬于個(gè)別零散的運(yùn)用，沒(méi)有比較標(biāo)準(zhǔn)的，具有較好通用性的成熟系統(tǒng)。尤其是在半導(dǎo)體行業(yè)，更是沒(méi)有實(shí)施案例。

預(yù)測(cè)性維修是一個(gè)極為復(fù)雜的系統(tǒng)，振動(dòng)監(jiān)測(cè)及診斷技術(shù)是其中最為重要的一環(huán)，尤其是對(duì)有旋轉(zhuǎn)部件的設(shè)備來(lái)說(shuō)，振動(dòng)監(jiān)測(cè)及診斷技術(shù)更是核心部分。半導(dǎo)體生產(chǎn)線的設(shè)備99%的都具有旋轉(zhuǎn)部件，想要在半導(dǎo)體生產(chǎn)線實(shí)行預(yù)測(cè)性維修，首先就要進(jìn)行振動(dòng)監(jiān)測(cè)及診斷技術(shù)的研究。而針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)線的設(shè)備的特點(diǎn)，以振動(dòng)監(jiān)測(cè)手段來(lái)進(jìn)行預(yù)測(cè)性維修，即簡(jiǎn)便有效成本又低。

1.3 存在的問(wèn)題

目前，存在的主要問(wèn)題是，國(guó)內(nèi)沒(méi)有振動(dòng)監(jiān)測(cè)在半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備上應(yīng)用的經(jīng)驗(yàn)，更沒(méi)有累積的數(shù)據(jù)?，F(xiàn)有的為一部分通用經(jīng)驗(yàn)和數(shù)據(jù)，再就是其他行業(yè)部分設(shè)備的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)和實(shí)例。直接移植到半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備上將會(huì)有不適用現(xiàn)象。

1.3.1可能會(huì)對(duì)設(shè)備產(chǎn)生影響

在線式監(jiān)測(cè)系統(tǒng)需要在設(shè)備上加裝大量傳感器，以及加裝大量線路，再連接到遠(yuǎn)程端的在線振動(dòng)監(jiān)測(cè)控制箱或工控機(jī)，如圖六所示為鋼鐵廠精軋機(jī)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，針對(duì)設(shè)備單一，一旦安裝不可移動(dòng)。半導(dǎo)體生產(chǎn)線設(shè)備數(shù)量種類(lèi)眾多，重點(diǎn)設(shè)備也是種類(lèi)數(shù)量眾多，都建立在線式振動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)不太現(xiàn)實(shí)。另外，雖然半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備大多規(guī)模相對(duì)較小，但是精度要求高，動(dòng)作維度多，復(fù)雜程度高，在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)加裝的眾多傳感器和線路難免對(duì)其動(dòng)過(guò)造成一定影響。包括過(guò)多的線路對(duì)設(shè)備是否會(huì)造成信號(hào)干擾也是不可預(yù)測(cè)。

圖六

1.3.2可能會(huì)對(duì)設(shè)備的狀態(tài)產(chǎn)生誤判

現(xiàn)有的離線式振動(dòng)監(jiān)測(cè)經(jīng)驗(yàn)多是在電力、礦場(chǎng)、化工等企業(yè)的設(shè)備上得來(lái)。如漢能華科技對(duì)風(fēng)電企業(yè)風(fēng)電機(jī)組的離線式振動(dòng)監(jiān)測(cè)；北京萬(wàn)博振通對(duì)山東魯恒生電氣車(chē)間0.5MW電機(jī)的監(jiān)測(cè)。這些設(shè)備有一些共同的特點(diǎn)：體型龐大，功率大，對(duì)精度要求低，經(jīng)振動(dòng)監(jiān)測(cè)發(fā)現(xiàn)不正常時(shí)，往往有經(jīng)驗(yàn)的維修人員憑感覺(jué)也能發(fā)現(xiàn)振動(dòng)、噪聲的異常，這時(shí)故障已經(jīng)發(fā)生，造成了部分部件的損壞，大多數(shù)只是用振動(dòng)監(jiān)測(cè)的方式判斷故障發(fā)生的大概位置，進(jìn)行亡羊補(bǔ)牢式的操作。如對(duì)某廠循環(huán)水泵（圖七）進(jìn)行振動(dòng)監(jiān)測(cè)發(fā)現(xiàn)異常，此時(shí)拆解檢查后，發(fā)現(xiàn)電機(jī)軸承外圈跑圈（圖八），也就是軸承存在部分失效情況，此時(shí)在電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，軸承外圈和軸承安裝孔之間已經(jīng)存在了相對(duì)運(yùn)動(dòng)，這時(shí)其實(shí)已經(jīng)對(duì)部件造成了損壞（圖九），其實(shí)此故障在早期應(yīng)該只是軸承轉(zhuǎn)動(dòng)不暢，當(dāng)軸承本身阻力達(dá)到一定程度時(shí)，由于一般軸承外圈和軸承孔之間為過(guò)渡配合，摩擦力相對(duì)較小，此時(shí)就會(huì)出現(xiàn)軸承外圈跑圈現(xiàn)象，造成故障擴(kuò)大。

圖七

圖八

圖九

這種大型設(shè)備本身正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)振動(dòng)就大，故障前期的振動(dòng)信號(hào)被隱藏在正常震動(dòng)中，就造成了隱患發(fā)現(xiàn)延時(shí)的情況，但是如果監(jiān)測(cè)信號(hào)放大過(guò)渡，又可能會(huì)造成誤報(bào)。與之相比，半導(dǎo)體生產(chǎn)線的設(shè)備體型小、功率小、精度高。正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)振動(dòng)很小，即使故障時(shí)的振動(dòng)相對(duì)那些大型設(shè)備也是很小的，如果套用那些現(xiàn)有的大型設(shè)備的振動(dòng)數(shù)據(jù)，恐怕會(huì)都被認(rèn)為在正常工作范圍內(nèi)，無(wú)法監(jiān)測(cè)出問(wèn)題，必須對(duì)采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理、分析，但是同樣的，如果數(shù)據(jù)處理的不合理，也會(huì)出現(xiàn)誤報(bào)現(xiàn)象。

總之，現(xiàn)有的在線式振動(dòng)監(jiān)測(cè)及診斷系統(tǒng)和離線式振動(dòng)監(jiān)測(cè)及診斷技術(shù)都是只適用于特定行業(yè)的部分設(shè)備，對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備來(lái)說(shuō)并不適用，直接簡(jiǎn)單移植套用，不只起不到預(yù)測(cè)故障發(fā)生時(shí)間和部位以進(jìn)行預(yù)測(cè)性維修的作用，還會(huì)造成無(wú)法發(fā)現(xiàn)隱患或故障誤報(bào)的情況，對(duì)正常的維修工作造成干擾。

1.4項(xiàng)目的作用和意義

本項(xiàng)目擬針對(duì)預(yù)測(cè)性維修中的的核心技術(shù)，振動(dòng)監(jiān)測(cè)及診斷技術(shù)在半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備維護(hù)維修中的應(yīng)用問(wèn)題進(jìn)行研究，從而經(jīng)過(guò)數(shù)據(jù)、經(jīng)驗(yàn)的積累，在半導(dǎo)體生產(chǎn)線運(yùn)用此技術(shù)，減少意外停機(jī)，降低設(shè)備故障對(duì)生產(chǎn)造成的影響，提高生產(chǎn)效率；同時(shí)，通過(guò)對(duì)故障的預(yù)測(cè)，在故障前期進(jìn)行維護(hù)維修，防止故障擴(kuò)大，降低損失。

2研究目標(biāo)

本項(xiàng)目的研究目標(biāo)是：緊跟國(guó)際前沿技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)，結(jié)合已有的研究成果，設(shè)計(jì)制作有自主產(chǎn)權(quán)的模擬半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備工作狀態(tài)的失效模擬系統(tǒng)，研究半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備機(jī)械動(dòng)作部分故障前的振動(dòng)變化狀態(tài)，通過(guò)實(shí)驗(yàn)和數(shù)據(jù)的累積，運(yùn)用現(xiàn)在先進(jìn)的科技手段和數(shù)據(jù)分析手段，首先做到在試驗(yàn)系統(tǒng)可以預(yù)測(cè)故障發(fā)生部位和時(shí)間，進(jìn)一步以試驗(yàn)得到的經(jīng)驗(yàn)和數(shù)據(jù)，結(jié)合實(shí)際生產(chǎn)用設(shè)備數(shù)據(jù)的采集工作，在實(shí)際生產(chǎn)線的重點(diǎn)設(shè)備上進(jìn)行振動(dòng)監(jiān)測(cè)，達(dá)到預(yù)測(cè)重點(diǎn)設(shè)備故障發(fā)生部位和時(shí)間的目的，從而可以根據(jù)生產(chǎn)安排情況，開(kāi)展預(yù)測(cè)性維修，減少設(shè)備故障對(duì)生產(chǎn)造成的影響；同時(shí)避免過(guò)度維修造成的浪費(fèi)。

3.研究?jī)?nèi)容

通過(guò)監(jiān)測(cè)采集數(shù)據(jù)，對(duì)采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，根據(jù)加速度、速度、位移等數(shù)據(jù)，進(jìn)行對(duì)比，結(jié)合理論研究，對(duì)動(dòng)作部件的工況進(jìn)行判斷，通過(guò)研究數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì)，對(duì)部件的狀態(tài)趨勢(shì)進(jìn)行判斷，預(yù)測(cè)故障隱患部位及故障發(fā)生大概時(shí)間。應(yīng)用前景

該項(xiàng)目完成后，將可以在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中應(yīng)用振動(dòng)監(jiān)測(cè)手段，在機(jī)械動(dòng)作的故障前期發(fā)現(xiàn)隱患，從而可以根據(jù)生產(chǎn)安排，靈活有計(jì)劃的決定進(jìn)行維修的時(shí)間，減少因臨時(shí)停機(jī)對(duì)生產(chǎn)造成的影響，同時(shí)可以避免故障擴(kuò)大，減少損失。若技術(shù)成熟，簡(jiǎn)化操作，可以很大程度上可以實(shí)隱患性機(jī)械故障的發(fā)現(xiàn)不再過(guò)于依賴(lài)有經(jīng)驗(yàn)的維修人員，推動(dòng)預(yù)測(cè)性維修和全員維修在半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，提高行業(yè)的生產(chǎn)效率?？尚行苑治?/p>

作為項(xiàng)目承接單位，計(jì)量維修部是由原十九室和計(jì)量中心合并組成，十九室一直從事我所科研生產(chǎn)設(shè)備的維修工作，有大量的維修經(jīng)驗(yàn)，有力的技術(shù)支持，計(jì)量中心有豐富的計(jì)量、測(cè)試的理論知識(shí)和實(shí)際經(jīng)驗(yàn)，又有豐富的做項(xiàng)目的經(jīng)驗(yàn)，我們組成的計(jì)量維修部，一定可以發(fā)揮1+1>2的水平。項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)技術(shù)水平較高，熟悉半導(dǎo)體生產(chǎn)線的各種設(shè)備，具有豐富的維修經(jīng)驗(yàn)及設(shè)備理論基礎(chǔ)，項(xiàng)目負(fù)責(zé)人具備專(zhuān)業(yè)的技術(shù)知識(shí)和能力，具備完成該項(xiàng)目的研究基礎(chǔ)和研究條件。

需重點(diǎn)解決的技術(shù)難點(diǎn)，怎么讓其具有一定的通用性；如何在復(fù)雜的數(shù)據(jù)中區(qū)分出有效數(shù)據(jù)和干擾數(shù)據(jù)；如何把數(shù)據(jù)和部件對(duì)應(yīng)起來(lái)。

5.1 具備的研究基礎(chǔ)

20世紀(jì)70年代以來(lái)，電子技術(shù)和信號(hào)處理技術(shù)的迅猛發(fā)展，轉(zhuǎn)子-軸承系統(tǒng)動(dòng)力特性研究的不斷深入，有力地促進(jìn)了大型回轉(zhuǎn)機(jī)械狀態(tài)監(jiān)測(cè)和故障診斷技術(shù)的發(fā)展，使大型回轉(zhuǎn)機(jī)械狀態(tài)監(jiān)測(cè)和故障診斷技術(shù)水平不斷提高。無(wú)論是用于離線監(jiān)測(cè)和在線監(jiān)測(cè)都有比較成熟的產(chǎn)品供選用，如德國(guó)vibro-meter在線振動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，國(guó)內(nèi)的航天智控AIC9900等。

在理論方面：國(guó)內(nèi)有俞培松2007年在《同濟(jì)大學(xué)》發(fā)表的碩士學(xué)位論文《滾動(dòng)軸承振動(dòng)故障診斷技術(shù)的研究及其實(shí)際應(yīng)用》；黃偉國(guó)2010年在《中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)》發(fā)表的博士學(xué)位論文《基于振動(dòng)信號(hào)特征提取與表達(dá)的旋轉(zhuǎn)機(jī)械狀態(tài)監(jiān)測(cè)與故障診斷研究》。

在實(shí)際應(yīng)用方面：陳珊珊、李鋼燕、何鳳英2006年在《中國(guó)設(shè)備工程》發(fā)表的《振動(dòng)診斷技術(shù)在設(shè)備點(diǎn)檢定修中的應(yīng)用》，介紹了振動(dòng)監(jiān)測(cè)在鞍鋼某廠步進(jìn)式加熱爐風(fēng)機(jī)故障診斷中的應(yīng)用實(shí)例，并進(jìn)一步說(shuō)明了監(jiān)測(cè)與診斷技術(shù)是實(shí)現(xiàn)點(diǎn)檢定修的基礎(chǔ)和重要手段；有楊誠(chéng)潛2015年在《山西冶金》發(fā)表的《狀態(tài)檢測(cè)與故障診斷技術(shù)在精軋機(jī)設(shè)備管理中的應(yīng)用》，介紹了振動(dòng)監(jiān)測(cè)在精軋機(jī)上的應(yīng)用實(shí)例。

振動(dòng)監(jiān)測(cè)的應(yīng)用在國(guó)內(nèi)已有大量的論文提供理論支持和成功的實(shí)施案例。項(xiàng)目組具有豐富的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備維修經(jīng)驗(yàn)，對(duì)設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)有足夠的實(shí)踐基礎(chǔ)和理論基礎(chǔ)，熟悉各種設(shè)備的機(jī)械易發(fā)故障和部件失效方式。項(xiàng)目組成員均具有大學(xué)本科及以上學(xué)歷，具有學(xué)習(xí)振動(dòng)監(jiān)測(cè)理論知識(shí)的能力。綜上所述，項(xiàng)目組具有完成項(xiàng)目的基礎(chǔ)。

5.2 具備的研究條件

我所是國(guó)內(nèi)最主要的半導(dǎo)體器件科研生產(chǎn)單位之一，在前道、后道都有多條生產(chǎn)線，設(shè)備數(shù)量、種類(lèi)眾多，可以為項(xiàng)目的實(shí)施提供豐富的參考樣本，并且可以在日常做設(shè)備維修工作時(shí)，根據(jù)實(shí)際情況，隨時(shí)檢驗(yàn)研究成果。

現(xiàn)有的分析方法和數(shù)據(jù)不知道是否適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備狀況，需研究、測(cè)試、驗(yàn)證。不同的設(shè)備，不同的結(jié)構(gòu)，其振動(dòng)數(shù)據(jù)都不一樣，如何在大量的數(shù)據(jù)中分辨出有效數(shù)據(jù)和無(wú)效數(shù)據(jù)，哪些數(shù)據(jù)是故障特征的表現(xiàn)，這是一個(gè)技術(shù)難點(diǎn)。

主要的風(fēng)險(xiǎn)是：雖然具有較好的理論性，但是沒(méi)有經(jīng)過(guò)專(zhuān)業(yè)的技術(shù)論證，實(shí)施起來(lái)可能難度很大，而且每一項(xiàng)可能都需要大量的時(shí)間，整體實(shí)施下來(lái)可能需要的時(shí)間可能會(huì)超過(guò)預(yù)期。

采取的措施：在實(shí)際操作中優(yōu)化各方案，隨時(shí)優(yōu)化模擬系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和加速失效方法，加強(qiáng)學(xué)習(xí)振動(dòng)理論和數(shù)據(jù)分析的方法，同時(shí)請(qǐng)各相關(guān)專(zhuān)業(yè)的學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)對(duì)方案進(jìn)行可行性論證和向各相關(guān)專(zhuān)業(yè)的專(zhuān)家請(qǐng)教學(xué)習(xí)。已實(shí)施的應(yīng)用情況

前期以維修人員經(jīng)驗(yàn)為主，通過(guò)聽(tīng)和觸摸判斷設(shè)備運(yùn)行中振動(dòng)狀態(tài)的改變，對(duì)設(shè)備動(dòng)作部件的工作狀態(tài)進(jìn)行定性判斷，主要實(shí)施案例如下：

1)印刷機(jī)的吸片風(fēng)機(jī)噪聲異常，觸摸感覺(jué)振動(dòng)劇烈，明顯超過(guò)正常運(yùn)行的振動(dòng)程度，判斷為軸承故障，通過(guò)拆解確認(rèn)，軸承滾珠生銹，轉(zhuǎn)動(dòng)卡頓，更換軸承后該風(fēng)機(jī)運(yùn)行狀態(tài)恢復(fù)正常，避免了因軸承卡死造成電機(jī)燒毀。

2)退火爐上舟故障，在維修時(shí)發(fā)現(xiàn)下舟驅(qū)動(dòng)裝置噪聲異常，振動(dòng)變大，判斷為直線軸承故障，對(duì)設(shè)備進(jìn)行拆解檢查后發(fā)現(xiàn)4個(gè)直線軸承均出現(xiàn)不同程度的防塵圈老化有脫落物進(jìn)入軸承內(nèi)部，滾動(dòng)體有銹蝕、磨損現(xiàn)象，其單獨(dú)在導(dǎo)軌上滑動(dòng)時(shí)就有滾動(dòng)體失效造成的動(dòng)作不暢現(xiàn)象，所以造成了運(yùn)行過(guò)程中的異常振動(dòng)，同時(shí)還發(fā)現(xiàn)6個(gè)驅(qū)動(dòng)軸承有不同程度的磨損，有的已經(jīng)卡死不能轉(zhuǎn)動(dòng)，但由于驅(qū)動(dòng)軸承較小，卡死不轉(zhuǎn)不導(dǎo)致設(shè)備振動(dòng)變化幅度較小，通過(guò)人的感覺(jué)無(wú)法提前發(fā)現(xiàn)。對(duì)損壞的軸承進(jìn)行更換后，設(shè)備振動(dòng)狀態(tài)恢復(fù)正常。

3)干泵在運(yùn)行中噪聲、振動(dòng)明顯變大，判斷其軸承磨損或轉(zhuǎn)子磨損，即將發(fā)生故障，及時(shí)尋找備用泵，在造成故障停機(jī)前對(duì)異常干泵進(jìn)行替換，減少了因故障造成的設(shè)備停機(jī)時(shí)間。

4)加工中心在運(yùn)行中主軸振動(dòng)變大，判斷為主軸軸承磨損，需進(jìn)行更換，及時(shí)對(duì)主軸進(jìn)行維護(hù)，避免了主軸卡死造成更大的損失。

5)印刷機(jī)印刷頭在X方向運(yùn)行時(shí)噪聲、振動(dòng)明顯異常，判斷為滑軌滑塊磨損，提前訂購(gòu)滑軌滑塊，在生產(chǎn)間隙進(jìn)行更換后恢復(fù)正常，避免了因設(shè)備故障對(duì)生產(chǎn)進(jìn)度的影響。

6)

濺射臺(tái)吊架轉(zhuǎn)動(dòng)噪音、振動(dòng)變大，用測(cè)振儀進(jìn)行監(jiān)測(cè)，加速度值在0.7~0.8~0.9~1.1m/s，速度為0.1mm/s，位移為0.003~0.004mm，由于該部件運(yùn)轉(zhuǎn)速度較慢，轉(zhuǎn)速在15r/min，且故障現(xiàn)象較輕，尚能正常使用，認(rèn)為速度值和位移值只具有一定的參考價(jià)值。其在低速運(yùn)轉(zhuǎn)情況下，加速度值較大，且周期性變化明顯，說(shuō)明在運(yùn)行過(guò)程中具有一定的剛性沖擊，位移值和速度值較低，說(shuō)明沖擊過(guò)程較短，程度較低。造成這種情況有兩種可能，一是軸承有間歇性卡頓，二是腔體內(nèi)有障礙物對(duì)吊架的轉(zhuǎn)動(dòng)的路徑造成了一定的遮擋。進(jìn)行拆解后，去掉了電機(jī)、減速箱和吊架主體，僅對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行檢測(cè)，加速度值為0.1~0.3m/s，因此時(shí)無(wú)法對(duì)其進(jìn)行有效固定，速度值和位移值不具有參考性，周期性變化的加速度值進(jìn)一步說(shuō)明了具有間歇性的剛性沖擊，此時(shí)可以準(zhǔn)確判斷為軸承具有間歇性的卡頓現(xiàn)象。進(jìn)行拆解后發(fā)現(xiàn)軸承有銹蝕現(xiàn)象，且有大量脫落的銹蝕粉末。

濺射臺(tái)吊架轉(zhuǎn)動(dòng)噪音、振動(dòng)變大，用測(cè)振儀進(jìn)行監(jiān)測(cè)，加速度值在0.7~0.8~0.9~1.1m/s，速度為0.1mm/s，位移為0.003~0.004mm，由于該部件運(yùn)轉(zhuǎn)速度較慢，轉(zhuǎn)速在15r/min，且故障現(xiàn)象較輕，尚能正常使用，認(rèn)為速度值和位移值只具有一定的參考價(jià)值。其在低速運(yùn)轉(zhuǎn)情況下，加速度值較大，且周期性變化明顯，說(shuō)明在運(yùn)行過(guò)程中具有一定的剛性沖擊，位移值和速度值較低，說(shuō)明沖擊過(guò)程較短，程度較低。造成這種情況有兩種可能，一是軸承有間歇性卡頓，二是腔體內(nèi)有障礙物對(duì)吊架的轉(zhuǎn)動(dòng)的路徑造成了一定的遮擋。進(jìn)行拆解后，去掉了電機(jī)、減速箱和吊架主體，僅對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行檢測(cè)，加速度值為0.1~0.3m/s，因此時(shí)無(wú)法對(duì)其進(jìn)行有效固定，速度值和位移值不具有參考性，周期性變化的加速度值進(jìn)一步說(shuō)明了具有間歇性的剛性沖擊，此時(shí)可以準(zhǔn)確判斷為軸承具有間歇性的卡頓現(xiàn)象。進(jìn)行拆解后發(fā)現(xiàn)軸承有銹蝕現(xiàn)象，且有大量脫落的銹蝕粉末。

濺射臺(tái)吊架轉(zhuǎn)動(dòng)噪音、振動(dòng)變大，用測(cè)振儀進(jìn)行監(jiān)測(cè)，加速度值在0.7~0.8~0.9~1.1m/s，速度為0.1mm/s，位移為0.003~0.004mm，由于該部件運(yùn)轉(zhuǎn)速度較慢，轉(zhuǎn)速在15r/min，且故障現(xiàn)象較輕，尚能正常使用，認(rèn)為速度值和位移值只具有一定的參考價(jià)值。其在低速運(yùn)轉(zhuǎn)情況下，加速度值較大，且周期性變化明顯，說(shuō)明在運(yùn)行過(guò)程中具有一定的剛性沖擊，位移值和速度值較低，說(shuō)明沖擊過(guò)程較短，程度較低。造成這種情況有兩種可能，一是軸承有間歇性卡頓，二是腔體內(nèi)有障礙物對(duì)吊架的轉(zhuǎn)動(dòng)的路徑造成了一定的遮擋。進(jìn)行拆解后，去掉了電機(jī)、減速箱和吊架主體，僅對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行檢測(cè)，加速度值為0.1~0.3m/s，因此時(shí)無(wú)法對(duì)其進(jìn)行有效固定，速度值和位移值不具有參考性，周期性變化的加速度值進(jìn)一步說(shuō)明了具有間歇性的剛性沖擊，此時(shí)可以準(zhǔn)確判斷為軸承具有間歇性的卡頓現(xiàn)象。進(jìn)行拆解后發(fā)現(xiàn)軸承有銹蝕現(xiàn)象，且有大量脫落的銹蝕粉末。

對(duì)軸承進(jìn)行更換后，單獨(dú)對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)部分進(jìn)行測(cè)量，加速度值為0.1m/s，且保持不變，對(duì)設(shè)備進(jìn)行恢復(fù)安裝后，噪聲、振動(dòng)情況恢復(fù)正常，同時(shí)產(chǎn)品濺射均勻度有所改善。案例分析：由于軸承間歇性的卡頓會(huì)造成吊架轉(zhuǎn)速的不均勻，從而影響到產(chǎn)品濺射均勻性，而產(chǎn)品在進(jìn)行濺射時(shí)是在真空密閉環(huán)境下，操作者無(wú)法有效觀察到吊架旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，設(shè)備本身只能設(shè)定吊架轉(zhuǎn)速，沒(méi)有對(duì)吊架轉(zhuǎn)速的實(shí)時(shí)監(jiān)控，所以在進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)吊架的旋轉(zhuǎn)情況是不可知的，此次通過(guò)對(duì)吊架轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中的振動(dòng)監(jiān)測(cè)，發(fā)現(xiàn)了隱性故障，改善了產(chǎn)品濺射的均勻性。階段總結(jié)

振動(dòng)監(jiān)測(cè)在半導(dǎo)體設(shè)備維修中具有一定的應(yīng)用前景，通過(guò)依靠維修人員的聽(tīng)和觸摸操作進(jìn)行監(jiān)測(cè)，可以判斷振動(dòng)較為明顯的故障，但是針對(duì)本身振動(dòng)較小、隱性的、振動(dòng)改變輕微的情況，維修人員無(wú)法僅靠感官進(jìn)行判斷，需要通過(guò)儀器輔助，難點(diǎn)是沒(méi)有任何經(jīng)驗(yàn)，外界也沒(méi)有半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)監(jiān)測(cè)的經(jīng)驗(yàn)可借鑒，而且對(duì)于高精度的設(shè)備，能否真正進(jìn)行有效的應(yīng)用不可知，目前也沒(méi)有在高精度的設(shè)備上成功應(yīng)用的機(jī)會(huì)和案例。后期計(jì)劃

在現(xiàn)有的條件下，工作中采集更多的數(shù)據(jù)，循序漸進(jìn)，尋找在更高端的 設(shè)備上應(yīng)用的機(jī)會(huì)，根據(jù)設(shè)備故障情況，可以先從某一設(shè)備的某一運(yùn)動(dòng)單元入手。